專利名稱：彈性波裝置及雙工器的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及利用彈性表面波(surface acoustic waves)及彈性邊界波(boundaryacoustic waves)等彈性波的彈性波裝置(elastic wave devices),更詳細的話,涉及具備連接縱向耦合諧振器型的多個彈性波濾波器部而成的結構的彈性波裝置。
背景技術：
移動電話的RF頻段的雙工器具有發(fā)送側濾波器和接收側濾波器。例如，在下述的專利文獻I中公開了發(fā)送側濾波器及接收側濾波器由彈性波濾 波器構成的雙工器。圖12是示意性地表示專利文獻I所公開的雙工器的電極結構的俯視圖。雙工器1001通過在壓電基板1002上形成圖示的電極結構而構成。具體是，在天線端子1003和作為第一、第二接收端子的第一、第二平衡端子1004、1005之間連接有接收側濾波器1006。再有，在天線端子1003與發(fā)送端子1007之間連接有發(fā)送側濾波器1008。發(fā)送側濾波器1008具有由多個彈性波諧振器構成的梯子型電路結構。另一方面，接收側濾波器1006具有與天線端子1003相連接的非平衡端子1009 ；以及第一、第二平衡端子1004、1005。在此，經(jīng)由I端口型彈性波諧振器1010，在非平衡端子1009上連接了第一彈性波濾波器部1011。第一彈性波濾波器部1011是具有第一 第三IDT電極1013 1015的、3IDT(interdigital transducer :叉指換能器)型的縱向I禹合諧振器型的彈性表面波濾波器。同樣，第二彈性波濾波器部1012也是具有第一 第三IDT電極1016 1018的3IDT型的縱向耦合諧振器型的彈性表面波濾波器。第二 IDT電極1014的一端經(jīng)由彈性波諧振器1010而與非平衡端子1009連接，另一端與接地電極連接。第一、第三IDT電極1013、1015的各一端連接在一起，各自的另一端分別與第二彈性波濾波器部1012的第一、第三IDT電極1016、1018的一端連接。第一、第三IDT電極1016、1018的各另一端連接在一起。第二 IDT電極1017的一端與第一平衡端子1004連接，另一端與第二平衡端子1005連接。由此，可以實現(xiàn)平衡-非平衡變換功能。具有這種平衡-非平衡變換功能的濾波器是浮動平衡型彈性波濾波器。另外，如圖13所示，也公知不是浮動平衡型、而是所謂的帶中性點的平衡型彈性波濾波器。在圖12所示的彈性波濾波器1101中，將第一、第二彈性波濾波器部1111、1112并列地連接到非平衡端子1009。第一、第二彈性波濾波器部1111、1112上分別級聯(lián)連接著第三、第四彈性波濾波器部1113、1114，第三、第四彈性波濾波器部1113、1114分別被連接到第一、第二平衡端子1004、1005。先行技術文獻專利文獻專利文獻I :日本特開2008-118277號公報

發(fā)明內(nèi)容
(發(fā)明想要解決的課題)
與帶中性點的平衡型濾波器相比，如圖12所示的接收側濾波器1006這樣的浮動平衡型的彈性波濾波器可以減小損耗。然而，在浮動平衡型的彈性波濾波器中，與帶中性點的平衡型濾波器相比，會存在第一、第二平衡端子1004、1005之間的信號的平衡度較差的問題。這是因為與帶中性點的平衡型濾波器相比，在浮動平衡型的濾波器中，無法使與第一、第二平衡端子1004、1005連接的布線對稱，因此寄生電容等的影響在第一平衡端子1004和第二平衡端子1005中是不同的。因此，在圖12所示的雙工器中，存在發(fā)送側濾波器1008的通帶中的接收側濾波器1006的隔離度不充分的問題。本發(fā)明的目的在于提供一種具有可以消除上述現(xiàn)有技術的缺點的浮動平衡型的彈性波濾波器的彈性波裝置。更具體的是，其目的在于提供一種彈性波裝置，不僅可以減少通帶內(nèi)的損耗，還可以縮小通帶外的雜散電平(spurious level),由此可以改善和通帶不同的濾波器一起使用時的隔離特性。再有，提供一種采用該彈性波裝置的雙工器、即隔離特性優(yōu)越的雙工器也是本發(fā)明的目的。 (用于解決課題的手段)本申請的第一發(fā)明涉及的彈性波裝置，具備壓電基板；形成在所述壓電基板上的非平衡端子；形成在所述壓電基板上的第一、第二平衡端子；形成在所述壓電基板上的多個接地端子；在所述壓電基板上構成的縱向耦合諧振器型的第一彈性波濾波器部；和在所述壓電基板上構成的縱向耦合諧振器型的第二彈性波濾波器部，所述第一彈性波濾波器部具有沿著彈性波傳播方向按順序配置的第一 第三IDT電極、和被配置在設有該第一 第三IDT電極的區(qū)域的彈性波傳播方向兩側的兩個反射器，所述第二 IDT電極的一個端部與所述第一平衡端子連接，另一端部與所述第二平衡端子連接，在所述第一彈性波濾波器部中，所述第一 IDT電極的一個端部和所述第三IDT電極的一個端部與所述非平衡端子連接，所述第一 IDT電極的另一端部和所述第三IDT電極的另一端部被連接到多個所述接地端子中的任一個端子上，所述第二彈性波濾波器部具有沿著彈性波傳播方向按順序配置的第一 第三IDT電極、和被配置在設有該第一 第三IDT電極的區(qū)域的彈性波傳播方向兩側的兩個反射器，在所述第二彈性波濾波器部中，所述第二 IDT電極的一個端部與所述第一平衡端子連接，另一端部與所述第二平衡端子連接，所述第一 IDT電極的一個端部和所述第三IDT電極的一個端部被連接到所述非平衡端子，所述第一 IDT電極的另一端部與所述第三IDT電極的另一端部被連接到多個所述接地端子中的任一個端子上，連接所述第一彈性波濾波器部和所述接地端子的電流路徑不同于連接所述第二彈性波濾波器部和所述接地端子的電流路徑。根據(jù)第一發(fā)明涉及的彈性波裝置的某個特定方面，與所述第一彈性波濾波器部連接的所述接地端子的個數(shù)不同于與所述第二彈性波濾波器部連接的所述接地端子的個數(shù)。由此，使對第一彈性波濾波器部的與接地電位相連的端部和接地端子進行連接的電流路徑不同于對第二彈性波濾波器部的與接地電位相連的端部和接地端子進行連接的電流路徑。在第一發(fā)明的彈性波裝置的其他特定方面中，在所述第一彈性波濾波器部中，第一 IDT電極的另一端部和所述第三IDT電極的另一端部被連接到不同的接地端子上，在所述第二彈性波濾波器部中，第一 IDT電極的另一端部和所述第三IDT電極的另一端部被連接到相同的接地端子上。第二發(fā)明涉及的彈性波裝置，包括壓電基板；形成在所述壓電基板上的非平衡端子；形成在所述壓電基板上的第一、第二平衡端子；形成在所述壓電基板上的多個接地端子；在所述壓電基板上構成的縱向耦合諧振器型的第一 第四彈性波濾波器部；級聯(lián)連接所述第一彈性波濾波器部和所述第二彈性波濾波器部的第一、第二連接布線；和級聯(lián)連接所述第三、第四彈性波濾波器部的第三、第四連接布線，所述第一 第四彈性波濾波器部分別具有沿著彈性波傳播方向按順序配置的第一 第三IDT電極；和配置在設有第一 第三IDT電極的區(qū)域的彈性波傳播方向兩側的反射器， 在所述第一彈性波濾波器部中，所述第二 IDT電極的一個端部與所述非平衡端子連接，另一端部與多個所述接地端子中的任一個端子連接，所述第一 IDT電極的一個端部與所述第一連接布線連接，另一端部與多個所述接地端子中的任一個端子連接，第三IDT電極的一個端部與所述第二連接布線連接，另一端部與多個所述接地端子中的任一個端子連接，在所述第二彈性波濾波器部中，所述第二 IDT電極的一個端部與所述第一平衡端子連接，另一端部與所述第二平衡端子連接，所述第一 IDT電極的一個端部與所述第一連接布線連接，另一端部與多個所述接地端子中的任一個端子連接，所述第三IDT電極的一個端部與所述第二連接布線連接，另一端部與多個所述接地端子中的任一個端子連接，在所述第三彈性波濾波器部中，所述第二 IDT電極的一個端部與所述非平衡端子連接，另一端部與多個所述接地端子中的任一個端子連接，所述第一 IDT電極的一個端部與所述第三連接布線連接，另一端部與多個所述接地端子中的任一個端子連接，所述第三IDT電極的一個端部與所述第四連接布線連接，另一端部與多個所述接地端子中的任一個端子連接，在所述第四彈性波濾波器部中，所述第二 IDT電極的一個端部與所述第一平衡端子連接，另一端部與所述第二平衡端子連接，所述第一 IDT電極的一個端部與所述第三連接布線連接，另一端部與多個所述接地端子中的任一個端子連接，所述第三IDT電極的一個端部與所述第四連接布線連接，另一端部與多個所述接地端子中的任一個端子連接，連接第一、第二彈性波濾波器部和接地端子的電流路徑不同于連接第三、第四彈性波濾波器部和接地端子的電流路徑。在第二發(fā)明的彈性波裝置的某個特定方面中，與所述第一、第二彈性波濾波器部連接的所述接地端子的總數(shù)不同于與所述第三、第四彈性波濾波器部連接的所述接地端子的總數(shù)。由此，使對第一、第二彈性波濾波器部的與接地電位相連的端部和接地端子進行連接的電流路徑不同于對第三、第四彈性波濾波器部的與接地電位相連的端部和接地端子進行連接的電流路徑。在第二發(fā)明的彈性波裝置的另一特定方面中，在所述第一彈性波濾波器部中，第一 IDT電極的另一端部和所述第三IDT電極的另一端部被連接到不同的接地端子上，在所述第三彈性波濾波器部中，第一 IDT電極的另一端部和所述第三IDT電極的另一端部被連接到相同的接地端子上。
在第二發(fā)明的彈性波裝置的另一特定方面中，在所述第二彈性波濾波器部中，第一 IDT電極的另一端部和所述第三IDT電極的另一端部被連接到不同的接地端子上，在所述第四彈性波濾波器部中，第一 IDT電極的另一端部和所述第三IDT電極的另一端部被連接到相同的接地端子上。在第一、第二發(fā)明(以下適當?shù)胤Q為本發(fā)明)中，作為彈性波，既可以采用彈性表面波，也可以采用彈性邊界波。因此，上述彈性波濾波器部既可以是彈性表面波濾波器部，也可以是彈性邊界波濾波器部。本發(fā)明涉及的雙工器包括接收側濾 波器和發(fā)送側濾波器，所述接收側濾波器由按照本發(fā)明構成的彈性波裝置形成。因此，與采用帶中性點的平衡濾波器的情況相比，不僅可以降低彈性波濾波器部中的損耗，而且還能改善接收側濾波器中的發(fā)送側濾波器通帶內(nèi)的隔離特性。在本發(fā)明涉及的雙工器的某一特定方面中，該雙工器還包括天線側端子和彈性波諧振器，在所述天線側端子與所述彈性波裝置的所述非平衡端子之間串聯(lián)連接有所述彈性波諧振器。(發(fā)明效果)在第一發(fā)明涉及的彈性波裝置中，第二彈性波濾波器部為浮動平衡型的彈性波濾波器，所以可以降低損耗，而且因為對第一彈性波濾波器部的與接地電位相連的端部和接地端子進行連接的電流路徑不同于對第二彈性波濾波器部的與接地電位相連的端部和接地端子進行連接的電流路徑，所以還可以抑制通帶外的雜散，由此可以改善與通帶不同的濾波器一起使用時的隔離特性。同樣，在第二發(fā)明涉及的彈性波裝置中，第二、第四彈性波濾波器部為浮動平衡型的彈性波濾波器，所以可以降低損耗，而且因為對第一、第二彈性波濾波器部的與接地電位相連的端部和接地端子進行連接的電流路徑不同于對第三、第四彈性波濾波器部的與接地電位相連的端部和接地端子進行連接的電流路徑，所以還可以抑制通帶外的雜散，由此可以改善與通帶不同的濾波器一起使用時的隔離特性。由此，在將第一、第二發(fā)明涉及的彈性波裝置用作雙工器的接收側濾波器的情況下，能夠改善接收側濾波器中的發(fā)送側濾波器的通帶內(nèi)的隔離特性。


圖I是本發(fā)明第一實施方式涉及的彈性波裝置的示意俯視圖。圖2是用于說明本發(fā)明實施方式涉及的、作為接收側濾波器而具備本發(fā)明第一實施方式的彈性波裝置的雙工器的示意電路圖。圖3是表示第一實施方式的彈性波裝置及比較例的彈性波裝置的衰減量頻率特性的圖。圖4是表示第一實施方式的彈性波裝置及比較例的彈性波裝置的隔離特性的圖。圖5是表示具備第一實施方式及比較例的彈性波裝置的雙工器內(nèi)的第一平衡端子的隔尚特性的圖。圖6是表示具備第一實施方式及比較例的彈性波裝置的雙工器內(nèi)的第二平衡端子的隔離特性的圖。
圖7是表示比較例的彈性波裝置的電極結構的示意俯視圖。圖8是表示本發(fā)明第一實施方式涉及的彈性波裝置的變形例的示意俯視圖。圖9是本發(fā)明第二實施方式涉及的彈性波裝置的示意電路圖。圖10是本發(fā)明第三實施方式涉及的彈性波裝置的示意電路圖。圖11是用于說明采用本發(fā)明的彈性邊界波裝置的示意正面剖視圖。圖12是表示現(xiàn)有技術中的彈性波裝置的 電極結構的示意俯視圖。圖13是用于說明現(xiàn)有技術中的彈性波裝置的其他例子的示意俯視圖。
具體實施例方式以下，通過參照附圖對本發(fā)明的具體實施方式
進行說明，從而會更加明白本發(fā)明。圖I是表示本發(fā)明第一實施方式涉及的彈性波裝置的電極結構的示意俯視圖。圖2是表示將圖I所示的彈性波濾波器作為接收側濾波器4來具備的雙工器的示意電路圖。圖2所示的雙工器是在UMTS_Band2的頻帶中利用的移動電話的RF頻段的雙工器。UMTS-Band2的發(fā)送頻帶為1850 1910MHz，接收頻帶為1930 1990MHz。在雙工器I中，天線端子2上連接著發(fā)送側濾波器3及接收側濾波器4。發(fā)送側濾波器3是連接多個彈性表面波諧振器而成的梯子型電路結構的帶通濾波器。但是，在本發(fā)明的雙工器中，發(fā)送側濾波器的結構并無特別限定。發(fā)送側濾波器3的一端被連接到天線端子2，另一端被連接到發(fā)送端子5。接收側濾波器4是具有非平衡端子8和第一、第二平衡端子6、7的、具有平衡-非平衡信號變換功能的平衡型帶通濾波器。非平衡端子8被連接到天線端子2。在天線端子2與接地電位之間連接著阻抗匹配用的電感L。接收側濾波器4是通過在壓電基板上形成圖示的電極結構而構成的。如圖2所示，經(jīng)由I端口型彈性表面波諧振器9，在非平衡端子8上并聯(lián)連接縱向耦合諧振器型的第一、第三彈性波濾波器部11、13。第一彈性波濾波器部11具有在彈性表面波傳播方向上按順序配置的第一 第三IDT電極Ila 11c。在設置有第一 第三IDT電極Ila Ilc的區(qū)域的彈性表面波傳播方向兩側，設置有反射器lld、lle。第三彈性波濾波器部13也同樣地具有第一 第三IDT電極13a 13c以及反射器13d、13e。第一彈性波濾波器部11的第二 IDT電極Ilb的一個端部與公共連接點10連接，另一端部與接地電位相連。公共連接點10經(jīng)由I端口型彈性表面波諧振器9而與非平衡端子8相連接。第一、第三IDT電極lla、llc各自的一個端部和接地電位相連接。第一彈性波濾波器部11和第二彈性波濾波器部12級聯(lián)連接。即，第二彈性波濾波器部12是具有第一 第三IDT電極12a 12c和反射器12d、12e的3IDT型的縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器。第一彈性波濾波器部11的第一 IDT電極Ila的另一端部通過第一連接布線16而被連接到第二彈性波濾波器部12的第一 IDT電極12a的一個端部。第一 IDT電極12a的另一端部被連接到接地電位。同樣，第一彈性波濾波器部的第三IDT電極Ilc的另一端部通過第二連接布線17而被連接到第二彈性波濾波器部12的第三IDT電極12c的一個端部，第三IDT電極12c的另一端部被連接到接地電位。這樣，在第一彈性波濾波器部11上級聯(lián)連接第二彈性波濾波器部12。第二 IDT電極12b的一個端部與第一平衡端子6相連，另一端部與第二平衡端子7相連。即，第二彈性波濾波器部12是浮動平衡型的具有平衡-非平衡變換功能的彈性表面波濾波器。同樣，第三彈性波濾波器部13也級聯(lián)連接著第三彈性波濾波器部14。第四彈性波濾波器部14是具有第一 第三IDT電極14a 14c和反射器14d、14e的3IDT型的縱向耦合諧振器型彈性表面波濾波器。第三、第四彈性波濾波器部13、14的連接方式與第一、第二彈性波濾波器部11、12相同。即，第三彈性波濾波器部13的第二 IDT電極13b的一個端部經(jīng)由公共連接點10而被連接到非平衡端子8，另一端部被連接到接 地電位。第三彈性波濾波器部13的第一、第三IDT電極13a、13c各自的一個端部被連接到接地電位，各自的另一端部通過第三、第四布線19,20而分別被連接到第四彈性波濾波器部14的第一、第三IDT電極14a、14c各自的一個端部，第一、第三IDT電極14a、14c各自的另一端部被連接到接地電位。第四彈性波濾波器部14的第二 IDT電極14b的一個端部被連接到第一平衡端子6，另一端部被連接到第二平衡端子7。另外，雖然沒有特別圖示，但是在第一 第四彈性波濾波器部11 14中，在IDT彼此之間相鄰的部分內(nèi)，在IDT的端部設置有電極指間距比其余的IDT部分的電極指間距還要窄的窄間距電極指部。參照圖1，更具體地說明作為本實施方式的彈性波裝置的接收側濾波器4的特征。如圖I所示，接收側濾波器4是通過在壓電基板30上形成上述電極結構而被設置的。在此，壓電基板30由40° ±5°旋轉Y切割X傳播的LiTaO3基板構成。另外，壓電基板30也可以采用其他切斷角的LiTaO3而形成。壓電基板30既可以通過LiNbO3或水晶等其他壓電單晶體形成，也可以通過壓電陶瓷來形成。通過在上述壓電基板30上形成由Al構成的電極結構，從而形成接收側濾波器4。圖I中的參照標記和圖2所示的接收側濾波器4中的參照標記相對應。S卩，第一、第二平衡端子6、7及非平衡端子8是通過由Al構成的矩形電極膜形成的。再有，與接地電位連接的第一 第三接地端子31、32、37是通過由Al構成的電極膜而形成的。第一彈性波濾波器部11的第一 IDT電極Ila的與接地電位相連的端部、和第三彈性波濾波器部13的第三IDT電極13c的與接地電位相連的端部被連接在一起，并與布線33a相連接。另外，布線33a與布線15立體交叉。在此，通過由聚酰亞胺膜構成的絕緣膜34a來實現(xiàn)布線15與布線33a的電絕緣。S卩，布線15通過絕緣膜34a的上表面。第一彈性波濾波器部11的第三IDT電極Ilc的與接地電位相連的端部，被電連接到布線33b。布線33b與布線33c相連。再有，第一彈性波濾波器部11的第二 IDT電極Ilb的與接地電位相連的端部被連接到布線33d。布線33d上還連接著第三彈性波濾波器部13的第二 IDT電極13b的與接地電位相連的端部。布線33d也和上述的布線33c相連。布線33c被連接到第一接地端子31及第二接地端子32。因此，第一彈性波濾波器部11的第一 第三IDT電極Ila Ilc的與接地電位相連的端部被電連接到第一接地端子31和第二接地端子32、即兩個接地端子上。另一方面，在第三彈性波濾波器部13中，第一 IDT電極13a的與接地電位相連的端部被連接到布線33e，布線33e和第三接地端子37連接。第二 IDT電極13b的與接地電位相連的端部如上所述那樣被連接到布線33d。第三IDT電極13c的與接地電位相連的端部如上所述那樣被連接到布線33a。進而，為了設計第一、第二、第四連接布線16、17、20和布線33d的電絕緣，形成有絕緣膜34b。絕緣膜34b形成為覆蓋布線33d，第一、第二、第四連接布線16、17、20通過絕緣膜34b之上。在第二彈性波濾波器部12中，第二 IDT電極12b的一個端部通過布線21與第一平衡端子6連接。布線21也被連接到第四彈性波濾波器部14的第二 IDT電極14b的一個端部。第二彈性波濾波器部12的第一、第三IDT電極12a、12c以及第四彈性波濾波器部14的第一、第三IDT電極14a、14c各自的與接地電位相連一側的端部通過布線33f而被連接在一起。為了實現(xiàn)布線33f與布線21的電絕緣， 在立體交叉部中，在兩者之間形成有絕緣膜34c、34d。布線33f和第三接地端子37相連接。另外，第二彈性波濾波器部12的第二 IDT電極12b及第四彈性波濾波器部14的第二 IDT電極14b的另一端部通過布線22而被連接在一起，并和第二平衡端子7相連接。為了實現(xiàn)該布線22與第一、第三、第四連接布線16、19、20的電絕緣以及實現(xiàn)與后述的布線33g的電絕緣,形成有絕緣膜34e。與上述的絕緣膜34a相同的方式形成絕緣膜34b 34e。布線33f借助經(jīng)過絕緣膜34e之上的布線33g而被連接到第三接地端子37。在第三彈性波濾波器部13中，IDT電極13a 13c的與接地電位相連接的端部被連接到三個接地端子上，即第一接地端子31、第二接地端子32及第三接地端子37這三個接地端子。這樣，在第一彈性波濾波器部11與第三彈性波濾波器部13中，第一 第三IDT電極Ila Ilc的與接地電位相連的端部被連接的接地端子的個數(shù)不同于第一 第三IDT電極13a 13c的與接地電位相連的端部被連接的接地端子的個數(shù)。因此，在本實施方式中，第一、第二彈性波濾波器部11、12側的與接地電位相連的部分的結構和第三、第四彈性波濾波器部13、14中的與接地電位相連的一側的結構不同。由此，在第一彈性波濾波器部11和第三彈性波濾波器部13中，如圖I示意性示出的，IDT電極Ila與IDT電極13a的與接地電位相連接的電連接結構是非對稱的。于是，如后所述，在接收側濾波器4中，可以改善隔離特性?；诰唧w的實驗例對此進行說明。按以下的形態(tài)形成了上述實施方式的接收側濾波器4。(第一彈性波濾波器部11)將根據(jù)IDT電極Ila Ilc的窄間距電極指部以外的電極指間距確定的波長設為入I。交叉寬度19. 4入IIDT電極IlaUlc的電極指的根數(shù)是33根。在第二 IDT電極Ilb側的端部具有由3根電極指構成的窄間距電極指部。因此，剩余的電極指部的電極指的根數(shù)為33-3 = 30根。第二 IDT電極Ilb的電極指的根數(shù)、即包含窄間距電極指部在內(nèi)的電極指的根數(shù)為34根。在與第一、第三IDT電極IlaUlc相鄰一側的端部分別設置有窄間距電極指部，該窄間距電極指部具有7根電極指。反射器IldUle中的電極指的根數(shù)75根金屬化比(Metallizationratio) :0. 70電極膜厚0. 087入I
(第二彈性波濾波器部12)交叉寬度=16. 5入IIDT電極12a、12c的電極指的根數(shù)為33根。在第二 IDT電極12b側的端部具有由3根電極指構成的窄間距電極指部，因此剩余的電極指部的電極指的根數(shù)為33-3 = 30根。第二 IDT電極12b的電極指的根數(shù)包含兩側的窄間距電極指部在內(nèi)一共是38根。兩側的窄間距電極指部分別是由6根電極指組成的窄間距電極指部。反射器的電極指的根數(shù)75根
金屬化比0. 70電極膜厚0. 087入I(第三、第四彈性波濾波器部13、14)如上所述，第三、第四彈性波濾波器部13、14與彈性波濾波器部11、12同樣。(I端口型彈性表面波諧振器9)交叉寬度=14. 7入IIDT的電極指的根數(shù)201根。反射器的電極指的根數(shù)18根金屬化比0.60電極膜厚0. 089入I在圖3中以實線示出上述接收側濾波器4的衰減量頻率特性。圖3的虛線表示比較例的結果。另外，在圖7中以示意俯視圖分別示出為了進行比較而準備的比較例的接收側濾波器的結構。比較例的彈性波裝置1201除了第一彈性波濾波器部1211及第三彈性波濾波器部1213中的第一 IDT電極lla、13a的與接地電位相連一側的端部和接地端子之間的連接結構不同以外，構成為與上述接收側濾波器4相同。更具體的是，如圖7所示，第一 IDT電極Ila的與接地電位相連一側的端部和第一 IDT電極13a的與接地電位相連一側的端部通過布線1214而被連接在一起，并分別被連接到第一 第三接地端子31、32、37。其他結構基本相同。因此，在比較例中，第一彈性波濾波器部1211的第一 第三IDT電極I Ia Ilc的與接地電位相連一側的端部被連接的接地端子的個數(shù)是第一 第三接地端子31、32、37這三個。同樣，第三彈性波濾波器部1213的第一 第三IDT電極13a 13c的與接地電位相連一側的端部被連接的接地端子的個數(shù)也是三個。因此，第一、第三彈性波濾波器部1211、1213的與接地電位相連的電流路徑基本相同。根據(jù)圖3可知基于上述實施方式，與比較例的彈性波裝置1201相比，通帶內(nèi)的插入損耗基本相等。再有，在圖4中示出組裝了上述實施方式及比較例的彈性波裝置的雙工器中的發(fā)送-接收之間的隔離特性。根據(jù)圖4可知與比較例相比，通過采用上述實施方式的彈性波裝置，從而可以將發(fā)送側通帶內(nèi)的隔離特性改善約3dB。而且，如圖4所示，接收側濾波器的傳輸特性本身基本不會劣化。因此，根據(jù)上述實施方式可知在接收側濾波器4中，基本不會引起接收側通帶內(nèi)的傳輸特性的劣化，可以改善發(fā)送側頻帶內(nèi)的隔離特性。圖5及圖6示出上述實施方式及比較例中的第一平衡端子及第二平衡端子各自的隔離特性?？芍c比較例相比，根據(jù)上述實施方式，無論在第一、第二平衡端子的哪一個中，接收側通帶附近的雜散都會減小。即，并不是通過提高第一平衡端子與第二平衡端子之間的平衡性來改善隔離特性的，而是通過雜散大小自身減小來改善了隔離特性。如上所述，在本實施方式中，認為在第一彈性波濾波器部11與第三彈性波濾波器部13中，可通過使lla、13a的與接地電位相連的電流路徑的結構相異來改善隔離特性，這是基于以下的理由。即，因為IDT電極Ila及IDT電極13a的接地連接路徑被設為非對稱，所以在并聯(lián)連接的第一、第三彈性波濾波器部11、13中，流過與接地電位相連的電流路徑中的電流也成為非對稱。其結果，可以獲得與將 IDT電極Ila及IDT電極13a的設計參數(shù)設為非對稱的方式相接近的效果，由此發(fā)送側通帶內(nèi)的雜散減小。如上所述，即使將IDT電極Ila I lc、13a 13c的設計參數(shù)、具體是電極指的對數(shù)或波長設為非對稱，也可以獲得降低上述雜散的效果。然而，在該情況下會產(chǎn)生通帶內(nèi)發(fā)生波動(ripple)的問題。相對于此，如本實施方式那樣，在未將并聯(lián)連接的第一、第三彈性波濾波器部11、13的設計參數(shù)設為非對稱，而是將上述流過接地電位的電流路徑設為非對稱的情況下，幾乎不會使得通帶內(nèi)的波動發(fā)生，可以減小雜散。圖8是用于表示上述實施方式的彈性波裝置的變形例的示意俯視圖，是相當于上述實施方式的圖I的圖。在圖8所示的變形例的彈性波裝置201中，布線15并未與其他布線立體交叉，第一 IDT電極Ila的與接地電位相連一側的端部通過布線202而和第一 IDT電極13a的與接地電位相連一側的端部連接在一起。因此，第一彈性波濾波器部11及第三彈性波濾波器部13的第一 IDT電極11a、13a的與接地電位相連一側的端部均被連接到第三接地端子37。在此，在布線18與布線202的交叉部中設置有用于實現(xiàn)立體交叉的絕緣膜213。因此，未形成圖I所示的絕緣膜34a。另一方面，第三IDT電極Ilc被連接到第一、第二接地端子31、32，第三IDT電極13c僅被連接到第三接地端子37。因此，在并聯(lián)連接的第一、第三彈性波濾波器部11、13中，因為在對應的第三IDT電極Ilc與第三IDT電極中，與接地電位相連的電流路徑被設為非對稱，所以與上述實施方式同樣，可以減小發(fā)送側通帶內(nèi)的雜散電平，由此可以改善隔離特性。根據(jù)上述實施方式以及變形例可知在并聯(lián)連接的彈性波濾波器部之間，通過將與接地電位相連的電流路徑設為非對稱，可以獲得與上述實施方式及變形例同樣的效果，因此用于設為非對稱的電流路徑的具體形狀并無特別限定。圖9是用于說明本發(fā)明第二實施方式涉及的彈性波濾波器裝置的示意電路圖。在第二實施方式的彈性波濾波器裝置301中，與第一實施方式同樣，在非平衡端子8與第一、第二平衡端子6、7之間連接著第一、第二彈性波濾波器部11、12以及第三、第四彈性波濾波器部13、14。不同之處在于在第一實施方式的彈性波濾波器裝置中，在第一彈性波濾波器部11與第三彈性波濾波器部13中，將IDT電極I la、13a的與接地電位相連一側的端部與接地電位相連接的電流路徑設為非對稱，而在本實施方式中，在第二、第四彈性波濾波器部12、14之間，IDT的與接地電位相連一側的電流路徑相異。更具體的是，第二彈性波濾波器部12的第三IDT電極12c的與接地電位相連一側的端部被連接到示意性示出的第一接地端子302。另外，第一 IDT電極12a的與接地電位相連一側的端部、和第四彈性波濾波器部14的第一、第三IDT電極14a、14c的與接地電位相連一側的端部被連接在一起，并被連接到第二接地端子303。因此，在第二彈性波濾波器部12與第四彈性波濾波器部14中，所連接的接地端子的個數(shù)不同。換言之，在第二彈性波濾波器部12與第四彈性波濾波器部14中，因為與接地電位相連的電流路徑相異，所以與第一實施方式相同，同樣可以減小發(fā)送側通帶內(nèi)的雜散電平，可以改善隔離特性。圖10是表示本發(fā)明第三實施方式涉及的彈性波裝置的電路結構的示意電路圖。
圖10所示的彈性波裝置401在非平衡端子8與第一、第二平衡端子6、7之間并聯(lián)地連接了第一、第二彈性波濾波器部411、412。即，如第一實施方式的彈性波裝置那樣，不具有級聯(lián)連接著兩個縱向耦合諧振器型彈性波濾波器元件的結構。第一、第二彈性波濾波器部411、412均為浮動平衡型的彈性波濾波器。換言之，具有除去了第二彈性波裝置301的第一、第三彈性波濾波器部11、13的電路結構。因此，按照相當于第二實施方式中的第二、第四彈性波濾波器部13、14的方式，形成第一、第二彈性波濾波器部411、412。由此，第一彈性波濾波器部411的第三IDT電極411c的與接地電位相連一側的端部被連接到第一接地端子402，IDT電極411a及第二彈性波濾波器部412的第一、第三IDT電極412a、412c的與接地電位相連一側的端部被連接在一起且被連接到第二接地端子403。由此，在分別與第一平衡端子6及第二平衡端子7連接的第一、第二彈性波濾波器部411、412之間，與接地電位相連一側的電流路徑相異，因此與第二實施方式相同，同樣可以減小通帶內(nèi)的雜散電平。由此，可以改善發(fā)送側通帶內(nèi)的隔離特性。此外，在上述第一 第三實施方式中，針對利用彈性表面波的彈性表面波裝置進行了說明，但本發(fā)明的彈性波裝置也可以是利用了彈性邊界波的彈性邊界波裝置。例如，在圖11中以簡略的正面剖視圖示出的彈性邊界波裝置501中，在由壓電體構成的壓電基板502上層疊有電介質503。在壓電基板502與電介質503的界面上設置有包含IDT的電極結構504。作為該電極結構504，通過形成上述的各實施方式的電極結構，從而根據(jù)本發(fā)明，可以提供彈性邊界波濾波器裝置。符號說明I…雙工器2…天線端子3…發(fā)送側濾波器4…接收側濾波器5…發(fā)送端子6、7…第一、第二平衡端子8…非平衡端子9…I端口型彈性表面波諧振器10…共同連接點11 14…第一 第四彈性波濾波器部
I Ia 14a…第一 IDT 電極Ilb 4b…第二 IDT電極Ilc 14c…第三IDT電極Ild 14d、Ile 14e…反射器15、18 …布線16、17、19、20…第一 第四連接布線 21、22 …布線30…壓電基板31、32…第一、第二接地端子33a 33g…布線34a 34e…絕緣膜37…第三接地端子201…彈性波裝置202…布線213…絕緣膜301…彈性波濾波器裝置302、303…第一、第二接地端子401…彈性波裝置402、403…第一、第二接地端子411、412…第一、第二彈性波濾波器部411a、412a…第一 IDT 電極411c、412c…第三 IDT 電極501…彈性邊界波裝置502…壓電基板503…電介質504…電極結構
權利要求
1.一種彈性波裝置，其具備 壓電基板； 形成在所述壓電基板上的非平衡端子； 形成在所述壓電基板上的第一、第二平衡端子； 形成在所述壓電基板上的多個接地端子； 在所述壓電基板上構成的縱向耦合諧振器型的第一彈性波濾波器部；和 在所述壓電基板上構成的縱向耦合諧振器型的第二彈性波濾波器部， 所述第一彈性波濾波器部具有沿著彈性波傳播方向按順序配置的第一 第三叉指換能器電極、和被配置在設有該第一 第三叉指換能器電極的區(qū)域的彈性波傳播方向兩側的兩個反射器，所述第二叉指換能器電極的一個端部與所述第一平衡端子連接，另一端部與所述第二平衡端子連接， 在所述第一彈性波濾波器部中，所述第一叉指換能器電極的一個端部和所述第三叉指換能器電極的一個端部與所述非平衡端子連接，所述第一叉指換能器電極的另一端部和所述第三叉指換能器電極的另一端部被連接到多個所述接地端子中的任一個端子上， 所述第二彈性波濾波器部具有沿著彈性波傳播方向按順序配置的第一 第三叉指換能器電極、和被配置在設有該第一 第三叉指換能器電極的區(qū)域的彈性波傳播方向兩側的兩個反射器， 在所述第二彈性波濾波器部中，所述第二叉指換能器電極的一個端部與所述第一平衡端子連接，另一端部與所述第二平衡端子連接，所述第一叉指換能器電極的一個端部和所述第三叉指換能器電極的一個端部被連接到所述非平衡端子，所述第一叉指換能器電極的另一端部和所述第三叉指換能器電極的另一端部被連接到多個所述接地端子中的任一個端子上， 連接所述第一彈性波濾波器部和所述接地端子的電流路徑不同于連接所述第二彈性波濾波器部和所述接地端子的電流路徑。
2.根據(jù)權利要求I所述的彈性波裝置，其中， 與所述第一彈性波濾波器部連接的所述接地端子的個數(shù)不同于與所述第二彈性波濾波器部連接的所述接地端子的個數(shù)。
3.根據(jù)權利要求I或2所述的彈性波裝置，其中， 在所述第一彈性波濾波器部中，所述第一叉指換能器電極的另一端部、和所述第三叉指換能器電極的另一端部被連接到不同的接地端子上， 在所述第二彈性波濾波器部中，所述第一叉指換能器電極的另一端部、和所述第三叉指換能器電極的另一端部被連接到相同的接地端子上。
4.一種彈性波裝置，其具備 壓電基板； 形成在所述壓電基板上的非平衡端子； 形成在所述壓電基板上的第一、第二平衡端子； 形成在所述壓電基板上的多個接地端子； 在所述壓電基板上構成的縱向耦合諧振器型的第一 第四彈性波濾波器部； 級聯(lián)連接所述第一彈性波濾波器部與所述第二彈性波濾波器部的第一、第二連接布線；和 級聯(lián)連接所述第三、第四彈性波濾波器部的第三、第四連接布線， 所述第一 第四彈性波濾波器部分別具有沿著彈性波傳播方向按順序配置的第一 第三叉指換能器電極；和配置在設有第一 第三叉指換能器電極的區(qū)域的彈性波傳播方向兩側的反射器， 在所述第一彈性波濾波器部中，所述第二叉指換能器電極的一個端部與所述非平衡端子連接，另一端部與多個所述接地端子中的任一個端子連接，所述第一叉指換能器電極的一個端部與所述第一連接布線連接，另一端部與多個所述接地端子中的任一個端子連接，第三叉指換能器電極的一個端部與所述第二連接布線連接，另一端部與多個所述接地端子中的任一個端子連接， 在所述第二彈性波濾波器部中，所述第二叉指換能器電極的一個端部與所述第一平衡端子連接，另一端部與所述第二平衡端子連接，所述第一叉指換能器電極的一個端部與所述第一連接布線連接，另一端部與多個所述接地端子中的任一個端子連接，所述第三叉指換能器電極的一個端部與所述第二連接布線連接，另一端部與多個所述接地端子中的任一個端子連接， 在所述第三彈性波濾波器部中，所述第二叉指換能器電極的一個端部與所述非平衡端子連接，另一端部與多個所述接地端子中的任一個端子連接，所述第一叉指換能器電極的一個端部與所述第三連接布線連接，另一端部與多個所述接地端子中的任一個端子連接，所述第三叉指換能器電極的一個端部與所述第四連接布線連接，另一端部與多個所述接地端子中的任一個端子連接， 在所述第四彈性波濾波器部中，所述第二叉指換能器電極的一個端部與所述第一平衡端子連接，另一端部與所述第二平衡端子連接，所述第一叉指換能器電極的一個端部與所述第三連接布線連接，另一端部與多個所述接地端子中的任一個端子連接，所述第三叉指換能器電極的一個端部與所述第四連接布線連接，另一端部與多個所述接地端子中的任一個端子連接， 連接第一、第二彈性波濾波器部和接地端子的電流路徑不同于連接第三、第四彈性波濾波器部和接地端子的電流路徑。
5.根據(jù)權利要求4所述的彈性波裝置，其中， 與所述第一、第二彈性波濾波器部連接的所述接地端子的總數(shù)不同于與所述第三、第四彈性波濾波器部連接的所述接地端子的總數(shù)。
6.根據(jù)權利要求4或5所述的彈性波裝置，其中， 在所述第一彈性波濾波器部中，第一叉指換能器電極的另一端部和所述第三叉指換能器電極的另一端部被連接到不同的接地端子上， 在所述第三彈性波濾波器部中，第一叉指換能器電極的另一端部和所述第三叉指換能器電極的另一端部被連接到相同的接地端子上。
7.根據(jù)權利要求4 6中任一項所述的彈性波裝置，其中， 在所述第二彈性波濾波器部中，第一叉指換能器電極的另一端部和所述第三叉指換能器電極的另一端部被連接到不同的接地端子上， 在所述第四彈性波濾波器部中，第一叉指換能器電極的另一端部與所述第三叉指換能器電極的另一端部被連接到相同的接地端子上。
8.根據(jù)權利要求I 7中任一項所述的彈性波裝置，其中， 所述彈性波為彈性表面波， 所述彈性波濾波器部為彈性表面波濾波器部。
9.根據(jù)權利要求I 7中任一項所述的彈性波裝置，其中， 所述彈性波為彈性邊界波， 各個所述彈性波濾波器部為彈性邊界波濾波器部。
10.一種雙工器，包括接收側濾波器和發(fā)送側濾波器，其中， 所述接收側濾波器由權利要求I 9中任一項所述的彈性波裝置構成。
11.根據(jù)權利要求10所述的雙工器，其中， 該雙工器還包括天線側端子和彈性波諧振器， 在所述天線側端子與所述彈性波裝置的所述非平衡端子之間串聯(lián)連接有所述彈性波諧振器。
全文摘要
本發(fā)明提供一種彈性波裝置及雙工器。該彈性波裝置具有非平衡端子(8)以及第一、第二平衡端子(6、7)，在非平衡端子(8)與第一平衡端子(6)之間形成有縱向耦合諧振器型的第一彈性波濾波器部(11)，在非平衡端子(8)與第二平衡端子(7)之間連接著與第一彈性波濾波器部(11)并聯(lián)的彈性波濾波器部(13)，在彈性波濾波器部(11)和彈性波濾波器部(13)中，IDT電極的與接地端子連接的電流路徑是非對稱的。由此，具有浮動平衡型的濾波器結構，不僅可以降低通帶內(nèi)的損耗，而且還可以縮小通帶外的雜散電平，因此可以改善與通帶不同的濾波器一起使用時的隔離特性。
文檔編號H03H9/72GK102804601SQ20108002789
公開日2012年11月28日 申請日期2010年5月14日 優(yōu)先權日2009年6月26日
發(fā)明者山本綾香, 高峰裕一 申請人:株式會社村田制作所