專利名稱：壓電振動器及使用該壓電振動器的振蕩器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在基板間形成的空腔密封了壓電振動片的壓電振動器及使用該壓電 振動器的振蕩器，特別涉及小型的壓電振動器。
背景技術(shù)：
近年來，在便攜電話或便攜信息終端的時刻源或定時源上使用利用了水晶等的壓 電振動器。已知各種各樣的壓電振動器，但作為其中之一，眾所周知表面安裝型的壓電振動 器。作為表面安裝型的壓電振動器，已知由基底基板和蓋基板上下夾持形成有壓電振動片 的壓電基板的3層構(gòu)造型的壓電振動器。壓電振動片被收納于在基底基板與蓋基板之間形 成的空腔內(nèi)。最近，開發(fā)著2層構(gòu)造型的壓電振動器。這種類型的壓電振動器，在基底基板 或蓋基板的內(nèi)表面形成由凹部構(gòu)成的空腔，并且在基底基板的表面安裝壓電振動片，在基 底基板的周圍直接接合蓋基板而在該空腔中收納壓電振動片。該2層構(gòu)造型的壓電振動器 與3層構(gòu)造型相比，在能實現(xiàn)薄型化等的方面優(yōu)越(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。圖6是2層構(gòu)造型的壓電振動器100的說明圖。圖6(a)是壓電振動器100的剖 面示意圖；(b)是下側(cè)基板即基底基板101的俯視示意圖；(C)是上側(cè)基板即蓋基板102的 俯視示意圖。此外，圖6(a)表示圖6(b)、(c)的俯視圖所示的部分CC的剖面。如圖6(a)所示，壓電振動器100包括基底基板101 ；通過接合材料106接合在基 底基板101的外周上表面的蓋基板102 ；以及在基底基板101的上表面以懸臂狀態(tài)安裝的 壓電振動片103。在蓋基板102的基底基板101 —側(cè)的表面，形成由凹部構(gòu)成的空腔110， 收納壓電振動片103。作為壓電振動片103使用水晶板。貫通電極104a、104b被埋入基底基板101，并且 在外表面中與外部電極105110 分別連接，而在內(nèi)表面中與迂回電極107a、107b分別連 接。在迂回電極107a、107b之上安裝有壓電振動片103。如圖6(b)所示，2個貫通電極104a、104b形成在大致對角部，迂回電極107b從上 邊的角部形成到下邊角部，迂回電極107a形成在貫通電極10 的上表面和其附近的基底 基板101上。然后，在迂回電極107a、107b各自的上表面上形成有安裝部件108，其上以懸 臂狀保持壓電振動片103。在壓電振動片103的兩面相對置地形成激振電極109a、109b，與形成在壓電振動 片103的下邊端部的端子電極IllaUllb電連接，并且經(jīng)由安裝部件108而與各迂回電極 107a、107b連接。因而，外部電極10 經(jīng)由貫通電極104a、迂回電極107a、安裝部件108、 端子電極Illa而與激振電極109a電連接。此外，外部電極10 經(jīng)由貫通電極104b、迂回 電極107b、安裝部件108、端子電極Illb而與激振電極109b電連接。即，從外部電極105a、 105b向激振電極109a、109b提供驅(qū)動電力，使壓電振動片103激振，能抽取一定周期的信 號。專利文獻(xiàn)1 日本特開2009-232449號公報近年來，便攜設(shè)備或便攜終端越來越向小型化發(fā)展。與之相伴地，壓電振動器100也被要求小型化。若將壓電振動器100小型化，則也需要減小壓電振動片103或迂回電極 107的尺寸或接合材料106的面積。但是，例如作為壓電振動片103使用了水晶板時，如果 減小壓電振動片103，CI值(晶體阻抗(Crystal Impedance)值)就會變大而使振動特性 劣化。此外，為使壓電振動片103的振動穩(wěn)定，需要使空腔110內(nèi)與大氣隔斷。例如，將空 腔110內(nèi)維持真空。為此，接合材料106需要具有一定程度的寬度。此外，如果在迂回電極107b與激振電極109之間形成有寄生電容，就會劣化振動 特性。為此，迂回電極107b和激振電極109需要形成為從平面上看不會重疊。此外，在通 過接合材料106接合基底基板101與蓋基板102之際進(jìn)行加熱。這樣會有增加迂回電極 107a、107b的布線電阻的情況。由于這些現(xiàn)狀，在將壓電振動器100小型化時，無法將壓電 振動片103的尺寸或接合材料106的寬度減小到必要值以上，其結(jié)果，如果進(jìn)行壓電振動器 100的小型化就要收窄迂回電極107b的電極寬度，其電阻增加，存在振動特性依然劣化的 問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述問題構(gòu)思而成，其目的在于提供不劣化振動特性而能小型化的壓 電振動器。本發(fā)明的壓電振動器，其中包括基底基板；形成在所述基底基板的表面的在安 裝部中以懸臂狀態(tài)被保持的壓電振動片；以及設(shè)置在所述基底基板并且以覆蓋地收納所述 壓電振動片的蓋基板，其中，所述壓電振動片在其外表面具有驅(qū)動用的第一及第二激振電 極，所述基底基板包括從其表面貫通到相反側(cè)的背面的第一及第二貫通電極、形成在所述 表面并且一端與所述第一貫通電極連接而另一端與所述安裝部連接的第一迂回電極、以及 在所述第一迂回電極之上并且位于所述安裝部附近的第一連接部和位于所述第一貫通電 極附近的第二連接部，所述蓋基板具有形成在安裝所述壓電振動片一側(cè)的表面的第二迂回 電極，所述第一迂回電極和所述第二迂回電極在所述第一及第二連接部中電連接，所述第 一激振電極經(jīng)由所述安裝部和所述第一及第二迂回電極而與所述第一貫通電極電連接，所 述第二激振電極經(jīng)由所述安裝部而與所述第二貫通電極電連接。此外，所述壓電振動片具有平板形狀，所述第一激振電極和所述第二激振電極分 別與所述平板形狀的表面及背面面對地形成，所述第一及第二迂回電極設(shè)置在將所述基底 基板從其表面的法線方向觀看時不與所述第一及第二激振電極重疊的位置。此外，所述蓋基板具有用于收納所述壓電振動片的凹部，構(gòu)成所述凹部的側(cè)壁的 上表面接合至所述基底基板，在所述側(cè)壁的上表面和所述凹部的底面之間形成有第一及第 二臺階差部，在所述第一及第二臺階差部的上表面和側(cè)面分別形成有第一及第二臺階差電 極，所述第一臺階差電極電連接所述第二迂回電極的一端和所述第一連接部，所述第二臺 階差電極電連接所述第二迂回電極的另一端和所述第二連接部。本發(fā)明的振蕩器具備上述任一項中記載的壓電振動器和向所述壓電振動器提供 驅(qū)動信號的驅(qū)動電路。(發(fā)明效果)依據(jù)本發(fā)明，將在安裝部與第一貫通電極之間的布線設(shè)計成使形成在基底基板上 的第一迂回電極和形成在蓋基板上的第二迂回電極并聯(lián)連接，因此能夠提供減少布線電阻并防止振動特性的降低的小型的壓電振動器。


圖1是本發(fā)明的實施方式的壓電振動器的說明圖。圖2是本發(fā)明的實施方式的壓電振動器的示意俯視圖。圖3是本發(fā)明的實施方式的壓電振動器的示意縱剖視圖。圖4是本發(fā)明的實施方式的壓電振動器的示意縱剖視圖。圖5是本發(fā)明的實施方式的振蕩器的俯視示意圖。圖6是傳統(tǒng)周知的壓電振動器的說明圖。
具體實施例方式本發(fā)明的壓電振動器包括基底基板、在基底基板的表面以懸臂狀態(tài)保持在安裝部 中的壓電振動片、以及以覆蓋地收納壓電振動片并在基底基板周邊部的接合部中接合的蓋 基板。壓電振動片在其表面和背面具有用于使壓電振動片激振的第一激振電極及第二激振 電極?；谆灏◤钠浔砻尕炌ǖ较喾磦?cè)的背面的第一及第二貫通電極；形成在其表 面并且一端與第一貫通電極連接而另一端與安裝部連接的第一迂回電極；以及在第一迂回 電極之上位于安裝部附近的第一連接部和位于第一貫通電極附近的第二連接部。蓋基板在 安裝壓電振動片一側(cè)的表面具有第二迂回電極，第一迂回電極和第二迂回電極經(jīng)由上述第 一連接部和第二連接部電連接。第一激振電極經(jīng)由安裝部和第一及第二迂回電極而與第一 貫通電極電連接，第二激振電極經(jīng)由安裝部而與第二貫通電極電連接。若縮小壓電振動器的外形，則難以在基底基板的一邊靠近形成第一及第二貫通電 極。因此，在基底基板面的盡量分離的位置形成第一及第二貫通電極。另一方面，壓電振動 片需要以懸臂狀設(shè)置在安裝部上。因此，需要在基底基板上形成迂回電極，從彼此分離的第 一及第二貫通電極的任一個或者兩個引出迂回電極并連接至安裝部。在本發(fā)明中，將迂回 電極形成在基底基板和蓋基板這兩基板上，并且通過第一及第二連接部電連接。即，安裝部 和第一貫通電極之間，使得設(shè)置在基底基板上的第一迂回電極和形成在蓋基板的第二迂回 電極并聯(lián)連接，并且下拉安裝部與第一貫通電極之間的電阻。此外，基底基板及蓋基板可以為玻璃基板。如果是玻璃基板，則與使用陶瓷基板的 情況相比，容易成形加工。此外。玻璃材料的熱傳導(dǎo)率低，因此外部溫度變化難以傳達(dá)到壓 電振動片，不會輕易受急劇的溫度變化的影響。此外，由于玻璃基板透明，還能在組裝成封 裝件后用激光進(jìn)行修整。此外，基底基板和蓋基板能夠陽極接合，因此能夠長時間保持封裝 件內(nèi)的氣密性。作為壓電振動片，能使用AT模式的水晶基板。安裝部能使用導(dǎo)電性粘接材料或金 屬凸點(bump)。如果使用金屬凸點，能在短時間內(nèi)安裝壓電振動片，因此容易以懸臂狀粘 接。連接部能使用導(dǎo)電粘接材料或金屬凸點。此外，將第一激振電極和第二激振電極形成為隔著壓電振動片而面對，第一及第 二迂回電極在將基底基板從其表面的法線方向觀看時，設(shè)置在不與第一及第二激振電極重 疊的位置。由此，降低形成在第一及第二迂回電極與第一及第二激振電極之間的寄生電容， 并能使壓電振動片的振動穩(wěn)定。
此外，可以在蓋基板形成用于收納壓電振動片的凹部。使該凹部的側(cè)壁上表面與 基底基板的周邊部接合。第二迂回電極形成在凹部的底面。這時，在凹部的底面和側(cè)壁上 表面之間形成第一及第二臺階差部，并且在第一及第二臺階差部的上表面和側(cè)面分別形成 第一及第二臺階差電極。然后，第一臺階差電極電連接第二迂回電極的一端與第一連接部， 第二臺階差電極電連接第二迂回電極的另一端與第二連接部。如此，在設(shè)置第一及第二連接部的位置上分別形成第一及第二臺階差部，如果通 過該第一及第二臺階差電極而連接至第二迂回電極，則能將第一及第二連接部的高度降低 第一及第二臺階差部的臺階差量。例如，如果以使壓電振動片的安裝部側(cè)的表面和第一及 第二臺階差部的上表面從基底基板的表面起的距離相同程度的方式形成臺階差部，則能夠 在同一工序中同時形成安裝部和第一及第二連接部。例如，在用金屬凸點形成安裝部和第 一及第二連接部時，能夠在同一工序中承載同一金屬的凸點，并且在同一工序中進(jìn)行連接 (倒裝片式連接)。以下，借助附圖做詳細(xì)說明。(第一實施方式)借助圖1 圖3，對本發(fā)明的第一實施方式的壓電振動器1進(jìn)行說明。圖1是壓 電振動器1的說明圖，其中圖1(a)是壓電振動器1的外觀圖、圖1(b)是分解斜視圖。圖2 是壓電振動器1的示意俯視圖，其中圖2(a)是安裝壓電振動片4的基底基板2的俯視示意 圖、圖2(b)是蓋基板3的俯視示意圖。圖3是壓電振動器1的示意縱剖視圖，其中圖3(a) 是部分BB的剖面示意圖、圖3(b)是部分AA的剖面示意圖。對于同一部分或具有相同的功 能的部分標(biāo)注同一附圖標(biāo)記。如圖1所示，壓電振動器1包括基底基板2 ；安裝在基底基板2的表面的壓電振 動片4 ；以及形成凹部16并且通過接合部件13接合凹部16的側(cè)壁上表面和基底基板2的 周邊部的蓋基板3。在此，壓電振動片4采用以AT模式振動的水晶板?；谆?和蓋基 板3使用玻璃材料?；谆?和蓋基板3利用陽極接合來接合。矩形狀的壓電振動器1 的長邊為數(shù)mm以下，厚度為0. Imm以下。基底基板2具有矩形形狀?；谆?在其對角區(qū)域具備從表面H貫通到背面R 的2個貫通電極10a、10b，在其表面H的周邊部具備接合部件13?；谆?在一個短邊 附近且接合部件13的內(nèi)周側(cè)具備第一及第三迂回電極fe、5c ；形成在第一及第三迂回電 極5a、5c之上的第一及第二安裝部9a、9b ；以及在第一迂回電極fe之上形成的第一連接部 7a。此外，基底基板2在另一短邊附近且接合部件13的內(nèi)周側(cè)具備從上述一個短邊附近延 伸設(shè)置的第一迂回電極如和形成在其上的第二連接部7b。基底基板2的背面R具備在 其一個短邊的另一角部與第二貫通電極IOb電連接的第二外部電極lib ；在另一短邊的一 個角部與第一貫通電極IOa電連接的第一外部電極lla(參照圖3(a))；以及形成在另一角 部的臨時(dummy)電極11c。壓電振動片4由矩形形狀的薄板構(gòu)成，在其兩表面具備用于驅(qū)動壓電振動片4的 第一及第二激振電極6a、6b (參照圖3 (a))。壓電振動片4還具備從一個短邊附近的一個表 面經(jīng)由其短邊的側(cè)面而遍及另一表面的第一及第二端子電極12a、12b，第一端子電極12a 與第一激振電極6a連接，第二端子電極12b與第二激振電極6b連接。壓電振動片4以懸 臂狀安裝在第一及第二安裝部9a、9b上。蓋基板3在其基底基板2 —側(cè)的表面具備凹部16，能收納壓電振動片4。凹部16的底面15為平坦面，具備沿著一個長邊的附近而形成的第二迂回電極5b。在將蓋基板3接 合到基底基板2時，在一個短邊附近第一連接部7a的上表面抵接到第二迂回電極恥，在另 一短邊附近第二連接部7b的上表面抵接到第二迂回電極恥。由此，第一迂回電極fe和第 二迂回電極恥在一個短邊附近即第一安裝部9a附近和另一短邊附近即第一貫通電極IOa 附近分別經(jīng)由第一及第二連接部7a、7b電連接。借助圖2及圖3，做更具體地說明。在基底基板2的外周部設(shè)置例如由鋁或硅等構(gòu) 成的接合部件13。在基底基板2的接合部件13的內(nèi)周側(cè)，并且在一個短邊(以下，稱為下 邊)和右邊的角部設(shè)置第二貫通電極10b，并且在另一短邊(以下，稱為上邊)和左邊的角 部區(qū)域設(shè)置第一貫通電極10a。第一及第二貫通電極10a、10b能夠使用導(dǎo)電粘接材料或金 屬。如果使用金屬來熔接其表面與玻璃材料，就能長時間保持氣密性。在基底基板2的表面H且接合部件13的內(nèi)周側(cè)，彼此分離地形成第一及第三迂回 電極fe、5c。第一迂回電極fe從接合部件13的內(nèi)周側(cè)的下邊和左邊的角部區(qū)域沿著左邊 延伸設(shè)置到另一短邊(以下，稱為上邊)，形成為覆蓋第一貫通電極IOa的上表面，并且與 第一貫通電極IOa電連接。第三迂回電極5c以覆蓋第二貫通電極IOb的上表面的方式形 成在接合部件13的內(nèi)周側(cè)的下邊和左邊的角部區(qū)域，并且與第二貫通電極IOb電連接。此 外，在蓋基板3的壓電振動片4 一側(cè)的表面形成凹部16，在其左邊側(cè)的底面15形成第二迂 回電極恥。作為第一、第二及第三迂回電極如、513、5(3，能夠使用金屬膜，例如411/(>等。在下邊附近的第一及第三迂回電極fe、5c之上，設(shè)置彼此分離的第一及第二安裝 部9a、9b(參照圖1)，在其上以懸臂狀安裝壓電振動片4。此外，在下邊和左邊的角部區(qū)域 和上邊和左邊的角部區(qū)域的第一迂回電極fe之上分別形成第一及第二連接部7a、7b。作 為第一及第二安裝部9a、9b、第一及第二連接部7a、7b，能夠使用導(dǎo)電性粘接材料或金屬凸 點。如果使用金屬凸點，就會在壓接壓電振動片4時短時間內(nèi)固化，因此適合于壓電振動片 4的懸臂狀安裝。第一安裝部9a與形成在壓電振動片4的下邊的第一端子電極12a電連接，第二安 裝部9b與形成在壓電振動片4的下邊的第二端子電極12b電連接。此外，第一迂回電極5a 和第二迂回電極恥，在第一連接部7a和第二連接部7b中導(dǎo)通。而且，從基底基板2的表 面H的法線方向來看，形成在壓電振動片4的第一及第二激振電極6a、6b和第一及第二迂 回電極fejb設(shè)置成不重疊。其結(jié)果，第一激振電極6a經(jīng)由第一端子電極12a、第一安裝部9a、第一及第二迂回 電極fejb及第一貫通電極IOa而與第一外部電極Ila電連接，而第二激振電極6b經(jīng)由第 二端子電極12b、第二安裝部％、第三迂回電極5c及第二貫通電極IOb而與第二外部電極 lib電連接。因而，對第一及第二外部電極IlaUlb提供驅(qū)動用的電力而使壓電振動片4振 動，從而能從第一及第二外部電極1 la、1 Ib抽取頻率信號。由于如上述那樣構(gòu)成，所以第一迂回電極fe和第二迂回電極恥在第一及第二連 接部7a、7b中電連接，從而成為并聯(lián)連接，能夠使迂回電阻成為例如約1/2。此外，由于第一 及第二迂回電極如、恥和第一及第二激振電極6a、6b形成為從平面上看不重疊，所以能夠 減小迂回電極的寄生電容，并能謀求振動的穩(wěn)定化。此外，在上述第一實施方式中，在蓋基 板3形成凹部，但是取代該情況而在基底基板2形成凹部也可。(第二實施方式)
圖4是本發(fā)明的第二實施方式的壓電振動器1的剖面示意圖。圖4(a)是圖2的 部分BB的剖面示意圖，圖4(b)是圖2的部分AA的剖面示意圖。與第一實施方式不同的部 分是在蓋基板3的凹部16的內(nèi)側(cè)壁與底面15之間設(shè)置臺階差部17，并在該臺階差部17的 表面設(shè)置臺階差電極18，除此以外的部分與第一實施方式相同。因而，以下，主要針對與第 一實施方式不同的部分進(jìn)行說明。對于同一部分或具有相同的功能的部分標(biāo)注同一附圖標(biāo) 記。如圖4(a)及(b)所示，在蓋基板3的凹部16的側(cè)壁與底面15之間形成第一臺階 差部17a和第二臺階差部17b。第一及第二臺階差部17a、17b的上表面形成為從基底基板 2的表面H算起的距離與大概從壓電振動片4的基底基板2側(cè)表面的表面H算起的距離大 致相同。在第一及第二臺階差部17a、17b的上表面和側(cè)面分別形成第一及第二臺階差電極 ISaUSb0形成在第一臺階差部17a的上表面的第一臺階差電極18a與第一連接部7a接觸 并電連接，形成在第二臺階差部17b的上表面的第二臺階差電極18b與第二連接部7b接觸 并電連接。然后，形成在蓋基板3的凹部16的底面15的第二迂回電極恥的下邊側(cè)端部與 第一臺階差電極18a電連接，第二迂回電極恥的上邊側(cè)端部與第二臺階差電極18b電連 接。由此，從基底基板2的下邊直到上邊，第一迂回電極fe和第二迂回電極恥并聯(lián)連接。由于在凹部16的側(cè)壁與底面15之間設(shè)置臺階差部17，并且在其上表面與側(cè)面形 成臺階差電極18，所以在第一及第二連接部7a、7b形成與第一及第二安裝部9a、9b相同的 安裝部件，例如金屬凸點，能夠用倒裝片式接合的同一工序來同時形成壓電振動片4。此外， 在該情況下，第一及第二迂回電極5ajb也形成為從平面上看不與形成在壓電振動片4的 兩面的第一及第二激振電極6a、6b重疊。此外，第一及第二臺階差部17a、17b也可以形成在基底基板2的下邊部和上邊部 的凹部16側(cè)的壁與底面15之間，并且也可以僅形成在下邊部和左邊部的角部及上邊部和 左邊部的角部的、形成有第一及第二連接部7a、7b的區(qū)域。其它的結(jié)構(gòu)與第一實施方式相 同。(第三實施方式)圖5是本發(fā)明的第三實施方式的振蕩器40的俯視示意圖。如圖5所示，振蕩器40 具備基板43、設(shè)置在該基板上的壓電振動器1、集成電路41及電子部件42。壓電振動器1 根據(jù)提供給外部電極IlaUlb的驅(qū)動信號，生成一定頻率的信號，集成電路41及電子部件 42對壓電振動器1提供的一定頻率的信號進(jìn)行處理，生成時鐘信號等的基準(zhǔn)信號。本發(fā)明 的壓電振動器1為高可靠性且能形成為小型，因此能更加緊湊地構(gòu)成整個振蕩器40。附圖標(biāo)記說明1壓電振動器；2基底基板；3蓋基板；4電振動片；5迂回電極；6激振電極；7連接 部；9安裝部；10貫通電極；11外部電極；12端子電極；13接合部件。
權(quán)利要求
1.一種壓電振動器，其中包括 基底基板；形成在所述基底基板的表面的在安裝部中以懸臂狀態(tài)被保持的壓電振動片；以及 設(shè)置在所述基底基板并且以覆蓋地收納所述壓電振動片的蓋基板，其中， 所述壓電振動片在其外表面具有驅(qū)動用的第一及第二激振電極， 所述基底基板包括從其表面貫通到相反側(cè)的背面的第一及第二貫通電極、形成在所述 表面并且一端與所述第一貫通電極連接而另一端與所述安裝部連接的第一迂回電極、以及 在所述第一迂回電極之上位于所述安裝部附近的第一連接部和位于所述第一貫通電極附 近的第二連接部，所述蓋基板具有形成在安裝所述壓電振動片一側(cè)的表面的第二迂回電極，所述第一迂 回電極和所述第二迂回電極在所述第一及第二連接部中電連接，所述第一激振電極經(jīng)由所述安裝部和所述第一及第二迂回電極而與所述第一貫通電 極電連接，所述第二激振電極經(jīng)由所述安裝部而與所述第二貫通電極電連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電振動器，其中，所述壓電振動片具有平板形狀，所述第一激振電極和所述第二激振電極分別與所述平 板形狀的表面及背面面對地形成，所述第一及第二迂回電極設(shè)置在將所述基底基板從其表面的法線方向觀看時不與所 述第一及第二激振電極重疊的位置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓電振動器，其中， 所述蓋基板具有用于收納所述壓電振動片的凹部， 構(gòu)成所述凹部的側(cè)壁的上表面接合至所述基底基板，在所述側(cè)壁的上表面和所述凹部的底面之間形成有第一及第二臺階差部， 在所述第一及第二臺階差部的上表面和側(cè)面分別形成有第一及第二臺階差電極， 所述第一臺階差電極電連接所述第二迂回電極的一端和所述第一連接部，所述第二臺 階差電極電連接所述第二迂回電極的另一端和所述第二連接部。
4.一種振蕩器，其中包括根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的壓電振動器，以及 向所述壓電振動器提供驅(qū)動信號的驅(qū)動電路。
全文摘要
在基底基板(2)形成的第一貫通電極(10a)與安裝部(9)之間形成第一迂回電極(5a)，在蓋基板(3)的基底基板(2)側(cè)的表面形成第二迂回電極(5b)，將第一迂回電極(5a)和第二迂回電極(5b)，在安裝部(9)附近利用第一連接部(7a)、而在第一貫通電極(10a)附近利用第二連接部(7b)分別電連接，從而降低迂回電極(5)的電阻。由此，在基底基板(2)表面設(shè)置的安裝部(9)以懸臂狀態(tài)安裝壓電振動片(4)，并且用蓋基板(3)以覆蓋地收納壓電振動片(4)的壓電振動器(1)中，減小對壓電振動片(4)提供驅(qū)動電力的迂回電極(5)的電阻而防止振動性能的降低。
文檔編號H03H9/15GK102148611SQ201110037350
公開日2011年8月10日 申請日期2011年1月28日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月5日
發(fā)明者田家良久 申請人:精工電子有限公司