振動(dòng)片、振子、振蕩器以及電子設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供振動(dòng)片、振子、振蕩器以及電子設(shè)備，能夠抑制振動(dòng)泄漏且具有良好的振動(dòng)特性。振動(dòng)片（200）包含：基部（220）；一對(duì)振動(dòng)臂（230、240），它們從基部（200）向+Y軸方向突出，在俯視時(shí)在與Y軸方向交叉的X方向上隔著間隔距離而排列；以及支撐臂（250），其位于一對(duì)振動(dòng)臂（230、240）之間，從基部（220）向+Y軸方向突出?；浚?20）包含第1寬度縮小部（222），該第1寬度縮小部（222）位于以基部（220）的中央為界而與支撐臂（250）突出的一側(cè)相反的一側(cè)，并且，在所述間隔距離的范圍內(nèi)，在俯視時(shí)隨著遠(yuǎn)離于支撐臂（250），該第1寬度縮小部（222）在X軸方向上的長(zhǎng)度逐漸減小。
【專利說明】振動(dòng)片、振子、振蕩器以及電子設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及振動(dòng)片、振子、振蕩器以及電子設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]作為石英振蕩器等振動(dòng)器件，公知有具備音叉型振動(dòng)片的振動(dòng)器件，所述音叉型振動(dòng)片具有多個(gè)振動(dòng)臂(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。專利文獻(xiàn)I的振動(dòng)片具有俯視時(shí)的形狀為大致矩形的基部、從基部以彼此平行的方式排列地延伸出的兩個(gè)振動(dòng)臂、以及從基部延伸出的位于兩個(gè)振動(dòng)臂之間的支撐部。在這樣的振動(dòng)片中存在如下問題:由于兩個(gè)振動(dòng)臂在面內(nèi)方向上的彎曲振動(dòng)而使基部容易變形，因該變形而發(fā)生振動(dòng)泄漏，導(dǎo)致Q值降低。
[0003]專利文獻(xiàn)1:日本特開2002-141770號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于，提供能夠抑制振動(dòng)泄漏且具有良好的振動(dòng)特性的振動(dòng)片、具有該振動(dòng)片的振子、振蕩器以及電子設(shè)備。
[0005]本發(fā)明正是為了解決上述課題的至少一部分而完成的，可以采用以下的方式或者應(yīng)用例來實(shí)現(xiàn)。
[0006][應(yīng)用例I]
[0007]本發(fā)明的振動(dòng)片的特征在于，包含:
[0008]基部；
[0009]一對(duì)振動(dòng)臂，它們從所述基部起向相同的一側(cè)突出，在俯視時(shí)在與所述突出的方向交叉的方向上隔著間隔而排列；以及
[0010]支撐臂，其位于所述一對(duì)振動(dòng)臂之間，從所述基部起向與所述一對(duì)振動(dòng)臂相同的一側(cè)突出，
[0011]所述基部包含第I寬度縮小部，該第I寬度縮小部位于以所述基部的中央為界而與所述支撐臂突出的一側(cè)相反的一側(cè)，在俯視時(shí)，隨著遠(yuǎn)離于所述支撐臂，該第I寬度縮小部在所述交叉的方向上的寬度逐漸減小。
[0012]由此，能夠通過第I寬度縮小部來抵消(緩和/吸收)振動(dòng)臂的振動(dòng),抑制振動(dòng)泄漏。因此，可以得到具有良好的振動(dòng)特性的振動(dòng)片。
[0013][應(yīng)用例2]
[0014]在本發(fā)明的振動(dòng)片中，優(yōu)選的是，在俯視時(shí)，所述第I寬度縮小部的輪廓是以沿著俯視時(shí)與所述交叉的方向垂直的方向的線為界，具有一對(duì)直線狀的傾斜部的對(duì)稱形狀。
[0015]由此，第I寬度縮小部的形狀簡(jiǎn)單。
[0016][應(yīng)用例3]
[0017]在本發(fā)明的振動(dòng)片中，優(yōu)選的是，所述第I寬度縮小部具有以所述一對(duì)傾斜部為邊的角。
[0018]由此，第I寬度縮小部的前端呈尖角形狀，能夠更有效地抑制振動(dòng)泄漏。[0019][應(yīng)用例4]
[0020]在本發(fā)明的振動(dòng)片中，優(yōu)選的是，所述第I寬度縮小部的輪廓在俯視時(shí)是以沿著與所述交叉的方向垂直的方向的線為界的圓弧狀的對(duì)稱形狀。
[0021]由此，第I寬度縮小部的形狀簡(jiǎn)單，并且能夠更有效地抑制振動(dòng)泄漏。
[0022][應(yīng)用例5]
[0023]在本發(fā)明的振動(dòng)片中，優(yōu)選的是，所述第I寬度縮小部在所述交叉的方向上的最大寬度大于所述間隔的距離。
[0024]由此，能夠更有效地抑制振動(dòng)泄漏。
[0025][應(yīng)用例6]
[0026]在本發(fā)明的振動(dòng)片中，優(yōu)選的是，在所述支撐臂的所述基部形成有在其厚度方向上貫通的貫通孔。
[0027]由此，能夠抑制振動(dòng)臂的振動(dòng)經(jīng)由基部傳遞到支撐臂的情況，因此，能夠更有效地抑制振動(dòng)泄漏。此外，還能夠使振動(dòng)臂的同相模式的固有振動(dòng)頻率向低頻側(cè)偏移。
[0028][應(yīng)用例7]
[0029]在本發(fā)明的振動(dòng)片中，優(yōu)選的是，所述基部具有第2寬度縮小部，該第2寬度縮小部位于所述一對(duì)振動(dòng)臂之間，隨著朝向所述振動(dòng)臂突出的方向，該第2寬度縮小部在所述交叉的方向上的長(zhǎng)度逐漸減小，
[0030]所述支撐臂從所述第2寬度縮小部突出。
[0031]由此，能夠通過第1、第2寬度縮小部的協(xié)同效應(yīng)，更有效地抑制振動(dòng)泄漏。
[0032][應(yīng)用例8]
[0033]本發(fā)明的振動(dòng)片的特征在于，具有:
[0034]基部；
[0035]從所述基部的一側(cè)延伸出的一對(duì)振動(dòng)臂；以及
[0036]從所述基部的一側(cè)延伸出的支撐臂，其配置于所述一對(duì)振動(dòng)臂之間，
[0037]在與所述基部的一側(cè)相反側(cè)的另一側(cè)的和所述支撐臂相對(duì)的區(qū)域中包含突出部，
[0038]并且，在所述突出部的兩側(cè)包含寬度縮小部，該寬度縮小部在所述一對(duì)振動(dòng)臂的排列方向上的寬度隨著朝向所述一側(cè)而增大。
[0039]由此，能夠通過寬度縮小部來抵消(緩和/吸收)振動(dòng)臂的振動(dòng)，降低振動(dòng)泄漏。因此，可以得到具有良好的振動(dòng)特性的振動(dòng)片。
[0040][應(yīng)用例9]
[0041]本發(fā)明的振子的特征在于，具有:
[0042]本發(fā)明的振動(dòng)片；以及
[0043]收納所述振動(dòng)片的封裝，
[0044]所述支撐臂被固定在所述封裝上。
[0045]由此，可以得到可靠性高的振子。
[0046][應(yīng)用例10]
[0047]本發(fā)明的振蕩器的特征在于，具有:
[0048]本發(fā)明的振動(dòng)片；以及
[0049]與所述振動(dòng)片電連接的振蕩電路。[0050]由此，可以得到可靠性高的振蕩器。
[0051][應(yīng)用例11]
[0052]本發(fā)明的電子設(shè)備的特征在于具有本發(fā)明的振動(dòng)片。
[0053]由此，可以得到可靠性高的電子設(shè)備。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0054]圖1是示出本發(fā)明的第I實(shí)施方式的振動(dòng)片的俯視圖。
[0055]圖2是圖1中的A-A線截面圖。
[0056]圖3是示出用于仿真的振動(dòng)片的俯視圖。
[0057]圖4是說明抑制振動(dòng)泄漏的原理的俯視圖。
[0058]圖5是本發(fā)明的第2實(shí)施方式的振動(dòng)片的俯視圖。
[0059]圖6是本發(fā)明的第3實(shí)施方式的振動(dòng)片的俯視圖。
[0060]圖7是本發(fā)明的第4實(shí)施方式的振動(dòng)片的俯視圖。
[0061]圖8是本發(fā)明的第5實(shí)施方式的振動(dòng)片的俯視圖。
[0062]圖9是本發(fā)明的第6實(shí)施方式的振動(dòng)片的俯視圖。
[0063]圖10是示出本發(fā)明的振子的圖。
[0064]圖11是示出本發(fā)明的振蕩器的圖。
[0065]圖12是示出應(yīng)用了具有本發(fā)明的振動(dòng)片的電子設(shè)備的移動(dòng)式(或者筆記本式)個(gè)人計(jì)算機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0066]圖13是不出應(yīng)用了具有本發(fā)明的振動(dòng)片的電子設(shè)備的移動(dòng)電話機(jī)(包括PHS)的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0067]圖14是示出應(yīng)用了具有本發(fā)明的振動(dòng)片的電子設(shè)備的數(shù)字靜態(tài)照相機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0068]圖15是示出應(yīng)用了具有本發(fā)明的振動(dòng)片的電子設(shè)備的移動(dòng)體(汽車)的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0069]標(biāo)號(hào)說明
[0070]100:振子;200、200A、200B、200C、200D、200E:振動(dòng)片；210:振動(dòng)基板;220、220D:基部；221:主體部;222、222A、222B、222C:第 I 寬度縮小部;222a、222b、222Ca、222Cb:傾斜部；222c:圓弧部；222Cd:連接部；223:第2寬度縮小部；223a、223b:傾斜部;230、240:振動(dòng)臂;231、232、241、242:主面;233、234、243、244:側(cè)面;235、236、245、246:槽；250 --支撐臂；260、270:錘頭狀部(hammerhead) ；280:第I驅(qū)動(dòng)用電極；290:第2驅(qū)動(dòng)用電極；300:封裝；310:基底基板；311:凹部；320:蓋；331、332:連接電極；351、352:導(dǎo)電性粘接劑；400:封裝；410:基底基板；411:第I凹部；412:第2凹部；420:蓋；431、432:連接電極；433、434:1C連接電極；451、452:導(dǎo)電性粘接劑；500:1C芯片；600:貫通孔；601:第I延伸部；602:第2延伸部；700:樹脂材料；900:振蕩器；1100:個(gè)人計(jì)算機(jī)；1102:鍵盤；1104:主體部；1106:顯示單元；1200:移動(dòng)電話機(jī)；1202:操作按鍵；1204:接聽口 ；1206:通話口 ；1300:數(shù)字靜態(tài)照相機(jī)；1302:殼體；1304:受光單元；1306:快門按鈕；1308:存儲(chǔ)器；1312:視頻信號(hào)輸出端子；1314:輸入輸出端子；1430:電視監(jiān)視器；1440:個(gè)人計(jì)算機(jī)；1500:移動(dòng)體；1501:車體；1502:車輪；2000:顯示部。【具體實(shí)施方式】
[0071]以下，基于附圖所示的實(shí)施方式詳細(xì)地對(duì)本發(fā)明的振動(dòng)片、振子、振蕩器以及電子設(shè)備進(jìn)行說明。
[0072]1.振動(dòng)片
[0073]<第I實(shí)施方式>
[0074]圖1是示出本發(fā)明的第I實(shí)施方式的振動(dòng)片的俯視圖，圖2是圖1中的A-A線截面圖，圖3是示出用于仿真的振動(dòng)片的俯視圖，圖4是說明抑制振動(dòng)泄漏的原理的俯視圖。另外，在各圖中，為了便于說明，作為彼此垂直的3個(gè)軸，圖示了 X軸、Y軸和Z軸。此外，在以下的說明中，為了便于說明，將圖1中的上側(cè)稱作“上”、下側(cè)稱作“下”。此外，為了便于說明，也將從Z軸方向觀察時(shí)的俯視簡(jiǎn)稱作“俯視”。
[0075]圖1和圖2所示的振動(dòng)片200具有振動(dòng)基板210和在該振動(dòng)基板210上形成的驅(qū)動(dòng)用的電極。
[0076]振動(dòng)基板210例如由石英、特別是Z切石英板構(gòu)成。由此，振動(dòng)片200能夠發(fā)揮良好的振動(dòng)特性。Z切石英板是將石英的Z軸(光軸)作為厚度方向的石英基板。優(yōu)選Z軸與振動(dòng)基板210的厚度方向一致，但是，從減小常溫附近的頻率溫度變化的觀點(diǎn)出發(fā)，相對(duì)于厚度方向稍微(例如，小于15°左右)傾斜。
[0077]振動(dòng)基板210具有:基部220 ;從基部220向+Y軸方向突出，并且在X方向上并排設(shè)置的兩個(gè)振動(dòng)臂230、240 ;從基部220向+Y軸方向側(cè)突出，并且位于兩個(gè)振動(dòng)臂230、240之間的支撐臂250。這樣的振動(dòng)基板210以關(guān)于對(duì)稱軸Y’對(duì)稱的方式形成，該對(duì)稱軸Y’與Y軸平行。
[0078]基部220呈大致板狀，在XY平面上具有廣度，在Z軸方向上具有厚度。這樣的基部220具有對(duì)臂230、240、250進(jìn)行支撐/連接的主體部221、以及抑制振動(dòng)泄漏的第I寬度縮小部222。
[0079]如圖1所示，主體部221的寬度(X軸方向的長(zhǎng)度)W’沿著Y軸方向基本是固定的。即，主體部221具有大致矩形的俯視形狀。而且，在主體部221的-Y軸方向側(cè)的外緣上連接有第I寬度縮小部222。S卩，第I寬度縮小部222隔著主體部221而設(shè)于與各個(gè)臂230、240、250相反的一側(cè)。
[0080]第I寬度縮小部222的輪廓在俯視時(shí)由相對(duì)于X軸和Y軸這兩個(gè)軸傾斜的直線狀的傾斜部222a、222b構(gòu)成，這些傾斜部222a、222b的一端(_Y軸方向側(cè)的端部)彼此在對(duì)稱軸Y’上連接。即，傾斜部222a與222b是例如以經(jīng)過振動(dòng)臂230與振動(dòng)臂240之間的中心的對(duì)稱軸Y’為界，實(shí)質(zhì)上對(duì)稱的關(guān)系。因此，第I寬度縮小部222在其末端部具有以傾斜部222a、222b為邊的角，呈尖角狀。通過使第I寬度縮小部222成為這樣的形狀，由此，如后所述，能夠有效地抑制振動(dòng)泄漏，并且，能夠?qū)崿F(xiàn)第I寬度縮小部222的結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)單化。
[0081]另外，作為傾斜部222a、222b與X軸所成的角度Θ，沒有特別地限定，但是，例如，從抑制第I寬度縮小部222過度大型化的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選是5°以上70°以下左右，更優(yōu)選的是10°以上50°以下左右。
[0082]此外，第I寬度縮小部222的最大寬度(突出方向基端的長(zhǎng)度)Wmax與主體部221的寬度W’基本相等，第I寬度縮小部222形成為與主體部221的-Y軸方向側(cè)的端部(角部)連續(xù)且沒有臺(tái)階。
[0083]此外，在通過對(duì)石英基板進(jìn)行濕蝕刻來對(duì)振動(dòng)基板210進(jìn)行構(gòu)圖的情況下，由于在振動(dòng)基板210的輪廓上出現(xiàn)石英晶面，因此如果預(yù)先在光掩模上形成與該晶面平行的傾斜部222a、222b并進(jìn)行構(gòu)圖，則能夠減小形狀的偏差，能夠獲得穩(wěn)定的性能。特別地，優(yōu)選與相對(duì)于石英的X軸成30°或60°的晶面平行。
[0084]支撐臂250從基部220向+Y軸方向延伸，并且位于振動(dòng)臂230、240之間。此外，支撐臂250呈長(zhǎng)條形狀，在長(zhǎng)度方向的全部區(qū)域內(nèi)寬度(X方向的長(zhǎng)度)固定。但是，作為支撐臂250的形狀(特別是俯視形狀)，沒有特別地限定，可以在長(zhǎng)度方向的中途具有寬度變化的部分。此外，支撐臂250的長(zhǎng)度不需要與振動(dòng)臂230、240相同，根據(jù)需要可以比振動(dòng)臂230、240長(zhǎng)或短。
[0085]振動(dòng)臂230、240以預(yù)定的間隔距離在X方向上排列設(shè)置，并分別從基部220向+Y方向突出。此外，振動(dòng)臂230、240分別具有在各自的末端部設(shè)置的錘頭狀部260、270。通過設(shè)置錘頭狀部260、270，能夠?qū)崿F(xiàn)振動(dòng)片200的小型化，并且能夠降低振動(dòng)臂230、240的彎曲振動(dòng)的頻率。另外，錘頭狀部260、270可以根據(jù)需要具有多種寬度，也可以省略錘頭狀部260、270。此外，在設(shè)置了錘頭狀部260、270的情況下，通過將上述的支撐臂250的長(zhǎng)度設(shè)為小于從振動(dòng)臂230、240的長(zhǎng)度減去錘頭狀部260、270的長(zhǎng)度而得到的長(zhǎng)度，由此能夠縮短錘頭狀部260與錘頭狀部270之間的距離，因此有利于小型化。
[0086]此外，在振動(dòng)臂230上形成有在一方的主面231上開放的有底的槽235、以及在另一方的主面232上開放的有底的槽236。同樣地，在振動(dòng)臂240上形成有在一方的主面241上開放的有底的槽245、以及在另一方的主面242上開放的有底的槽246。這些槽235、236、
245、246被設(shè)置成在Y軸方向上延伸，并且呈彼此相同的形狀。因此，振動(dòng)臂230、240呈大致“H”狀的橫截面形狀。通過形成這樣的槽235、236、245、246，由彎曲振動(dòng)產(chǎn)生的熱量難以擴(kuò)散(熱傳導(dǎo))，在彎曲振動(dòng)頻率(機(jī)械的彎曲振動(dòng)頻率)f大于熱弛豫頻率f0的區(qū)域(f>f0)即絕熱區(qū)域中，能夠抑制熱彈性損失。另外，可以根據(jù)需要來設(shè)置槽235、236、245、246，也可以省略槽 235、236、245、246。
[0087]此外，如圖2所示，在振動(dòng)臂230上形成有第I驅(qū)動(dòng)用電極280和第2驅(qū)動(dòng)用電極290。第I驅(qū)動(dòng)用電極280形成于槽235、236的里面，第2驅(qū)動(dòng)用電極290形成于側(cè)面233、234。同樣地，在振動(dòng)臂240上也形成有第I驅(qū)動(dòng)用電極280和第2驅(qū)動(dòng)用電極290。第I驅(qū)動(dòng)用電極280形成于側(cè)面243、244，第2驅(qū)動(dòng)用電極290形成于槽245、246的里面。當(dāng)在這些第1、第2驅(qū)動(dòng)用電極280、290之間施加交變電壓時(shí)，振動(dòng)臂230、240以重復(fù)地彼此接近、遠(yuǎn)離的方式在面內(nèi)方向(XY平面方向)上以預(yù)定的頻率進(jìn)行振動(dòng)。
[0088]第1、第2驅(qū)動(dòng)用電極280、290的結(jié)構(gòu)沒有特別的限定，可以使用金(Au)、金合金、鉬(Pt)、鋁(Al)、鋁合金、銀(Ag)、銀合金、鉻(Cr)、鉻合金、銅(Cu)、鑰(Mo)、鈮(Nb)、鎢(W)、鐵(Fe)、鈦(Ti)、鈷(Co)、鋅(Zn)、鋯(Zr)等金屬材料以及氧化銦錫(ITO)等導(dǎo)電材料。
[0089]另外，雖然未圖示，但是，第I驅(qū)動(dòng)用電極280和第2驅(qū)動(dòng)用電極290經(jīng)由基部220被引出到支撐臂250，在支撐臂上實(shí)現(xiàn)例如與形成于后述的封裝300上的連接電極的導(dǎo)通。
[0090]以上，對(duì)振動(dòng)片200的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單地進(jìn)行了說明。接著，根據(jù)仿真結(jié)果，證明通過設(shè)置前述的第I寬度縮小部222提高了振動(dòng)特性。另外，以下，以使用了如下振動(dòng)片的仿真為代表，該振動(dòng)片是在俯視時(shí)振動(dòng)臂230、240彼此反相的彎曲振動(dòng)的基本模式中的彎曲振動(dòng)頻率(機(jī)械的彎曲振動(dòng)頻率)f=32.768kHz附近的振動(dòng)片，但是，
【發(fā)明者】們已經(jīng)確認(rèn)，在俯視時(shí)振動(dòng)臂230、240彼此反相地進(jìn)行彎曲振動(dòng)的情況下，即使改變彎曲振動(dòng)頻率f,也具有與下述所示的仿真結(jié)果相同的趨勢(shì)。
[0091]此外，在本仿真中使用的振動(dòng)片的振動(dòng)臂230、240的尺寸分別為，長(zhǎng)度(包含錘頭狀部260、270的長(zhǎng)度)是1000 μ m,厚度是150 μ m,寬度是80 μ m,基部220的寬度是500 μ m。另外，
【發(fā)明者】們已經(jīng)確認(rèn)，即使改變振動(dòng)臂230、240或基部220的尺寸，也具有與下述所示的仿真結(jié)果相同的趨勢(shì)。
[0092]下述的表1是示出有無第1寬度縮小部而引起的Q值的變化的表。另外，表1所示的Q值是僅考慮到振動(dòng)泄漏的值。
[0093]此外，表1中的“SM/0_1”是如圖3的(a)所示，未在基部220設(shè)置第I寬度縮小部222，并且基部220的長(zhǎng)度(Y方向的長(zhǎng)度)L為70 μ m的振動(dòng)片。此外，“SM/0_2”是如圖3的(b)所示，未在基部220設(shè)置第1寬度縮小部222，并且基部220的長(zhǎng)度L為120μπι的振動(dòng)片。此外，“SM/1_1”是如圖3的(c)所示，在基部220上形成有第I寬度縮小部222，基部220的長(zhǎng)度L為120 μ m,并且第1寬度縮小部222的長(zhǎng)度L’為50 μ m的振動(dòng)片。即，SIM/0_1和SIM/0_2是屬于現(xiàn)有技術(shù)的振動(dòng)片，SIM/1_1是屬于本發(fā)明的振動(dòng)片。
[0094]【表1】
[0095]
【權(quán)利要求】
1. 一種振動(dòng)片，其特征在于，包含: 基部; 一對(duì)振動(dòng)臂，它們從所述基部向相同的一側(cè)突出，在俯視時(shí)在與所述突出的方向交叉的方向上隔著間隔而排列；以及 支撐臂，其位于所述一對(duì)振動(dòng)臂之間，從所述基部向與所述一對(duì)振動(dòng)臂相同的一側(cè)突出， 所述基部包含第I寬度縮小部，該第I寬度縮小部位于以所述基部的中央為界而與所述支撐臂突出的一側(cè)相反的一側(cè)，在俯視時(shí)，隨著遠(yuǎn)離于所述支撐臂，該第I寬度縮小部在所述交叉的方向上的寬度逐漸減小。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動(dòng)片，其中， 所述第I寬度縮小部的輪廓在俯視時(shí)是以沿著與所述交叉的方向垂直的方向的線為界，具有一對(duì)直線狀的傾斜部的對(duì)稱形狀。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的振動(dòng)片，其中， 所述第I寬度縮小部具有以所述一對(duì)傾斜部為邊的角。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動(dòng)片，其中， 所述第I寬度縮小部的輪廓在俯視時(shí)是以沿著與所述交叉的方向垂直的方向的線為界的圓弧狀的對(duì)稱形狀。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任意一項(xiàng)所述的振動(dòng)片，其中， 所述第I寬度縮小部在所述交叉的方向上的最大寬度大于所述間隔的距離。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任意一項(xiàng)所述的振動(dòng)片，其中， 在所述支撐臂的所述基部形成有在其厚度方向上貫通的貫通孔。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任意一項(xiàng)所述的振動(dòng)片，其中， 所述基部具有第2寬度縮小部，該第2寬度縮小部位于所述一對(duì)振動(dòng)臂之間，隨著朝向所述振動(dòng)臂突出的方向，該第2寬度縮小部在所述交叉的方向上的長(zhǎng)度逐漸減小， 所述支撐臂從所述第2寬度縮小部突出。
8.一種振動(dòng)片，其特征在于，具有: 基部; 從所述基部的一側(cè)延伸出的一對(duì)振動(dòng)臂；以及 從所述基部的一側(cè)延伸出的支撐臂，其配置于所述一對(duì)振動(dòng)臂之間， 在與所述基部的一側(cè)相反側(cè)的另一側(cè)的和所述支撐臂相對(duì)的區(qū)域中包含突出部， 并且，在所述突出部的兩側(cè)包含寬度縮小部，該寬度縮小部在所述一對(duì)振動(dòng)臂的排列方向上的寬度隨著朝向所述一側(cè)而增大。
9.一種振子，其特征在于，具有: 權(quán)利要求1至4中的任意一項(xiàng)所述的振動(dòng)片；以及 收納所述振動(dòng)片的封裝， 所述支撐臂被固定在所述封裝上。
10.一種振蕩器,其特征在于,具有: 權(quán)利要求1至4中的任意一項(xiàng)所述的振動(dòng)片；以及 與所述振動(dòng)片電連接的振蕩電路。
11.電子設(shè)備，其特征在于具有`權(quán)利要求1至4中的任意一項(xiàng)所述的振動(dòng)片。
【文檔編號(hào)】H03H9/215GK103580641SQ201310301816
【公開日】2014年2月12日 申請(qǐng)日期:2013年7月15日 優(yōu)先權(quán)日:2012年7月26日
【發(fā)明者】山田明法 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社