本技術(shù)涉及加熱帶安全防護，具體為一種工業(yè)管道加熱帶安全保護裝置。

背景技術(shù)：

1、半導體制造工藝中，半導體制造設備設置有真空腔，真空腔連接有管道，會有多種氣體通過管道向真空腔內(nèi)輸送氣體參與反應，氣體與水分或空氣中的氧氣發(fā)生化學反應，會形成固體性的酸化物。其中，為了消除管道內(nèi)部工藝氣體與水分或空氣中氧氣反應產(chǎn)生的固體酸化物，避免固體酸化物堆積造成管道堵塞，影響氣體流通的順暢，需要對管路進行加熱以保持溫度，且為了更安全地使用加熱帶，需要用到安全保護裝置，從而安全控制加熱帶正常工作。

2、進一步地，整個行業(yè)中加熱帶的安全保護裝置大致分為包括外接部分和內(nèi)接部分，外接部分包括加熱帶外部控溫所使用的溫控器，內(nèi)接部分一般為溫度開關(guān)或者過溫保險絲，溫度開關(guān)與過溫保險絲共同串聯(lián)在加熱絲排布線路上，位于加熱層之上。

3、一般通過內(nèi)外兩種安全保護裝置相結(jié)合的裝置，達到加熱帶安全運行的目的，但在外接部分中，溫控器對溫度傳感器放置位置要求高，對于不同位置測溫的結(jié)果會有很大差異，位置放置不正確會導致誤報警以及測量不準確；且內(nèi)接部分中溫度保險絲是一次性的，若發(fā)生動作后不可恢復連接。因此，設計一種克服上述缺陷的工業(yè)管道加熱帶安全保護裝置是亟待解決的問題。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的在于提供一種工業(yè)管道加熱帶安全保護裝置，能夠克服現(xiàn)有技術(shù)中保險絲斷裂后不可恢復連接的缺陷，利用溫控器、溫度開關(guān)和溫度保險絲實現(xiàn)對工業(yè)管道加熱帶的三重保護。

2、為了達到上述目的，本實用新型提供了一種工業(yè)管道加熱帶安全保護裝置，包含溫控組件和與所述溫控組件相連的加熱帶組件。

3、其中，所述溫控組件包含：溫控器，為所述安全保護裝置的主控單元；溫度傳感器，與所述溫控器的信號端相連。

4、其中，所述加熱帶組件包含：加熱層；加熱絲，設置在所述加熱層的下表面，且該加熱絲的兩端與所述溫控器的電流輸出端相連；內(nèi)層布，設置在所述加熱層的上表面，其上放置所述工業(yè)管道，且其上表面與所述溫度傳感器相連；保溫層，設置在所述加熱絲的下層，并同時將所述加熱層、加熱絲和內(nèi)層布的側(cè)面圍繞包裹，進行保溫隔熱；外層布，圍繞包裹設置在所述保溫層的外側(cè)，以隔絕所述保溫層與外界環(huán)境。

5、優(yōu)選地，所述內(nèi)層布頂部兩側(cè)與所述外層布縫合，且兩側(cè)縫合過后所預留的所述內(nèi)層布的長度為所述工業(yè)管道的周長。

6、可選地，所述外層布和內(nèi)層布外表面均涂有聚四氟乙烯。

7、優(yōu)選地，所述安全保護裝置還包含電源，與所述溫控器相連，負責提供所述安全保護裝置的工作電源。

8、優(yōu)選地，所述溫控器設置有電子顯示屏，用以顯示所述溫度傳感器檢測得到的實時溫度。

9、優(yōu)選地，所述加熱帶組件還包含：溫度保險絲和溫度開關(guān)，所述溫度保險絲和溫度開關(guān)分別串聯(lián)設置在所述加熱絲上。

10、可選地，所述溫度保險絲包含并聯(lián)設計的第一溫度保險絲和第二溫度保險絲。

11、可選地，所述第一溫度保險絲的熔點為240℃，所述第二溫度保險絲的熔點為280℃。

12、可選地，所述溫度開關(guān)為陶瓷體材料，采用常閉型設置。

13、可選地，所述溫度開關(guān)的保護溫度為220℃。

14、綜上所述，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型一種工業(yè)管道加熱帶安全保護裝置采用溫度保險絲、溫控開關(guān)和溫控器對工業(yè)管道加熱帶進行三重保護，且在溫度保險絲方面采用并聯(lián)設計，更好地實現(xiàn)對加熱帶的控溫，能夠很好地滿足當下半導體廠對工業(yè)管道加熱的實際需求。

技術(shù)特征：

1.一種工業(yè)管道加熱帶安全保護裝置，包含溫控組件和與所述溫控組件相連的加熱帶組件，其特征在于，所述溫控組件包含：

2.如權(quán)利要求1所述的工業(yè)管道加熱帶安全保護裝置，其特征在于，所述內(nèi)層布頂部兩側(cè)與所述外層布縫合，且兩側(cè)縫合過后所預留的所述內(nèi)層布的長度為所述工業(yè)管道的周長。

3.如權(quán)利要求2所述的工業(yè)管道加熱帶安全保護裝置，其特征在于，所述外層布和內(nèi)層布外表面均涂有聚四氟乙烯。

4.如權(quán)利要求1所述的工業(yè)管道加熱帶安全保護裝置，其特征在于，所述安全保護裝置還包含電源，與所述溫控器相連，負責提供所述安全保護裝置的工作電源。

5.如權(quán)利要求1所述的工業(yè)管道加熱帶安全保護裝置，其特征在于，所述溫控器設置有電子顯示屏，用以顯示所述溫度傳感器檢測得到的實時溫度。

6.如權(quán)利要求1所述的工業(yè)管道加熱帶安全保護裝置，其特征在于，所述加熱帶組件還包含：溫度保險絲和溫度開關(guān)，所述溫度保險絲和溫度開關(guān)分別串聯(lián)設置在所述加熱絲上。

7.如權(quán)利要求6所述的工業(yè)管道加熱帶安全保護裝置，其特征在于，所述溫度保險絲包含并聯(lián)設計的第一溫度保險絲和第二溫度保險絲。

8.如權(quán)利要求7所述的工業(yè)管道加熱帶安全保護裝置，其特征在于，所述第一溫度保險絲的熔點為240℃，所述第二溫度保險絲的熔點為280℃。

9.如權(quán)利要求6所述的工業(yè)管道加熱帶安全保護裝置，其特征在于，所述溫度開關(guān)為陶瓷體材料，為常閉開關(guān)。

10.如權(quán)利要求9所述的工業(yè)管道加熱帶安全保護裝置，其特征在于，所述溫度開關(guān)的保護溫度為220℃。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提供了一種工業(yè)管道加熱帶安全保護裝置，包含溫控組件和與所述溫控組件相連的加熱帶組件，所述溫控組件包含：溫控器；溫度傳感器，與所述溫控器的信號端相連；所述加熱帶組件包含：加熱層；加熱絲，設置在所述加熱層的下表面，且該加熱絲的兩端與所述溫控器的電流輸出端相連；內(nèi)層布，設置在所述加熱層的上表面，其上放置所述工業(yè)管道，且其上表面與所述溫度傳感器相連；保溫層，設置在所述加熱絲的下層，并同時將所述加熱層、加熱絲和內(nèi)層布的側(cè)面圍繞包裹；外層布，圍繞包裹設置在所述保溫層的外側(cè)。本技術(shù)采用溫度保險絲、溫控開關(guān)和溫控器對所述加熱帶進行三重保護，且在溫度保險絲方面采用并聯(lián)設計，在極大程度上滿足當下半導體廠對工業(yè)管道加熱的實際需求。

技術(shù)研發(fā)人員：陳碩,冉曦,周忌,李品鑫
受保護的技術(shù)使用者：浙江亞笙半導體設備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240202
技術(shù)公布日：2024/10/10