專利名稱：一種基于微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)制作的光分插復(fù)用器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種光通信應(yīng)用中的無源器件，主要用于下載密集波分復(fù)用系統(tǒng)(DWDM系統(tǒng))光纖傳輸線路中的多波長(zhǎng)信號(hào)中的指定波長(zhǎng)光信號(hào)或?qū)⒅付ü獠ㄩL(zhǎng)信號(hào)上載到DWDM系統(tǒng)的光纖傳輸線路中，構(gòu)成新的多波長(zhǎng)傳輸信號(hào)。
現(xiàn)在已經(jīng)提出的OADM相關(guān)技術(shù)中，有利用控制光開關(guān)和波導(dǎo)陣列光柵制作的OADM，其美國專利號(hào)為6385362 B1。它是利用在在一個(gè)基底上放置有三層不同的敷層，其中最主要的是利用其中的一個(gè)polymer層，即高聚合物層，利用加熱改變polymer的折射率，使得polymer層起到一個(gè)光開關(guān)的作用，然后利用光開關(guān)來選擇所需要的波長(zhǎng)范圍，最后用波導(dǎo)陣列光柵來輸出分開的光信號(hào)。在這個(gè)專利中關(guān)鍵要很精確的控制好polymer的狀態(tài)，即開關(guān)狀態(tài)，即作出的OADM熱穩(wěn)定性不好，而且在本專利中還需要用到兩個(gè)波導(dǎo)陣列的光柵進(jìn)行輸出與輸入，這也造成器件本身的體積增大，而且器件成本也很高，不利于大規(guī)模生產(chǎn)。另外還有是利用兩個(gè)雙光纖插針，兩個(gè)耦合透鏡，一個(gè)濾波片構(gòu)成的OADM。其中國專利申請(qǐng)?zhí)枮?9124947.X。其中一個(gè)雙光纖插針與一個(gè)耦合透鏡構(gòu)成一個(gè)雙光纖準(zhǔn)直器，而濾波片放在兩個(gè)雙光纖準(zhǔn)直器之間如

圖1所示。它利用端口11為光信號(hào)的輸入端，端口19作為光信號(hào)下載端，端口17作為光信號(hào)的上載端，而端口12作為光信號(hào)的輸出端，以此來實(shí)現(xiàn)光信號(hào)的光分插復(fù)用功能。而眾所周知，雙光纖準(zhǔn)直器對(duì)角度的變化非常敏感，只要給兩雙光纖準(zhǔn)直器有一個(gè)偏向角，其引起的損耗就大大增加，一般其偏向角度要控制在0.02度以內(nèi)，這樣在調(diào)試其對(duì)準(zhǔn)光路的時(shí)候就需要非常高的裝配精度。而在專利99124947.X的方案中，濾波片的安裝角度的變化就會(huì)大大影響雙光纖準(zhǔn)直器的光路對(duì)準(zhǔn)，這樣也直接影響了其OADM的主要性能指標(biāo)，比如其插入損耗大大增加，在偏轉(zhuǎn)角度只有0.1度時(shí)，其插入損耗就達(dá)到5.7dB。其次是濾波片的安裝角度要求很高，使得其調(diào)試精度也要求很高，這直接導(dǎo)致了其成品率很低。所以用此種方法構(gòu)成的OADM器件雖然結(jié)構(gòu)比較簡(jiǎn)單，但由于裝配的要求精度非常高，調(diào)試非常困難，且成品率低，不利于大批量生產(chǎn)。
MEMS微機(jī)電系統(tǒng)(Micro-Electro Mechanical Systems，簡(jiǎn)稱″MEMS″)，又稱微系統(tǒng)，是受微電子技術(shù)啟發(fā)并在其基礎(chǔ)上發(fā)展起來的、是微電子加工技術(shù)和多種微機(jī)械加工技術(shù)相融合而成的微型系統(tǒng)。完整的MEMS是由感知外界信息(力、熱、光、磁、化等)的微傳感器、控制對(duì)象的微執(zhí)行器、信號(hào)處理和控制電路、通訊接口和電源等部件組成的一體化的微型器件系統(tǒng)。MEMS具有集成電路系統(tǒng)的許多優(yōu)點(diǎn)，如微型化、以硅為主要材料，機(jī)械電氣性能優(yōu)良、可批量生產(chǎn)、集成化等，同時(shí)又集約了機(jī)械、材料、信息與自動(dòng)控制、物理、化學(xué)和生物等多種學(xué)科發(fā)展出的尖端成果。具有多學(xué)科交叉、多技術(shù)融合的特點(diǎn)，并且為上述學(xué)科的進(jìn)一步研究和發(fā)展提供了有力的工具。
其次在于利用MEMS的封裝技術(shù)，設(shè)計(jì)一種封裝難度低，操作簡(jiǎn)單，器件集成度高，其性能指標(biāo)好，如插入損耗可作到小于1dB，使之具有單波長(zhǎng)光分插復(fù)用功能的四端口OADM器件。如果多級(jí)串接使用本發(fā)明，還可以實(shí)現(xiàn)多波長(zhǎng)光信號(hào)上下復(fù)用。
實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的一種基于微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)制作的光分插復(fù)用器，含有帶通濾波器件，其主要特征在于(1)利用MEMS技術(shù)中的腐蝕與刻蝕工藝，在硅片上制作出四根光纖，四個(gè)球透鏡(ball lens)，帶通濾波器件的V型放置槽和矩形放置槽。以此來對(duì)OADM器件的各個(gè)部件進(jìn)行精確定位。所制作的V型槽其槽寬度范圍可以是490～2500um，其槽深可以是300～1750um。所制作的矩形放置槽其槽寬度范圍可以是0.5～10mm，其槽深可以是0.5～10mm。
(2)如(1)中所述制作好放置槽的硅基片，利用微裝配技術(shù)在其相應(yīng)的V型槽位置放置輸入光信號(hào)光纖、輸出光信號(hào)光纖、上載光信號(hào)光纖、下載光信號(hào)光纖、四個(gè)球透鏡，在矩形放置槽內(nèi)放置一個(gè)帶通濾波器件構(gòu)成一個(gè)四端口的OADM器件。
(3)如(1)中所述的V型放置槽，其進(jìn)一步的特征是在光纖與球透鏡的放置槽之間設(shè)有一段定位光纖端面的V型槽，其V型槽與光纖放置V型槽相比有一個(gè)高度差，其高度差可以控制在1～10個(gè)um內(nèi)，主要作用是定位光纖端面的位置，當(dāng)光纖推入光纖放置V型槽時(shí)，光纖端面會(huì)因?yàn)檫@兩個(gè)V型槽的不同高度而停留在兩V型槽的交界處。這個(gè)裝置設(shè)置在每個(gè)光纖放置槽和球透鏡放置槽之間。
(4)在上述的OADM器件中，其進(jìn)一步的特征可以是輸入光信號(hào)光纖和下載光信號(hào)光纖所在的光軸與上載光信號(hào)光纖和輸出光信號(hào)光纖所在的光軸相交，這兩光軸之間的夾角可以成30°～90°夾角。
(5)在上述的OADM器件中，其進(jìn)一步的特征可以是帶通濾波器件可以是波長(zhǎng)動(dòng)態(tài)可調(diào)諧的，這樣可以使用戶選擇上載或下載何種光信號(hào)，即構(gòu)成可重構(gòu)型OADM。帶通濾波器的長(zhǎng)度范圍在0.5～10mm，厚度在10～400um，寬度在0.5～10mm，濾波范圍可選擇在980～1650um內(nèi)。
(6)在上述的OADM器件中，其進(jìn)一步的特征可以是帶通濾波器件還可以用帶阻濾波器件代替。帶阻濾波器件與帶通濾波器件作用正好相反，帶通濾波器件是指定波長(zhǎng)的光信號(hào)可以以很小的損耗完全通過，非指定波長(zhǎng)光信號(hào)將被反射。帶阻濾波器件是指定的波長(zhǎng)光信號(hào)被反射，非指定的波長(zhǎng)光信號(hào)透射通過。因此使用帶阻濾波器件其光信號(hào)輸出端與上載端的功能正好與使用帶通濾波器件的作用相反。
(7)在上述的OADM器件中，其進(jìn)一步的特征可以是用平凸透鏡(Plano-Convex)代替球透鏡，可以減小球透鏡引起的球差，可以比球透鏡提高5％～9％的耦合效率，但平凸透鏡不象球透鏡是球?qū)ΨQ的，這使裝配難度有所增加。
(8)在上述的OADM器件中，其進(jìn)一步的特征可以是用單纖準(zhǔn)直器代替球透鏡與光纖的組合系統(tǒng)。使用四個(gè)單纖準(zhǔn)直器，與使用兩個(gè)雙纖準(zhǔn)直器比較起來對(duì)角度的容差，而且由于四個(gè)單纖準(zhǔn)直器是彼此分開的，調(diào)試更為容易。而且其插入損耗也比較小，可以達(dá)到小于1dB。其缺點(diǎn)是導(dǎo)致其產(chǎn)品體積較大。
(9)在上述的OADM器件中，其進(jìn)一步的特征可以是用擴(kuò)束光纖代替球透鏡和光纖系統(tǒng)，還可以用Corning公司的Collimating Lensed Fiber代替球透鏡和光纖系統(tǒng)。上述方案也具有很好的器件性能，但其缺點(diǎn)是擴(kuò)束光纖與Collimating Lensed Fiber制作工藝較困難，而且成本較高。
(10)在上述的OADM器件中，其進(jìn)一步的特征可以是用折射率匹配液填充光纖與球透鏡中間的空隙，以提高光信號(hào)的耦合效率，一般可以提高1～5個(gè)百分點(diǎn)的耦合效率，同時(shí)可以減少回波功率。但其缺點(diǎn)是折射率匹配液使用時(shí)間過長(zhǎng)，容易引起折射率匹配液的老化，影響其光路的性能指標(biāo)。
(11)在上述的OADM器件中，其進(jìn)一步的特征可以是多級(jí)串接使用本發(fā)明，可以實(shí)現(xiàn)多波長(zhǎng)光信號(hào)的上載與下載。
(12)在上述的OADM器件中，其進(jìn)一步的特征可以是四根光纖的輸出端面與接收端面的位置均在球透鏡的焦面上即離球透鏡球心為一倍的焦距，四個(gè)球透鏡具有一樣的半徑與一樣的折射率。球透鏡半徑可以是200um～1000um，球透鏡折射率可以是1.4～2.0。
(13)如(11)中所述，其進(jìn)一步的特征可以是輸入光信號(hào)光纖端面或在球透鏡焦平面上，或放置在距離球透鏡球心稍小于一倍的焦距的地方，即不是在球透鏡的焦面上，其離開焦面的距離可以在0～20um，而接收光信號(hào)光纖端面也可以放置在距離球透鏡球心稍遠(yuǎn)于一倍的焦距的地方，即不是在球透鏡的焦面上，其離開焦面的距離也可以在0～20um。這樣做的目的是可以進(jìn)一步減小球透鏡帶來的球差，提高光信號(hào)的耦合效率。
(14)如(11)中所述，其進(jìn)一步的特征可以是輸入光信號(hào)端球透鏡的焦距f1與下載端球透鏡的焦距f2，其兩者的比值f2/f1是1～6，并且上載光信號(hào)端球透鏡的焦距f3與輸出光信號(hào)端球透鏡的焦距f4，其兩者的比值f4/f3是1～6，這樣做的目的也可以提高一部分光信號(hào)的耦合效率。
(15)如(2)所述的輸入光纖信號(hào)光纖，輸出光信號(hào)光纖，上載光信號(hào)光纖和下載光信號(hào)光纖的端面可以有一個(gè)傾角，其傾角范圍在0°～8°。
本發(fā)明一種基于微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)制作的光分插復(fù)用器，采用在硅片上MEMS的腐蝕與刻蝕工藝，制作出各個(gè)部件的V型放置槽，精確定位出各個(gè)部件的位置，其中還設(shè)計(jì)了一個(gè)利用不同高度的V型槽來精確定位光纖端面的位置。再利用球透鏡的聚焦與光線準(zhǔn)直原理，并利用帶通濾波器件選擇下載與上載的光波長(zhǎng)，使得非選定的光波長(zhǎng)光信號(hào)反射耦合，而選定光波長(zhǎng)的上載與下載光信號(hào)透射耦合，來實(shí)現(xiàn)光分插復(fù)用功能。本發(fā)明還實(shí)現(xiàn)了精確微光學(xué)裝配平臺(tái)制作工藝的簡(jiǎn)單化，并利用MEMS的封裝技術(shù)，使得器件集成在很小的芯片，其產(chǎn)品體積小，并可大批量生產(chǎn)，具有裝配要求低等優(yōu)點(diǎn)，有望作為OADM器件中的一種，廣泛用于光傳送網(wǎng)絡(luò)中。
圖2本發(fā)明光路結(jié)構(gòu)圖。
圖3本發(fā)明制作的有V型槽的硅基片示意圖。
圖4球透鏡放置在V型槽中示意圖。
圖5本發(fā)明裝配側(cè)面示意圖。
圖6光纖出射的光經(jīng)過球透鏡后傳播示意圖。
圖7串接使用本發(fā)明實(shí)現(xiàn)多波長(zhǎng)光信號(hào)上載與下載示意圖。
圖1為已有技術(shù)，它是利用雙纖準(zhǔn)直器來實(shí)現(xiàn)光分插復(fù)用功能。圖中11是輸入光纖，14是雙光纖插針。光信號(hào)從11輸入后，經(jīng)過聚焦透鏡13，再經(jīng)過特定波長(zhǎng)的濾波片16，特定波長(zhǎng)λ1的光信號(hào)透過濾波片16，再經(jīng)聚焦透鏡15，經(jīng)雙光纖插針18，由下載光纖19輸出。上載特定波長(zhǎng)λ1光信號(hào)由上載光纖17輸入，經(jīng)雙光纖插針18，聚焦透鏡15，再經(jīng)濾波片16，與11輸入的非λ1波長(zhǎng)光信號(hào)一起經(jīng)過透鏡14，再經(jīng)雙光纖插針14，耦合入輸出光纖12。
圖2是本發(fā)明的光路結(jié)構(gòu)圖。101為輸入光信號(hào)光纖，輸入光信號(hào)經(jīng)球透鏡104聚焦準(zhǔn)直后，經(jīng)過帶通濾波器件107，特定波長(zhǎng)λ1光信號(hào)將通過帶通濾波器件107，再經(jīng)過球透鏡109聚焦，使光信號(hào)耦合進(jìn)入下載光信號(hào)光纖108。上載光信號(hào)光纖103中輸入特定波長(zhǎng)λ1光信號(hào)，光信號(hào)經(jīng)過球透鏡102，聚焦準(zhǔn)直后經(jīng)過帶通濾波器件107，與光纖101輸入的非特定波長(zhǎng)λ1的光信號(hào)經(jīng)過球透鏡106耦合進(jìn)入輸出光纖105。以此來完成光分插復(fù)用功能。
圖3是本發(fā)明實(shí)施例在硅片上刻好V型放置槽的示意圖。圖中207為硅基片。204是圖2中輸出光信號(hào)光纖105的放置槽，301為定位光纖105端面的定位V型槽，其還具有擴(kuò)大通過輸出光信號(hào)通道的作用。205為放置圖2中球透鏡106的定位槽。213是圖2中下載光信號(hào)光纖108的放置槽，302為定位光纖108端面的定位V型槽，其還具有擴(kuò)大通過下載光信號(hào)通道的作用。209為放置圖2中球透鏡109的定位槽。303是圖2中上載光信號(hào)光纖103的放置槽，304為定位光纖103端面的定位V型槽，其還具有擴(kuò)大通過上載光信號(hào)通道的作用。307為放置圖2中球透鏡102的定位槽。308是圖2中輸入光信號(hào)光纖101的放置槽，307為定位光纖101端面的定位V型槽，其還具有擴(kuò)大通過輸入光信號(hào)通道的作用。310為放置圖2中球透鏡104的定位槽。圖中309和306為兩個(gè)相互垂直的V型槽，其主要作用為擴(kuò)大光信號(hào)通過的自由空間，使光信號(hào)不因被硅片阻擋而引起損耗。214為圖2中帶通濾波器件107的放置槽。
圖4為本發(fā)明實(shí)施例的裝配剖面示意圖。利用MEMS技術(shù)加工好的硅片207，硅片上已經(jīng)定位好光纖，球透鏡，帶通濾波器件的位置，圖4中203為輸入光信號(hào)光纖101的纖芯，204為圖3中V型槽308，215為圖3中V型槽307，216為圖3中V型槽309，219為圖3中V型槽302，213為圖3中V型槽213，212為下載光信號(hào)光纖108的纖芯，202和211為放置在光纖上的彈性封裝材料，210為器件上部封裝金屬片，201為器件外部的金屬封裝盒，218和217為金屬片210與金屬盒201的焊點(diǎn)。
圖5為本發(fā)明球透鏡放入刻好的V型槽示意圖。圖中501為球透鏡，502為放置球透鏡的V型槽。
圖6為本發(fā)明光信號(hào)在光纖與球透鏡中傳播示意圖。圖中601為光纖，602為球透鏡，603為傳播的光信號(hào)。
圖7為串接使用本發(fā)明實(shí)現(xiàn)多波長(zhǎng)上載與下載光信號(hào)示意圖。其中401為整個(gè)OADM系統(tǒng)的輸入光信號(hào)端，它輸入包含有λ1，λ2......λn個(gè)光波長(zhǎng)信號(hào)。光信號(hào)經(jīng)過第一個(gè)OADM器件后在402上載λ1光信號(hào)，而在404下載λ1光信號(hào)，403為第一個(gè)OADM器件輸出端與第二個(gè)OADM器件輸入端405串接，光信號(hào)經(jīng)過第二個(gè)OADM器件后，由上載光信號(hào)端406上載λ2光信號(hào)，而由下載光信號(hào)端408下載λ2光信號(hào)，第二個(gè)OADM器件輸出光信號(hào)端407繼續(xù)向下串接OADM器件，到達(dá)第n個(gè)OADM器件后，由上載光信號(hào)端410上載λn光信號(hào)，而由下載光信號(hào)端412下載λn光信號(hào)，最后由第n個(gè)OADM器件輸出端411輸出λ1，λ2......λn光信號(hào)。
本發(fā)明的具體實(shí)施方式
如下1.利用MEMS中的腐蝕工藝制作出圖3所示的204，301，205，213，302，209，303，304，305，306，307，308，309，310，214各個(gè)V型放置槽。其中204，213，303，308均為槽寬半徑53um，槽深74um。301，302，304，307均為槽寬半徑49um，槽深70um，槽長(zhǎng)125um。205，209，305，310均為正方形邊長(zhǎng)槽寬為1186um。306與309均為槽寬半徑70um，槽深100um，槽長(zhǎng)1700um。
2.如(1)中所述制作好的硅基片再利用MEMS技術(shù)中的刻蝕工藝在306和309的中心處刻蝕出與306與309均成45度角的214放置槽，其槽深度為150um，槽寬200um。
3.利用微裝配技術(shù)把光纖，球透鏡，帶通濾波器件放入相應(yīng)的放置槽，并適當(dāng)做些輕微調(diào)整，然后用少量固定膠水固定光纖及帶通濾波器件的邊緣。
4.將整個(gè)硅基片放入金屬盒內(nèi)，在四根光纖上放如圖4中所示的彈性材料202，其尺寸為440×440×440um，在利用金屬片蓋板封裝整個(gè)器件，再在金屬片與金屬盒的邊緣用焊錫將其固定。
5.當(dāng)利用單光纖準(zhǔn)直器來代替球透鏡與光纖的組合系統(tǒng)的時(shí)候，其放置單光纖準(zhǔn)直器的放置V型槽需要做相應(yīng)的調(diào)整，其V型槽的槽寬可以是777um，槽深可以是800um，也可以把硅片完全腐蝕穿通。
權(quán)利要求
1.一種基于微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)制作的光分插復(fù)用器，包括透鏡、光纖、濾波片，其特征在于(1)四個(gè)V型放置槽在相應(yīng)位置放置輸入光信號(hào)光纖，輸出光信號(hào)光纖，上載光信號(hào)光纖，下載光信號(hào)光纖，四個(gè)球透鏡以及一個(gè)帶通濾波器件；(2)在光纖與球透鏡的放置槽之間設(shè)有一段比光纖放置槽位置高1～10um的V型槽，其槽寬，槽深不同于放置光纖的V型放置槽。
2.按權(quán)利要求1所述的一種基于微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)制作的光分插復(fù)用器，其特征在于輸入光信號(hào)光纖和下載光信號(hào)光纖與上載光信號(hào)光纖和輸出光信號(hào)光纖構(gòu)成的兩個(gè)光軸之間的夾角成30°～90°。
3.按權(quán)利要求1所述的一種基于微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)制作的光分插復(fù)用器，其特征在于所述的帶通濾波器或?yàn)椴ㄩL(zhǎng)動(dòng)態(tài)可調(diào)諧，或?yàn)楣潭úㄩL(zhǎng)，或帶阻濾波器件。
4.按權(quán)利要求3所述的一種基于微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)制作的光分插復(fù)用器，其特征在于所述的波長(zhǎng)動(dòng)態(tài)可調(diào)諧濾波器的波長(zhǎng)為980～1650um，長(zhǎng)度為0.5～10um，厚度為10～400um，寬度為0.5～10。
5.按權(quán)利要求1所述的一種基于微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)制作的光分插復(fù)用器，其特征在于四個(gè)V型槽、四個(gè)球透鏡及一個(gè)帶通濾波器的位置是利用微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)在硅片上精確定位，制作出微型光學(xué)裝配平臺(tái)，其中V型槽的寬度為490～2500um，深度為300～1750um。
6.按權(quán)利要求1所述的一種基于微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)制作的光分插復(fù)用器，其特征在于所述的四個(gè)球透鏡的半徑和折射率相同，半徑為200-1000μm，折射率1.4-2.0，且或可用平凸透鏡代替，或者用單前準(zhǔn)直器或用擴(kuò)束光纖代替，或用準(zhǔn)直透鏡光纖來代替球透鏡與光纖系統(tǒng)。
7.按權(quán)利要求1或6所述的一種基于微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)制作的光分插復(fù)用器，其特征在于光纖與球透鏡中間的空隙用折射率匹配液填充。
8.按權(quán)利要求書1所述的一種基于微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)的光分插復(fù)用器，其特征在于四根光纖端面或放置在球透鏡焦平面上，或離焦平面放置，其距離在0～20um。
9.按權(quán)利要求書1所述的一種基于微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)制作的光分插復(fù)用器，其特征在于(1)四根光纖的端面可以制作成有一定的傾角，其傾角范圍在0°-8°。(2)輸入光信號(hào)端球透鏡的焦距f1與下載端球透鏡的焦距f2，其兩者的比值f2/f1是1～6，并且上載光信號(hào)端球透鏡的焦距f3與輸出光信號(hào)端球透鏡的焦距f4，其兩者的比值f4/f3是1～6。
10.按權(quán)利要求書1所述的一種基于微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)制作的光分插復(fù)用器，其特征在于多級(jí)串聯(lián)以實(shí)現(xiàn)多波長(zhǎng)光信號(hào)的上載與下載。
全文摘要
一種基于微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)制作的光分插復(fù)用器，其特征在于以MEMS技術(shù)為基礎(chǔ)，采用其精確的定位技術(shù)，在硅片上精確定位四個(gè)球透鏡、四個(gè)光纖及一個(gè)帶通濾波器件的位置，然后再在相應(yīng)的位置放置四根光纖、四個(gè)球透鏡及一個(gè)帶通濾波器件，且在光纖與球透鏡的放置槽之間設(shè)有一段比光纖放置槽位置高1－10μ的槽，以此構(gòu)成一個(gè)基本的四端口光分插復(fù)用器。本發(fā)明其中兩端口作為指定波長(zhǎng)的上載端與下載端，其它兩端口一個(gè)作為輸入端，一個(gè)作為輸出端。本發(fā)明主要用于密集波分復(fù)用系統(tǒng)中的上下載不同波長(zhǎng)信號(hào)。串接使用本光分插復(fù)用器件還可以實(shí)現(xiàn)多波長(zhǎng)光信號(hào)的上載與下載。
文檔編號(hào)H04J14/02GK1396738SQ0213636
公開日2003年2月12日 申請(qǐng)日期2002年8月2日 優(yōu)先權(quán)日2002年8月2日
發(fā)明者吳亞明, 李四華 申請(qǐng)人:中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所