專(zhuān)利名稱(chēng)：固態(tài)攝像裝置、半導(dǎo)體晶片及照相機(jī)組件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在例如便攜式電話(huà)等中進(jìn)行攝像時(shí)使用的CCD或C-MOS成像器等固態(tài)攝像裝置、在固態(tài)攝像裝置的制造中使用的半導(dǎo)體晶片、以及使用了固態(tài)攝像裝置的照相機(jī)組件。
背景技術(shù)：
在便攜式電話(huà)上附帶的小型照相機(jī)等中利用的固態(tài)攝像裝置具備具有受光部的固態(tài)攝像元件，在這樣的固態(tài)攝像元件中，以保護(hù)受光部為目的，一般的結(jié)構(gòu)是通過(guò)粘結(jié)劑將由玻璃等構(gòu)成的透光性蓋部粘結(jié)到半導(dǎo)體基板(例如參照特開(kāi)平7-202152號(hào)公報(bào)、特開(kāi)2001-351997號(hào)公報(bào)、特開(kāi)2003-197656號(hào)公報(bào))。該透光性蓋部保護(hù)受光部的表面避免雜質(zhì)、劃痕等。
在這樣的固態(tài)攝像裝置中，除了保護(hù)受光部之外，在需要遮擋來(lái)自外部的紅外線(xiàn)的情況下，兼顧防止裝置的大型化，最好是使該透光性蓋部同時(shí)具有紅外線(xiàn)遮擋功能的結(jié)構(gòu)。作為使透光性蓋部具備紅外線(xiàn)遮擋功能的方法，眾所周知的有調(diào)整形成透光性蓋部的玻璃材料的組成從而吸收紅外線(xiàn)的方法(例如參照專(zhuān)利第2731422號(hào)公報(bào))、在玻璃板的表面上形成層疊了多層折射率不同的電介質(zhì)膜的電介質(zhì)多層膜的方法(例如參照特開(kāi)平2-213803號(hào)公報(bào))等。
比較這兩個(gè)方法時(shí)，后者的方法中根據(jù)有無(wú)在玻璃板上形成電介質(zhì)多層膜，能夠調(diào)整有無(wú)紅外線(xiàn)遮擋功能，由于在玻璃板的利用上沒(méi)有浪費(fèi)，所以后者的方法更加合理。
在后者的方法中，在玻璃板的一面上形成電介質(zhì)多層膜時(shí)，使用真空蒸鍍法、飛濺法等物理蒸鍍法。因此，在形成電介質(zhì)多層膜時(shí)，有時(shí)會(huì)混入雜質(zhì)。此外，成膜后的表面與玻璃表面相比由于欠缺平滑性，故變得容易附著雜質(zhì)。因此，對(duì)于形成了紅外線(xiàn)遮擋用的電介質(zhì)多層膜的透光性基板(玻璃板)，要充分考慮到在該電介質(zhì)多層膜內(nèi)混入雜質(zhì)或在膜上附著雜質(zhì)的情況。
在固態(tài)攝像裝置中使用帶有這種雜質(zhì)混入可能性很高的電介質(zhì)多層膜的透光性基板的情況下，由于在固態(tài)攝像元件的受光部附近存在雜質(zhì)時(shí)就成為不良的原因，所以需要考慮雜質(zhì)進(jìn)入的可能性并實(shí)施避免受到雜質(zhì)影響的設(shè)計(jì)。
另外，由上述那樣的雜質(zhì)混入或雜質(zhì)附著導(dǎo)致的不良產(chǎn)生的問(wèn)題，并不只限于紅外線(xiàn)遮擋用的電介質(zhì)多層膜的情況，同樣地對(duì)于通過(guò)物理蒸鍍法在透光性基板上形成的光反射防止膜、透明導(dǎo)電膜、保護(hù)膜也同樣產(chǎn)生。進(jìn)而，對(duì)于在這些示例以外的膜也同樣會(huì)產(chǎn)生由雜質(zhì)混入或雜質(zhì)附著導(dǎo)致的不良產(chǎn)生的問(wèn)題，成膜方法也不限于物理蒸鍍法，通過(guò)其他化學(xué)的成膜方法等也同樣會(huì)產(chǎn)生由雜質(zhì)混入或雜質(zhì)附著導(dǎo)致的不良產(chǎn)生的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述情況而作出的，其目的是提供一種固態(tài)攝像裝置、半導(dǎo)體晶片以及照相機(jī)組件，通過(guò)使透光性蓋部或者透光性板材形成膜的一側(cè)位于受光部的相反側(cè)，來(lái)降低由于雜質(zhì)混入或雜質(zhì)附著導(dǎo)致的不良產(chǎn)生。
本發(fā)明的固態(tài)攝像裝置具備具有受光部的固態(tài)攝像元件和在上述受光部的光入射側(cè)設(shè)置的、在一面上形成膜的透光性蓋部，配置上述透光性蓋部使上述透光性蓋部的上述一面位于與上述受光部相對(duì)側(cè)的相反側(cè)。在適用于固態(tài)攝像裝置的光學(xué)系統(tǒng)中，位于透光性蓋部的雜質(zhì)的影像會(huì)投影到固態(tài)攝像元件的受光面。但是，即使是同樣大小的雜質(zhì)，隨著雜質(zhì)的位置遠(yuǎn)離固態(tài)攝像元件，在固態(tài)攝像元件的受光面上的雜質(zhì)影像的影響會(huì)減小。對(duì)于本發(fā)明，由于配置了透光性蓋部使具有膜的透光性蓋部的面成為與受光部相對(duì)側(cè)的相反側(cè)，所以與將該面設(shè)置在與受光部相對(duì)側(cè)的情況相比，受光部與膜之間的距離變遠(yuǎn)，即使雜質(zhì)混入膜或者膜上附著雜質(zhì)，也不會(huì)受雜質(zhì)的影響，難于產(chǎn)生不良。
本發(fā)明的固態(tài)攝像裝置中，上述膜是從紅外線(xiàn)遮擋膜、光反射防止膜、透明導(dǎo)電膜、保護(hù)膜構(gòu)成的組中選出來(lái)的膜。本發(fā)明可以降低由于在透光性蓋部上具有紅外線(xiàn)遮擋膜、光反射防止膜、透明導(dǎo)電膜、保護(hù)膜的固態(tài)攝像裝置中的雜質(zhì)混入或雜質(zhì)附著而導(dǎo)致不良產(chǎn)生的問(wèn)題。
本發(fā)明的半導(dǎo)體晶片具備多個(gè)受光部和在該受光部的光入射側(cè)設(shè)置的、在一面上形成膜的透光性板材，配置上述透光性板材使上述透光性板材的上述一面成為與上述受光部相對(duì)側(cè)的相反側(cè)。本發(fā)明由于在固態(tài)攝像裝置用的半導(dǎo)體晶片上配置有透光性板材使具有膜的透光性板材的面成為與受光部相對(duì)側(cè)的相反側(cè)，因而受光部和膜之間的距離變遠(yuǎn)，即使雜質(zhì)混入膜或者在膜上附著雜質(zhì)，也不會(huì)受到雜質(zhì)的影響，難于產(chǎn)生不良。
本發(fā)明的半導(dǎo)體晶片具備多個(gè)受光部和在該多個(gè)受光部各自的光入射側(cè)各設(shè)置一個(gè)的、在一面上形成膜的多個(gè)透光性蓋部，配置上述透光性蓋部使上述透光性蓋部的上述一面成為與上述受光部相對(duì)側(cè)的相反側(cè)。本發(fā)明由于在固態(tài)攝像裝置用的半導(dǎo)體晶片上配置了透光性蓋部使具有膜的透光性蓋部的面成為與受光部相對(duì)側(cè)的相反側(cè)，因而受光部和膜之間的距離變遠(yuǎn)，即使雜質(zhì)混入膜或者膜上附著雜質(zhì)，也不會(huì)受到雜質(zhì)的影響，難于產(chǎn)生不良。
本發(fā)明的半導(dǎo)體晶片中，上述膜是從紅外線(xiàn)遮擋膜、光反射防止膜、透明導(dǎo)電膜、保護(hù)膜構(gòu)成的組中選出來(lái)的膜。本發(fā)明可以降低由于在透光性板材或透光性蓋部上具有紅外線(xiàn)遮擋膜、光反射防止膜、透明導(dǎo)電膜、保護(hù)膜的半導(dǎo)體晶片中的雜質(zhì)混入或雜質(zhì)附著而導(dǎo)致的不良產(chǎn)生的問(wèn)題。
本發(fā)明的照相機(jī)組件具備透鏡和使上述膜與上述透鏡相對(duì)配置的本發(fā)明的固態(tài)攝像裝置。本發(fā)明中，內(nèi)置本發(fā)明的固態(tài)攝像裝置，可以降低由于對(duì)膜的雜質(zhì)混入或雜質(zhì)附著而導(dǎo)致的不良產(chǎn)生的問(wèn)題。具體地說(shuō)，只要是下述結(jié)構(gòu)即可，即，例如具備透鏡、保持該透鏡的透鏡保持件、以及使上述膜與上述透鏡相對(duì)并配置在上述透鏡保持件的內(nèi)側(cè)的固態(tài)攝像裝置。作為其他的示例，也可以是下述結(jié)構(gòu)具備透鏡、保持該透鏡的透鏡保持件、以及安裝該透鏡保持件并且包圍本發(fā)明的固態(tài)攝像裝置的蓋部件，使上述膜與上述透鏡相對(duì)，在上述蓋部件上安裝上述透鏡保護(hù)件。
在本發(fā)明的固態(tài)攝像裝置中，由于形成膜的透光性蓋部的面成為了受光部的相反側(cè)，所以變得不容易受到混入膜的雜質(zhì)或者在膜上附著的雜質(zhì)的影響，顯著降低了由于雜質(zhì)而導(dǎo)致的不良產(chǎn)生。
在本發(fā)明的半導(dǎo)體晶片中，由于形成膜的透光性板材或者透光性蓋部的面成為了受光部的相反側(cè)，所以變得不容易受到混入膜的雜質(zhì)或者在膜上附著的雜質(zhì)的影響，可以顯著降低由于雜質(zhì)而導(dǎo)致的不良產(chǎn)生。
在本發(fā)明的照相機(jī)組件中，由于內(nèi)置了本發(fā)明的固態(tài)攝像裝置，所以變得不容易受到雜質(zhì)的影響，可以顯著降低由于雜質(zhì)而導(dǎo)致的不良產(chǎn)生。
在本發(fā)明的固態(tài)攝像裝置以及半導(dǎo)體晶片中，作為膜設(shè)置了紅外線(xiàn)遮擋膜、光反射防止膜、透明導(dǎo)電膜、保護(hù)膜時(shí)，就變得不容易受到混入膜的雜質(zhì)或者在膜上附著的雜質(zhì)的影響，可以顯著降低由于雜質(zhì)而導(dǎo)致的不良產(chǎn)生。
本發(fā)明的上述及進(jìn)一步的目的、特征通過(guò)結(jié)合附圖的如下詳細(xì)說(shuō)明就將更充分的清楚了。


圖1是表示本發(fā)明的固態(tài)攝像裝置的結(jié)構(gòu)的剖面圖；圖2A是表示本發(fā)明的半導(dǎo)體晶片的一個(gè)例子的結(jié)構(gòu)的俯視圖；圖2B是表示本發(fā)明的半導(dǎo)體晶片的一個(gè)例子的結(jié)構(gòu)的剖面圖；圖3A是表示本發(fā)明的半導(dǎo)體晶片的其他例子的結(jié)構(gòu)的俯視圖；圖3B是表示本發(fā)明的半導(dǎo)體晶片的其他例子的結(jié)構(gòu)的剖面圖；圖4是表示本發(fā)明的照相機(jī)組件的結(jié)構(gòu)的剖面圖。
具體實(shí)施例方式
以下，參照表示其實(shí)施方式的附圖來(lái)對(duì)本發(fā)明進(jìn)行具體說(shuō)明。另外，本發(fā)明并不限于以下的實(shí)施方式。
<實(shí)施方式1>
圖1是表示本發(fā)明的固態(tài)攝像裝置的構(gòu)成的剖面圖。固態(tài)攝像裝置1具備在半導(dǎo)體基板上以俯視視角呈矩形形狀形成的固態(tài)攝像元件2；在固態(tài)攝像元件2的一面上形成的受光部3；與受光部3相對(duì)配置的透光性蓋部4；以及在固態(tài)攝像元件2的一面上形成在除去受光部3的區(qū)域的、粘結(jié)透光性蓋部4和固態(tài)攝像元件2的粘結(jié)部5。固態(tài)攝像裝置1通過(guò)透光性蓋部4取入來(lái)自外部的光，通過(guò)在固態(tài)攝像元件2的受光部3上配置的受光元件(有效像素)接收光。另外，盡管圖中未顯示，但是在受光部3的表面上配置了微型透鏡，成為在各個(gè)像素的受光元件上會(huì)聚入射光的結(jié)構(gòu)。
透光性蓋部4由玻璃基板4a和在玻璃基板4a的一面上形成的紅外線(xiàn)遮擋膜4b構(gòu)成，配置透光性蓋部4使形成紅外線(xiàn)遮擋膜4b的透光性蓋部4(玻璃基板4a)的一面成為與固態(tài)攝像元件2的受光部3相對(duì)側(cè)的相反側(cè)。即，配置透光性蓋部4使透光性蓋部4(玻璃基板4a)的形成紅外線(xiàn)遮擋膜4b的一面成為與固態(tài)攝像元件2的受光部3相對(duì)側(cè)的相反側(cè)。紅外線(xiàn)遮擋膜4b是由例如氧化鈦、氧化鋯、硫化鋅等構(gòu)成的高折射率層、以及氟化鎂、氟化鈣、二氧化硅等構(gòu)成的低折射率層交替多層層疊的電介質(zhì)多層膜構(gòu)成的，利用光的干涉有選擇地遮擋紅外線(xiàn)。透光性蓋部4具有覆蓋受光部3從而從外部保護(hù)受光部3的保護(hù)功能、以及通過(guò)紅外線(xiàn)遮擋膜4b防止包含在外部光中的紅外光入射到受光部3的紅外線(xiàn)遮擋功能。
通過(guò)粘結(jié)部5粘結(jié)在相對(duì)配置的受光部3與透光性蓋部4之間形成的空間的外周部。這樣，通過(guò)形成該空間，就可以抑制向受光部3表面進(jìn)入雜質(zhì)、濕氣，并抑制在受光部3的表面生成劃傷等，防止在受光部3上產(chǎn)生不良。
在實(shí)施方式1中，由于配置透光性蓋部4使紅外線(xiàn)遮擋膜4b位于受光部3的相反側(cè)，所以即使紅外線(xiàn)遮擋膜4b中混入了雜質(zhì)或者紅外線(xiàn)遮擋膜4b上附著了雜質(zhì)，與將紅外線(xiàn)遮擋膜4b設(shè)置在與受光部3相對(duì)側(cè)相比，由于從受光部3到雜質(zhì)(紅外線(xiàn)遮擋膜4b)的距離較遠(yuǎn)，因而不容易受到雜質(zhì)的影響，可以降低由于雜質(zhì)導(dǎo)致的不良產(chǎn)生。
下面，利用實(shí)施方式2、3來(lái)對(duì)用于制作例如上述那樣的固態(tài)攝像裝置1的本發(fā)明的半導(dǎo)體晶片進(jìn)行說(shuō)明。
<實(shí)施方式2>
圖2A和2B表示了本發(fā)明的半導(dǎo)體晶片的一個(gè)例子的結(jié)構(gòu)，圖2A是其俯視圖，圖2B是其剖面圖。半導(dǎo)體晶片10在一面上圖形形成多個(gè)受光部3的半導(dǎo)體基板11上具有通過(guò)粘結(jié)部5粘結(jié)透光性板材14的結(jié)構(gòu)。另外，盡管圖中未顯示，但是在受光部3的表面上配置了微型透鏡，成為在各個(gè)像素的受光元件上會(huì)聚入射光的結(jié)構(gòu)。
透光性板材14由玻璃基板14a和在玻璃基板14a的一面上形成的紅外線(xiàn)遮擋膜14b構(gòu)成，配置透光性板材14使形成紅外線(xiàn)遮擋膜14b的透光性板材14(玻璃基板14a)的一面成為與半導(dǎo)體基板11的受光部3相對(duì)側(cè)的相反側(cè)。即，配置透光性板材14使透光性板材14(玻璃基板14a)的形成紅外線(xiàn)遮擋膜14b的面成為與半導(dǎo)體基板11的受光部3相對(duì)側(cè)的相反側(cè)。另外，該紅外線(xiàn)遮擋膜14b具有與上述紅外線(xiàn)遮擋膜4b相同的結(jié)構(gòu)以及功能。
在半導(dǎo)體基板11的一面上，在除去受光部3的區(qū)域上圖形形成多個(gè)粘結(jié)部5，通過(guò)該粘結(jié)部5在半導(dǎo)體基板11上粘結(jié)透光性板材14，以便在受光部3和透光性板材14之間形成空間。
這樣的半導(dǎo)體晶片10通過(guò)以下方法制作得到。首先，在玻璃基板1 4a的表面上通過(guò)真空蒸鍍法、飛濺法等物理蒸鍍法形成由高折射率層和低折射率層交替層疊的電介質(zhì)多層膜構(gòu)成的紅外線(xiàn)遮擋膜14b，得到透光性板材14。在形成多個(gè)受光部3的半導(dǎo)體基板11的表面上，均勻涂抹混合了感光性粘結(jié)劑(例如作為丙烯類(lèi)樹(shù)脂的紫外線(xiàn)(UV)固化樹(shù)脂)以及熱固化性樹(shù)脂(例如環(huán)氧類(lèi)樹(shù)脂)的粘結(jié)劑后，使用公知的光刻技術(shù)，對(duì)粘結(jié)劑進(jìn)行構(gòu)圖，對(duì)各個(gè)固態(tài)攝像元件分別形成粘結(jié)部5。并且，在圖形形成的粘結(jié)部5上適當(dāng)放置透光性板材14，并通過(guò)熱固化粘結(jié)到粘結(jié)部5(半導(dǎo)體基板11)上。
此外，使用這樣的半導(dǎo)體晶片10，通過(guò)以下方法制造固態(tài)攝像裝置。將在半導(dǎo)體基板11上粘結(jié)的透光性板材14在分割線(xiàn)14c上進(jìn)行切割，制作多個(gè)透光性蓋部。接著，將粘結(jié)了多個(gè)透光性蓋部的半導(dǎo)體基板11在分割線(xiàn)11a上進(jìn)行切割，制造如圖1所示的固態(tài)攝像裝置。
在實(shí)施方式2中，由于配置了透光性板材14使紅外線(xiàn)遮擋膜14b位于與受光部3相反側(cè)，所以即使在紅外線(xiàn)遮擋膜14b中混入雜質(zhì)或者在紅外線(xiàn)遮擋膜14b上附著雜質(zhì)，與將紅外線(xiàn)遮擋膜14b設(shè)置在與受光部3相對(duì)一側(cè)時(shí)相比，由于從受光部3到雜質(zhì)(紅外線(xiàn)遮擋膜14b)的距離較遠(yuǎn)，因而不容易受到雜質(zhì)的影響，可以降低由于雜質(zhì)而導(dǎo)致的不良產(chǎn)生。
<實(shí)施方式3>
圖3A以及3B表示了本發(fā)明的半導(dǎo)體晶片的其他例子的結(jié)構(gòu)，圖3A是其俯視圖，圖3B是其剖面圖。半導(dǎo)體晶片20具有下述結(jié)構(gòu)，即，在一面上圖形形成多個(gè)受光部3的半導(dǎo)體基板11上，通過(guò)粘結(jié)部5使多個(gè)單片化的透光性蓋部4粘結(jié)。另外，盡管圖中未顯示，但是在受光部3的表面上配置了微型透鏡，成為在各個(gè)像素的受光元件上會(huì)聚入射光的結(jié)構(gòu)。
各透光性蓋部4與第1實(shí)施方式的透光性蓋部4相同，配置各透光性蓋部4使形成紅外線(xiàn)遮擋膜4b的各透光性蓋部4(各玻璃基板4a)的一面成為與半導(dǎo)體基板11的受光部3相對(duì)側(cè)的相反側(cè)。即，配置各透光性蓋部4使各透光性蓋部4(各玻璃基板4a)的形成紅外線(xiàn)遮擋膜4b的一面成為與半導(dǎo)體基板11的受光部3相對(duì)側(cè)的相反側(cè)。在半導(dǎo)體基板11的一面上，在除去受光部3的區(qū)域上圖形形成多個(gè)粘結(jié)部5，通過(guò)該粘結(jié)部5，在半導(dǎo)體基板11上粘結(jié)多個(gè)透光性蓋部4，以便使相對(duì)的各受光部3和各透光性蓋部4之間形成空間。
這樣的半導(dǎo)體晶片20通過(guò)以下方法制作。首先，在玻璃基板的表面上通過(guò)真空蒸鍍法、飛濺法等物理蒸鍍法形成由高折射率層和低折射率層交替層疊的電介質(zhì)多層膜構(gòu)成的紅外線(xiàn)遮擋膜，在規(guī)定的分割線(xiàn)上對(duì)其進(jìn)行切割并分割(單片化)，得到多個(gè)透光性蓋部4。另一方面，在形成多個(gè)受光部3的半導(dǎo)體基板11的表面上均勻涂抹混合了感光性粘結(jié)劑(例如作為丙烯類(lèi)樹(shù)脂的紫外線(xiàn)(UV)固化樹(shù)脂)以及熱固化性樹(shù)脂(例如環(huán)氧類(lèi)樹(shù)脂)的粘結(jié)劑后，使用公知的光刻技術(shù)對(duì)粘結(jié)劑進(jìn)行構(gòu)圖，在各個(gè)固態(tài)攝像元件上分別形成粘結(jié)部5。并且，使各透光性蓋部4定位，放置到圖形形成的粘結(jié)部5上，再通過(guò)熱固化粘結(jié)到粘結(jié)部5(半導(dǎo)體基板11)上。
使用這樣的半導(dǎo)體晶片20，將粘結(jié)了多個(gè)透光性蓋部4的半導(dǎo)體基板11在分割線(xiàn)11a上進(jìn)行切割，制造如圖1所示的固態(tài)攝像裝置。
實(shí)施方式3中，由于配置了各透光性蓋部4使各紅外線(xiàn)遮擋膜4b位于與各受光部3相反側(cè)，所以即使在紅外線(xiàn)遮擋膜4b中混入雜質(zhì)或者在紅外線(xiàn)遮擋膜4b上附著雜質(zhì)，與將紅外線(xiàn)遮擋膜4b設(shè)置在與受光部3相對(duì)側(cè)時(shí)相比，由于從受光部3到雜質(zhì)(紅外線(xiàn)遮擋膜4b)的距離較遠(yuǎn)，因而不容易受到雜質(zhì)的影響，可以降低由于雜質(zhì)導(dǎo)致的不良產(chǎn)生。
另外，在上述第2、第3實(shí)施方式中，雖然對(duì)在半導(dǎo)體基板上圖形形成粘結(jié)部的例子進(jìn)行了說(shuō)明，但是也可以預(yù)先在透光性板材或者透光性蓋部上圖形形成粘結(jié)部，并將其粘結(jié)在半導(dǎo)體基板上。
<實(shí)施方式4>
圖4是表示本發(fā)明的照相機(jī)組件的結(jié)構(gòu)的剖面圖。照相機(jī)組件30中，在印刷基板、陶瓷基板等布線(xiàn)基板31上裝有用于取入來(lái)自外部的光的透鏡32以及保持透鏡32的透鏡保持件33。此外，在布線(xiàn)基板31上放置了數(shù)字信號(hào)處理器(DSP)34。DSP34作為圖像處理裝置發(fā)揮功能，具體是控制固態(tài)攝像裝置1(固態(tài)攝像元件2)的工作，將從固態(tài)攝像裝置1(固態(tài)攝像元件2)輸出的信號(hào)進(jìn)行適當(dāng)處理，生成光學(xué)裝置所需的信號(hào)。另外，圖4中顯示的是在布線(xiàn)基板31上將DSP 34以及固態(tài)攝像裝置1重疊的構(gòu)造，但也可以在布線(xiàn)基板31的同一面上并列配置DSP 34以及固態(tài)攝像裝置1，也可以在布線(xiàn)基板31的透鏡32配置側(cè)配置固態(tài)攝像裝置1并在其背面?zhèn)扰渲肈SP 34。此外，圖4中顯示的是保持透鏡32的部分和包圍固態(tài)攝像裝置1的部分是由同一部件的透鏡保持件33構(gòu)成的，但也可以是保持透鏡32的部分(透鏡保持件)和包圍固態(tài)攝像裝置1的部分(蓋部件)是由不同部件構(gòu)成的。
DSP34的各連接端子和布線(xiàn)基板31上形成的布線(xiàn)(未圖示)通過(guò)接合線(xiàn)35電連接。在DSP34上經(jīng)由墊片36放置本發(fā)明的固態(tài)攝像裝置1(固態(tài)攝像元件2)。固態(tài)攝像元件2的各連接端子和在布線(xiàn)基板31上形成的布線(xiàn)(未圖示)通過(guò)接合線(xiàn)37電連接。另外，實(shí)施方式4的固態(tài)攝像裝置1的結(jié)構(gòu)與實(shí)施方式1的固態(tài)攝像裝置1的結(jié)構(gòu)(圖1)相同，相同的部分附加了相同的符號(hào)。
另外，在上述例子中，對(duì)在透光性蓋部或者透光性板材上設(shè)置紅外線(xiàn)遮擋膜的情況進(jìn)行了說(shuō)明，但是設(shè)置的膜并不限于該紅外線(xiàn)遮擋膜，即便是光反射防止膜、透明導(dǎo)電膜、保護(hù)膜等其他種類(lèi)的膜，在配置透光性蓋部或者透光性板材使形成了上述膜的面成為與受光部相對(duì)側(cè)的相反側(cè)的情況下，即使在膜中混入雜質(zhì)或者在膜上附著雜質(zhì)，也都可以起到抑制該雜質(zhì)的影響并降低不良產(chǎn)生的同樣效果。
權(quán)利要求
1.一種固態(tài)攝像裝置，其特征在于具備具有受光部的固態(tài)攝像元件和在上述受光部的光入射側(cè)設(shè)置的、在一面上形成有膜的透光性蓋部，配置上述透光性蓋部使上述透光性蓋部的上述一面位于與上述受光部相對(duì)側(cè)的相反側(cè)。
2.如權(quán)利要求1中所述的固態(tài)攝像裝置，其特征在于上述膜是從由紅外線(xiàn)遮擋膜、光反射防止膜、透明導(dǎo)電膜、保護(hù)膜構(gòu)成的組當(dāng)中選出來(lái)的膜。
3.一種半導(dǎo)體晶片，其特征在于具備多個(gè)受光部和在該受光部的光入射側(cè)設(shè)置的、在一面上形成有膜的透光性板材，配置上述透光性板材使上述透光性板材的上述一面成為與上述受光部相對(duì)側(cè)的相反側(cè)。
4.一種半導(dǎo)體晶片，其特征在于具備多個(gè)受光部和在該多個(gè)受光部各自的光入射側(cè)分別設(shè)置一個(gè)的、在一面上形成有膜的多個(gè)透光性蓋部，配置上述透光性蓋部使上述透光性蓋部的上述一面成為與上述受光部相對(duì)側(cè)的相反側(cè)。
5.如權(quán)利要求3或者4中所述的半導(dǎo)體晶片，其特征在于上述膜是從由紅外線(xiàn)遮擋膜、光反射防止膜、透明導(dǎo)電膜、保護(hù)膜構(gòu)成的組當(dāng)中選出來(lái)的膜。
6.一種照相機(jī)組件，其特征在于具備透鏡和使上述膜與上述透鏡相對(duì)配置的權(quán)利要求1或者2中所述的固態(tài)攝像裝置。
全文摘要
與固態(tài)攝像元件的受光部相對(duì)設(shè)置的透光性蓋部由玻璃基板和在玻璃基板的一面上形成的紅外線(xiàn)遮擋膜構(gòu)成。配置透光性蓋部，使形成紅外線(xiàn)遮擋膜的透光性蓋部(玻璃基板)的一面成為與固態(tài)攝像元件的受光部相對(duì)側(cè)的相反側(cè)。即使在紅外線(xiàn)遮擋膜中混入雜質(zhì)或者在膜上附著雜質(zhì)，由于從受光部到雜質(zhì)(紅外線(xiàn)遮擋膜)的距離較遠(yuǎn)，因而不容易受到雜質(zhì)的影響，可以降低由雜質(zhì)導(dǎo)致的不良產(chǎn)生。
文檔編號(hào)H04N5/335GK1705133SQ20051007548
公開(kāi)日2005年12月7日 申請(qǐng)日期2005年6月1日 優(yōu)先權(quán)日2004年6月1日
發(fā)明者內(nèi)田健治 申請(qǐng)人:夏普株式會(huì)社