專利名稱：放射線圖像拍攝裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及放射線圖像拍攝裝置。具體來說，本發(fā)明涉及包括放射線檢測用傳感器并且對放射線的照射開始、放射線的照射結(jié)束以及放射線照的射量中的至少一個執(zhí)行檢測的放射線圖像拍攝裝置。
背景技術(shù)：
近年來，使用諸如FPD (平板檢測器)等的放射線檢測部件的放射線圖像拍攝裝置已經(jīng)投入實際使用，平板檢測器包括置于TFT (薄膜晶體管)有源矩陣基板上的放射線敏感層并且可以將諸如X射線等的放射線直接轉(zhuǎn)換成數(shù)字數(shù)據(jù)。與常規(guī)的圖像拍攝板相比，F(xiàn)PD 具有的優(yōu)點在于，圖像可以得到立即確認，并且視頻圖像也可以得到確認，并且FPD正在快速得到普及。已經(jīng)提出了各種類型的放射線檢測部件。例如，存在直接轉(zhuǎn)換型放射線圖像拍攝部件，其在半導(dǎo)體層將放射線直接轉(zhuǎn)換成電荷并積蓄這些電荷。而且，還存在間接轉(zhuǎn)換型放射線圖像拍攝部件，其一旦在由CsI :Tl、G0S(Gd202S :Tb)等構(gòu)成的閃爍體處將放射線轉(zhuǎn)換成光，就接著在半導(dǎo)體層將轉(zhuǎn)換的光轉(zhuǎn)換成電荷并積蓄這些電荷。在放射線檢測部件處，即使在不照射放射線的情況下，也因暗電流等而生成電荷， 并且在各像素中積蓄電荷。因此，在待機期間，利用放射線檢測部件的放射線圖像拍攝裝置反復(fù)執(zhí)行提取并消除在放射線檢測部件的各像素中積蓄的電荷的復(fù)位操作。在圖像拍攝時，放射線圖像拍攝裝置停止復(fù)位操作，并且在放射線照射時段期間積蓄電荷。在照射時段結(jié)束之后，放射線圖像拍攝裝置執(zhí)行讀出在放射線檢測部件的各像素中積蓄的電荷的步馬聚ο作為使放射線照射的定時和放射線檢測部件開始積蓄電荷的定時同步的技術(shù)，日本專利申請?zhí)亻_(JP-A)No. 2002-181942公開了一種在放射線檢測部件的圖像拍攝區(qū)外側(cè)單獨地放置放射線檢測用傳感器并且在該放射線檢測用傳感器處檢測到放射線時使放射線檢測部件開始積蓄電荷的技術(shù)。存在著由于在鋪設(shè)的各條線處的各種外部干擾(如沖擊、溫度等)中的任一種而在放射線檢測部件處出現(xiàn)噪聲的情況。存在著在連接至諸如JP-A No. 2002-181942中的放射線檢測用傳感器的線中出現(xiàn)噪聲的情況。因此，例如，如果將流過連接有放射線檢測用傳感器的線的電信號轉(zhuǎn)換成數(shù)字數(shù)據(jù)，并且對所轉(zhuǎn)換的數(shù)字數(shù)據(jù)的值與預(yù)定的放射線感測用閾值進行比較，根據(jù)該數(shù)字數(shù)據(jù)的值是否大于或等于該閾值，檢測是否照射了放射線，為了防止由于疊加在線上的噪聲而造成錯誤地感測到放射線的照射開始，必須將放射線感測用閾值設(shè)置得大。然而，如果將放射線感測用閾值設(shè)置得大，則檢測到放射線的照射開始的定時可能變遲。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供了一種放射線圖像拍攝裝置，即使因外部干擾等而導(dǎo)致出現(xiàn)噪聲，該放射線圖像拍攝裝置也可以抑制噪聲的影響并且準確地檢測放射線。本發(fā)明的第一方面是提供了一種放射線圖像拍攝裝置，該放射線圖像拍攝裝置包括絕緣基板，在該絕緣基板處設(shè)置有放射線檢測用傳感器部，它們由于接收到放射線或從放射線轉(zhuǎn)換成的光而生成電荷；第一布線，它們連接至所述放射線檢測用傳感器部，并且與在所述放射線檢測用傳感器部處生成的電荷相對應(yīng)的電信號流過所述第一布線；以及第二線，它們具有與所述第一布線大致相同的布線圖案；以及檢測部，其基于流過所述第一布線的電信號與流過所述第二線的電信號之間的差異，或者基于通過分別數(shù)字轉(zhuǎn)換流過所述第一布線的電信號和流過所述第二線的電信號而得到的數(shù)字數(shù)據(jù)的值之間的差異，來檢測放射線。本發(fā)明的放射線圖像拍攝裝置具有所述絕緣基板，在該絕緣基板處設(shè)置有所述放射線檢測用傳感器部，它們接收放射線或從放射線轉(zhuǎn)換成的光并生成電荷；所述第一布線，它們連接至所述放射線檢測用傳感器部，并且與在所述放射線檢測用傳感器部處生成的電荷相對應(yīng)的電信號流過所述第一布線；以及所述第二線，它們具有和所述第一布線大致相同的布線圖案。而且，所述檢測部基于流過所述第一布線的電信號與流過所述第二線的電信號之間的差異，或者基于通過分別數(shù)字轉(zhuǎn)換流過所述第一布線的電信號和流過所述第二線的電信號而得到的數(shù)字數(shù)據(jù)的值之間的差異，來檢測放射線。注意，以這種方式，可以通過檢測放射線來檢測放射線的照射開始、放射線的照射結(jié)束以及放射線的照射量中的至少一個。這樣，根據(jù)本發(fā)明，由于上述第一方面，即使在由于外部干擾等而導(dǎo)致出現(xiàn)噪聲時，也可以抑制噪聲的影響并且準確地檢測放射線。在本發(fā)明的第二方面中，在上述第一方面中的所述絕緣基板處，還可以設(shè)置有多條掃描線，它們平行地設(shè)置；多條信號線，它們平行地設(shè)置并且與所述多條掃描線交叉；以及多個像素，它們設(shè)置在所述多條掃描線與所述多條信號線的交叉部，并且所述多個像素具有傳感器部，這些傳感器部由于放射線的照射或從所照射的放射線轉(zhuǎn)換成的光的照射而生成電荷，并且其中，所述多個像素中的一些像素的所述傳感器部可以充當所述放射線檢測用傳感器部。在本發(fā)明的第三方面中，根據(jù)上述第二方面，在具有所述放射線檢測用傳感器部的像素處，所述放射線檢測用傳感器部可以電連接至所述多條信號線，并且與在所述放射線檢測用傳感器部處生成的電荷相對應(yīng)的電信號流到所述多條信號線，并且其中，其它像素可以包括開關(guān)元件，這些開關(guān)元件根據(jù)流過所述多條掃描線的控制信號的狀態(tài)接通和斷開，并且在所述其它像素處，所述傳感器部經(jīng)由所述開關(guān)元件電連接至所述多條信號線，并且與在所述傳感器部處生成的電荷相對應(yīng)的電信號根據(jù)所述控制信號的狀態(tài)而流到所述多條信號線，并且在所述多條信號線中，連接有具有所述放射線檢測用傳感器部的所述像素的任一條信號線可以充當所述第一布線，并且在所述多條信號線中，未連接有具有所述放射線檢測用傳感器部的所述像素的或者所連接的具有所述放射線檢測用傳感器部的所述像素的數(shù)量小于所述第一布線的任一條信號線可以充當所述第二線。在本發(fā)明的第四方面中，根據(jù)上述第三方面，所述放射線圖像拍攝裝置還可以包括多個信號檢測電路，每一個信號檢測電路都連接有所述多條信號線中預(yù)定數(shù)量條信號線，并且所述信號檢測電路檢測流到各信號線的電信號，其中，在所述多條信號線中，與充當所述第一布線的所述信號線連接至同一個信號檢測電路的并且未連接有具有所述放射線檢測用傳感器部的所述像素的或者所連接的具有所述放射線檢測用傳感器部的所述像素的數(shù)量小于所述第一布線的任一條信號線可以充當所述第二線。在本發(fā)明的第五方面中，根據(jù)上述第三和第四方面，與充當所述第一布線的信號線相鄰的并且未連接有具有所述放射線檢測用傳感器部的所述像素的或者所連接的具有所述放射線檢測用傳感器部的所述像素的數(shù)量小于所述第一布線的信號線可以充當所述第一線。在本發(fā)明的第六方面中，根據(jù)上述第三到第五方面，未連接有具有所述放射線檢測用傳感器部的所述像素的或者所連接的具有所述放射線檢測用傳感器部的所述像素的數(shù)量小于所述第一布線的兩條或更多條信號線可以充當所述第二線，并且其中，所述檢測部可以分別數(shù)字轉(zhuǎn)換流過充當所述第一布線的所述信號線的電信號和流過充當所述第二線的所述兩條或更多條信號線的電信號，并且所述檢測部可以基于充當所述第一布線的所述信號線的數(shù)字數(shù)據(jù)的值與充當所述第二線的所述兩條或更多條信號線的數(shù)字數(shù)據(jù)的平均值之間的差異來檢測放射線。在本發(fā)明的第七方面中，根據(jù)上述第三到第六方面，具有所述放射線檢測用傳感器部的所述像素還可以包括短接的開關(guān)元件，并且所述放射線檢測用傳感器部經(jīng)由這些短接的開關(guān)元件電連接至所述多條信號線。在本發(fā)明的第八方面中，根據(jù)上述第三到第六方面，第二掃描線可以與所述掃描線分離地設(shè)置在所述絕緣基板處，并且具有所述放射線檢測用傳感器部的所述像素可以包括根據(jù)流過所述第二掃描線的控制信號的狀態(tài)接通和斷開的第二開關(guān)元件，并且所述放射線檢測用傳感器部可以經(jīng)由所述第二開關(guān)元件電連接至所述多條信號線。在本發(fā)明的第九方面中，根據(jù)上述第二到第八方面，包括所述放射線檢測用傳感器部多個所述像素可以與所述多條信號線中的一些信號線相對應(yīng)地按一個或更多個像素的間隔分別地設(shè)置。在本發(fā)明的第十方面中，根據(jù)上述第一方面，其中，在所述絕緣基板處，還可以設(shè)置有多條掃描線，它們平行地設(shè)置；多條信號線，它們平行地設(shè)置并且與所述多條掃描線交叉；以及多個像素，它們設(shè)置在所述多條掃描線與所述多條信號線的交叉部，并且所述多個像素具有傳感器部，這些傳感器部由于放射線的照射或從照射的放射線轉(zhuǎn)換成的光的照射而生成電荷，并且其中，所述放射線檢測用傳感器部、所述第一布線以及所述第二線可以設(shè)置在設(shè)置有所述多個像素的區(qū)域的外圍。在本發(fā)明的第十一方面中，根據(jù)上述第二到第十方面，所述檢測部可以檢測放射線的照射開始，并且所述放射線圖像拍攝裝置還可以包括控制信號輸出部，其向所述多條掃描線輸出所述控制信號；以及控制部，其在待機期間控制所述控制信號輸出部，使得反復(fù)地執(zhí)行復(fù)位操作，在所述復(fù)位操作中，向所述多條掃描線輸出執(zhí)行提取電荷的控制信號并從所述多個像素取出電荷，并且在放射線圖像拍攝期間，當所述檢測部檢測到放射線的照射開始時，所述控制部控制所述控制信號輸出部，使得向所述多條掃描線輸出禁止提取電荷的控制信號，并且在放射線的照射結(jié)束之后向所述多條掃描線輸出執(zhí)行提取電荷的控制信號。在本發(fā)明的第十二方面中，根據(jù)上述第十一方面，在所述放射線圖像拍攝期間，所述控制部可以控制所述控制信號輸出部，使得反復(fù)地執(zhí)行所述復(fù)位操作，直到所述檢測部檢測到放射線的照射開始為止。在本發(fā)明的第十三方面中，根據(jù)上述第十一方面，在所述放射線圖像拍攝期間，所述控制部可以控制所述控制信號輸出部，使得向所述多條掃描線輸出禁止提取電荷的控制信號，直到所述檢測部檢測到放射線的照射開始為止。在本發(fā)明的第十四方面中，根據(jù)上述第十一到第十三方面，在執(zhí)行所述復(fù)位操作時，所述控制信號輸出部可以依次向所述多條掃描線輸出執(zhí)行提取電荷的控制信號或者同時向全部所述多條掃描線輸出執(zhí)行提取電荷的控制信號。因此，即使在由于外部干擾等而導(dǎo)致出現(xiàn)噪聲時，本發(fā)明上述方面的放射線圖像拍攝裝置也可以抑制噪聲的影響并準確地檢測放射線。


將基于以下附圖對本發(fā)明的示例性實施方式進行詳細描述，其中圖1是示出涉及第一示例性實施方式的放射線圖像拍攝裝置的總體構(gòu)造的圖；圖2是示出涉及第一示例性實施方式的放射線檢測部件的構(gòu)造的平面圖；圖3是涉及第一示例性實施方式的放射線檢測部件的線截面圖；圖4是涉及第一示例性實施方式的放射線檢測部件的線截面圖；圖5是說明設(shè)計涉及第一示例性實施方式的放射線檢測部件的方法的圖；圖6是示出涉及第一示例性實施方式的放射線檢測部件的放射線圖像拍攝用像素和放射線檢測用像素的排列構(gòu)造的圖；圖7是示意性地示出涉及示例性實施方式的放射線圖像拍攝裝置的在拍攝放射線圖像時的操作流程的示意圖；圖8是詳細示出涉及第一示例性實施方式的放射線圖像拍攝裝置的在待機狀態(tài)下的操作流程的時序圖；圖9是詳細示出涉及第一示例性實施方式的放射線圖像拍攝裝置的在拍攝放射線圖像時的操作流程的時序圖；圖10是聚焦在涉及第一示例性實施方式的放射線檢測部件的D6和D7信號線3 上的等效電路圖；圖11是示出涉及第二示例性實施方式的放射線圖像拍攝裝置的總體構(gòu)造的圖；圖12是示出涉及第二示例性實施方式的放射線檢測部件的構(gòu)造的平面圖；圖13是涉及第二示例性實施方式的放射線檢測部件的線截面圖；圖14是涉及第二示例性實施方式的放射線檢測部件的線截面圖；圖15是詳細示出涉及第二示例性實施方式的放射線圖像拍攝裝置的在拍攝放射線圖像時的操作流程的時序圖；圖16是示出涉及第三示例性實施方式的放射線圖像拍攝裝置的總體構(gòu)造的圖；圖17是示出涉及第三示例性實施方式的放射線檢測部件的構(gòu)造的平面圖；圖18是涉及第三示例性實施方式的放射線檢測部件的線截面圖；圖19是涉及第三示例性實施方式的放射線檢測部件的線截面圖；圖20是詳細示出涉及第三示例性實施方式的放射線圖像拍攝裝置的在拍攝放射
8線圖像時的操作流程的時序圖；圖21是示出涉及第四示例性實施方式的放射線圖像拍攝裝置的總體構(gòu)造的圖；圖22是示出涉及另選示例性實施方式的放射線檢測部件的構(gòu)造的平面圖；圖23是示出涉及另選示例性實施方式的放射線檢測部件的總體構(gòu)造的圖；圖M是示出涉及另選示例性實施方式的放射線檢測部件的構(gòu)造的平面圖；圖25是示出涉及另選示例性實施方式的放射線檢測部件的構(gòu)造的平面圖；圖沈是示出涉及另選示例性實施方式的放射線檢測部件的總體構(gòu)造的圖；圖27是詳細示出涉及另選示例性實施方式的放射線圖像拍攝裝置的在拍攝放射線圖像時的操作流程的時序圖；圖觀是聚焦在涉及另選示例性實施方式的放射線檢測部件的D6和D7信號線3 上的等效電路圖；以及圖四是示出涉及另選示例性實施方式的放射線檢測部件的構(gòu)造的平面圖。
具體實施例方式下面，參照附圖，對本發(fā)明進行描述。本示例性實施方式描述了將本發(fā)明應(yīng)用于間接轉(zhuǎn)換型放射線檢測部件10的情況，該間接轉(zhuǎn)換型放射線檢測部件10 —旦將諸如X射線等的放射線轉(zhuǎn)換成光就接著將所轉(zhuǎn)換的光轉(zhuǎn)換成電荷。第一示例性實施方式圖1示出了涉及第一示例性實施方式的使用放射線檢測部件10的放射線圖像拍攝裝置100的示意性構(gòu)造。如圖1所示，涉及本示例性實施方式的放射線圖像拍攝裝置100具有間接轉(zhuǎn)換型放射線檢測部件10。注意，省略了將放射線轉(zhuǎn)換成光的閃爍體。多個像素20被設(shè)置在放射線檢測部件10處。像素20具有傳感器部103和TFT 開關(guān)4，傳感器部103接收光、生成電荷并積蓄所生成的電荷，并且TFT開關(guān)4用于讀出在傳感器部103中積蓄的電荷。在本示例性實施方式中，由于被閃爍體轉(zhuǎn)換的光照射在傳感器部103上而在傳感器部103處生成電荷。所述多個像素20沿一個方向(圖1中的橫向；下面還稱作“行方向”)和沿與該行方向相交的方向(圖1中的垂直方向；下面還稱作“列方向”)按矩陣形式設(shè)置。在圖1和圖6中，像素20的陣列按簡化方式示出；但是，例如，1024X1024個像素20沿所述一個方向和所述相交方向設(shè)置。在本示例性實施方式中，在所述多個像素20當中，預(yù)先確定了放射線圖像拍攝用像素20A和放射線檢測用像素20B。在圖1中，并且在圖6、圖11、圖16、圖23以及圖沈中， 放射線檢測用像素20B(放射線檢測像素20B)被虛線包圍。放射線圖像拍攝用像素20A(放射線圖像拍攝像素20A)被使用以便檢測放射線并且生成由放射線表示的圖像，并且放射線檢測像素20B被使用以便檢測放射線的照射開始。而且，在放射線檢測部件10處，在基板1上按彼此交叉的方式設(shè)置了用于將TFT 開關(guān)4接通和斷開的多條掃描線101和用于讀出在傳感器部103中積蓄的電荷的多條信號線3(參見圖幻。在本示例性實施方式中，沿列方向針對每一列像素均設(shè)置有一條信號線3，并且在行方向上針對每一行像素均設(shè)置有一條掃描線101。例如，當存在沿行方向和列方向設(shè)置的IOMX IOM個像素20時，存在IOM條信號線3和IOM條掃描線101。在放射線檢測部件10處，公共電極線25與各信號線3平行地設(shè)置。公共電極線 25的一端和另一端并聯(lián)連接，并且所述一端連接至提供預(yù)定偏壓的電源110。傳感器部103 連接至公共電極線25，并且偏壓經(jīng)由公共電極線25施加至傳感器部103。用于對各TFT開關(guān)4進行開關(guān)的控制信號流動到掃描線101。由于控制信號以這種方式流到各掃描線101，因而開關(guān)了各TFT開關(guān)4。根據(jù)各像素20的TFT開關(guān)4的開關(guān)狀態(tài)，與在各像素20中積蓄的電荷相對應(yīng)的電信號流到信號線3。更具體地說，與所積蓄的電荷量相對應(yīng)的電信號由于連接至信號線3 的像素20的任一個TFT開關(guān)4被接通而流到該信號線3。對流出至各信號線3的電信號進行檢測的信號檢測電路105連接至各信號線3。 而且，向各掃描線101輸出用于將TFT開關(guān)4接通和斷開的控制信號的掃描信號控制電路 104連接至各掃描線101。在圖1和圖6中，通過示出一個信號檢測電路105和一個掃描信號控制電路104而簡化了例示。然而，例如，設(shè)置多個信號檢測電路105和多個掃描信號控制電路104，并且預(yù)定數(shù)量條(例如，256條)信號線3或掃描線101連接到每一個信號檢測電路105和每一個掃描信號控制電路104。例如，當設(shè)置IOM條信號線3和IOM條掃描線101時，設(shè)置4個掃描信號控制電路104，每一個都被連接256條掃描線101，并且還設(shè)置 4個信號檢測電路105，每一個都被連接256條信號線3。放大所輸入的電信號的放大電路針對每一條信號線3而內(nèi)建到信號檢測電路105 中。在信號檢測電路105處，通過放大電路放大從各信號線3輸入的電信號，并將放大的電信號轉(zhuǎn)換成數(shù)字數(shù)據(jù)。控制部106連接至信號檢測電路105和掃描信號控制電路104?？刂撇?06針對在信號檢測電路105處轉(zhuǎn)換成的數(shù)字數(shù)據(jù)執(zhí)行預(yù)定處理(如噪聲去除等)，向信號檢測電路105輸出指示信號檢測定時的控制信號，并且向掃描信號控制電路104輸出指示掃描信號輸出定時的控制信號。本示例性實施方式的控制部106由微型計算機構(gòu)成，并且具有CPU(中央處理單元),ROM,RAM以及由閃速存儲器等形成的非易失性存儲部?？刂撇?06針對經(jīng)受了前述預(yù)定處理的圖像信息執(zhí)行插入各放射線檢測用像素20B的圖像信息的處理(插值化處理)，并且生成由照射的放射線表示的圖像。即，控制部106基于經(jīng)受了前述預(yù)定處理的圖像信息通過插入各放射線檢測用像素20B的圖像信息，生成由照射的放射線表示的圖像。圖2示出了涉及本示例性實施方式的間接轉(zhuǎn)換型放射線檢測部件10的構(gòu)造的平面圖。圖3示出了圖2的放射線圖像拍攝像素20A的A-A線截面圖。圖4示出了圖2的放射線檢測像素20B的B-B線截面圖。如圖3所示，在放射線檢測部件10的放射線圖像拍攝像素20A處，掃描線101 (參見圖2)和柵極2形成在由無堿玻璃等形成的絕緣基板1上，并且掃描線101和柵極2相連接(參見圖幻。利用Al和/或Cu，或者利用主要由Al和/或Cu形成的層積膜，形成了其中形成有掃描線101和柵極2的布線層(下面，還將整個布線層稱作“第一信號布線層”)。 然而，第一信號布線層的材料不限于此。絕緣膜15形成在該第一信號布線層上的整個表面上。絕緣膜15的位于柵極2上面的區(qū)域工作為TFT開關(guān)4處的柵絕緣膜。絕緣膜15例如由SiNx等通過例如CVD(化學汽相淀積)形成。半導(dǎo)體有源層8在絕緣膜15上的柵極2的上面形成為島形。該半導(dǎo)體有源層8 是TFF開關(guān)4的溝道部分，并且例如由非晶硅膜形成。源極9和漏極13形成在這些層的上層上。在布線層的形成有源極9和漏極13處， 信號線3與源極9和漏極13—起形成。源極9連接至信號線3 (參見圖幻。形成有源極 9、漏極13以及信號線3的布線層(下面，還將這個布線層稱作“第二信號布線層”)是利用 Al和/或Cu、或者主要由Al和/或Cu形成的層積膜形成的。然而，該布線層的形成不限于此。在一方(源極9和漏極1 與另一方(半導(dǎo)體有源層8)之間，形成有例如由摻雜非晶硅等形成的摻雜半導(dǎo)體層(未例示)。用于進行開關(guān)的TFT開關(guān)4由以上構(gòu)造構(gòu)成。注意，在TFT開關(guān)4處，由于由下面描述的下電極11收集和積蓄的電荷的極性，源極9和漏極 13相反。TFT保護膜層30形成在覆蓋第二信號布線層的并且在基板1上設(shè)置了像素20的區(qū)域的整個表面(大致整個表面)上，以保護TFT開關(guān)4和信號線3。TFT保護膜層30例如由SiNx等通過例如CVD形成。涂敷型層間絕緣膜12形成在TFT保護膜層30上。該層間絕緣膜12由具有低介電常數(shù)(介電常數(shù)、=2至4)的光敏有機材料(例如，正光敏丙烯酸樹脂萘醌二疊氮基(naphthoquinone diazide)正光敏劑與由甲基丙烯酸(methacrylic acid)與甲基丙烯酸縮水甘油酯(glycidyl methacrylate)的共聚物形成的基礎(chǔ)聚合物混合在一起的材料) 形成為Iym至4μπι的膜厚度。在涉及本示例性實施方式的放射線檢測部件10中，布置在層間絕緣膜12的上層和下層的金屬之間的電容因?qū)娱g絕緣膜12而保持得低。而且，一般來說，這種材料還充當平坦化膜，并且還具有使下層的臺階平坦化的效果。在涉及本示例性實施方式的放射線檢測部件10中，多個接觸孔17形成在層間絕緣膜12和TFT保護膜層30中與漏極13相對的位置處。傳感器部103的下電極11形成在層間絕緣膜12上，以在填充接觸孔17的同時覆蓋像素區(qū)。下電極11連接至TFT開關(guān)4的漏極13。如果稍后描述的半導(dǎo)體層21較厚并且厚度大約為1 μ m，則對于下電極18的材料來說，基本上不存在任何限制，只要其導(dǎo)電即可。 因此，利用諸如鋁型材料、ITO等的導(dǎo)電金屬來形成下電極11不存在問題。另一方面，如果半導(dǎo)體層21的膜厚度較薄(大約0. 2 μ m至0. 5 μ m)，則半導(dǎo)體層 21處的光吸收不充分。因此，為了防止因光照射到TFT開關(guān)4上而導(dǎo)致漏電流增加，優(yōu)選地使半導(dǎo)體層21為主要由阻光金屬或?qū)臃e膜形成的合金。充當光電二極管的半導(dǎo)體層21形成在下電極11上。在本示例性實施方式中，采用了具有層積了 η+層、i層以及P+層(η+非晶硅、非晶硅、P+非晶硅)的PIN構(gòu)造的光電二極管作為半導(dǎo)體層21，并且通過從底層起按η+層21A、i層21B以及P+層21C的次序?qū)臃e形成。在i層21B，因光的照射而生成電荷(自由電子和自由空穴對)。η+層21A和ρ+ 層21C充當接觸層，并且它們將下電極11和下面描述的上電極22與i層21B電連接起來。而且，在本示例性實施方式中，下電極11被制造得大于半導(dǎo)體層21，而且進一步地，TFT開關(guān)4的光照射側(cè)被半導(dǎo)體層21覆蓋。因此，像素區(qū)內(nèi)可以接收光的表面積的比CN 102387322 A
說明書
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例(所謂的填充因數(shù))較大，并且進一步地抑制了光入射在TFT開關(guān)4上。各上電極22分別形成在每一個半導(dǎo)體層21上。具有高透光率的材料(舉例來說， 如ITO或IZO(銦鋅氧化物)等)被用作上電極22。在涉及本示例性實施方式的放射線檢測部件10中，傳感器部103被構(gòu)造為包括上電極22、半導(dǎo)體層21以及下電極11。將涂敷型層間絕緣膜23形成在層間絕緣膜12、半導(dǎo)體層21以及上電極22上，以覆蓋各半導(dǎo)體層21。層間絕緣膜23在其與上電極22對應(yīng)的部分處具有開口 27A。公共電極線25形成在層間絕緣膜23上，它們由Al和/或Cu、或主要由Al和/或 Cu形成的合金或者由層積膜形成。接觸焊盤27形成在開口 27A附近，并且公共電極線25 經(jīng)由層間絕緣膜23的開口 27A電連接至上電極22。另一方面，如圖4所示，在放射線檢測部件10的放射線檢測像素20B處，TFT開關(guān) 4被形成為使得源極9和漏極12接觸。即，在放射線檢測像素20B處，TFT開關(guān)4的源極和漏極短接。因此，在放射線檢測像素20B處，不管TFT開關(guān)4的開關(guān)狀態(tài)如何，下電極11所收集的電荷都流出至信號線3。在這樣形成的放射線檢測部件10中，若需要，還由具有低光吸收特性的絕緣材料形成保護膜。通過利用具有低光吸收特性的粘合樹脂，將由GOS等形成的閃爍體粘接至該保護膜的表面。接下來，對形成用于檢測放射線的像素20B的方法的示例進行描述。當放射線檢測部件10的有效區(qū)域大于光掩模時，如圖5所示，劃分有效區(qū)域50，并且對各個劃分區(qū)執(zhí)行曝光。注意，在圖5的實施方式中，有效區(qū)50被劃分成5X6個曝光場(shot)。圖5例示了已劃分出的各區(qū)域。在本示例性實施方式中，在形成放射線檢測部件10的第二信號布線層時，利用兩種光掩模來執(zhí)行曝光。在“曝光場A”區(qū)域中，利用被形成為使得源極9和漏極 13在一些像素20處接觸的光掩模來執(zhí)行曝光。在“曝光場B”區(qū)域處，利用被形成為使源極9和漏極13在相應(yīng)像素20處彼此分開的光掩模來執(zhí)行曝光。這時，期望曝光場A的光掩模被形成為使得放射線檢測像素20B按一個或更多個像素的間隔布置而非連續(xù)的布置。 因此，與其中連續(xù)布置放射線檢測像素20B的情況相比，在控制部106處通過插值化處理所生成的圖像的圖像質(zhì)量較好。這里，如圖6所示，在放射線檢測像素20B處，優(yōu)選地將放射線檢測像素20B形成為使得針對特定信號線3 (這里，D2和D6信號線幻設(shè)置有多個放射線檢測像素20B。盡管在圖6中未示出，但當例如設(shè)置了 IOM條信號線3時，每隔1 條信號線3就在八條信號線3處形成十六個放射線檢測像素20B，使得設(shè)置放射線檢測像素20B的位置均勻。在這種情況下，存在1 個放射線檢測像素20B。當存在IOMX 1024個像素20時，全部像素的 0. 01%為放射線檢測像素20B。放射線檢測像素20B占全部像素20的比率不限于此，可以考慮各種比率。該比率可以基于控制部106處的插值化處理的準確度等來確定。例如，當插值化處理所生成的圖像的圖像質(zhì)量令人滿意時，放射線檢測像素20B占全部像素20的比率例如可以大約為1%，或者可以使百分比更高。接下來，利用圖7，簡要地描述利用具有上述構(gòu)造的放射線圖像拍攝裝置100拍攝放射線圖像時的操作流程。在放射線檢測部件10處，即使在沒有照射放射線的狀態(tài)下，也因暗電流等生成電荷，并且這些電荷積蓄在各像素20中。因此，在放射線圖像拍攝裝置100中，即使在待機狀態(tài)期間，也反復(fù)地執(zhí)行提取并消除在放射線檢測部件10的各像素20中積蓄的電荷的復(fù)位操作。圖8示出了示出涉及本示例性實施方式的放射線圖像拍攝裝置100在待機狀態(tài)下的操作流程的時序圖。在待機狀態(tài)的情況下，控制部106控制掃描信號控制電路104，并且通過從掃描信號控制電路104按次序逐行地向各掃描線101輸出接通信號(電勢VgH的信號)，并且按次序逐行地接通連接至各掃描線101的各TFT開關(guān)4，來執(zhí)行電荷提取。因此，在各像素20 中積蓄的電荷按次序逐行地流出至各信號線3作為電信號。在操作狀態(tài)為待機狀態(tài)時，在經(jīng)過預(yù)定時段之后，控制部106重復(fù)復(fù)位操作，該復(fù)位操作使信號按次序逐行地輸出至各掃描線101并且提取在放射線檢測部件10的各像素20中積蓄的電荷來復(fù)位一幀。由于這種復(fù)位操作，即使在沒有照射放射線時，由于暗電流等生成的電荷所造成電信號(所謂的偏差)也流到各信號線3。有關(guān)在復(fù)位操作中讀出的電荷的信息被用于校正由于暗電流等而在放射線圖像中出現(xiàn)的偏差。放射線圖像拍攝裝置100通過檢測放射線的照射開始并且開始在放射線檢測部件10的各像素20處積蓄電荷來執(zhí)行放射線圖像拍攝。在對放射線圖像執(zhí)行拍攝時，如圖 7所示，通知放射線圖像拍攝裝置100轉(zhuǎn)換到圖像拍攝模式。當放射線圖像拍攝裝置100被通知轉(zhuǎn)換到圖像拍攝模式時，放射線圖像拍攝裝置 100轉(zhuǎn)換到執(zhí)行放射線檢測的放射線檢測等待狀態(tài)，并且在檢測到放射線時，轉(zhuǎn)換到在放射線檢測部件10處積蓄電荷的電荷積蓄狀態(tài)，并且在從檢測到放射線起的預(yù)定時間之后，轉(zhuǎn)換到讀出所積蓄的電荷的電荷讀出狀態(tài)，并且在結(jié)束讀出電荷之后，轉(zhuǎn)換到待機狀態(tài)。圖9示出了利用涉及第一示例性實施方式的放射線圖像拍攝裝置100拍攝放射線圖像時的操作流程的時序圖。當控制部106被通知轉(zhuǎn)換到圖像拍攝模式時，該控制部106轉(zhuǎn)換到放射線檢測等待狀態(tài)，并且控制掃描信號控制電路104反復(fù)進行采樣，其中，從掃描信號控制電路104向各掃描線101輸出斷開信號(具有電勢Vgl的信號)，并且在預(yù)定時段IH由信號檢測電路 105將流到連接有放射線檢測像素20B的信號線3(在圖6的情況下，D2和D6中的至少一條，例如，D6)的電信號轉(zhuǎn)換成數(shù)字數(shù)據(jù)，并且執(zhí)行放射線檢測。注意，由于接通信號從掃描信號控制電路104按次序逐行地輸出到各掃描線101，因而預(yù)定時段IH被設(shè)置為與在執(zhí)行圖像讀出或者復(fù)位操作時針對一行的時段相同。然而，該預(yù)定時段IH不一定和針對一行的時段相同，而是可以設(shè)置為比在執(zhí)行圖像讀出或行復(fù)位操作時針對一行的時段短。如果用于檢測放射線的等待時段較長，則因暗電流等而在各像素20中積蓄電荷。 因而，在本示例性實施方式中，控制部106控制掃描信號控制電路104，使得執(zhí)行復(fù)位操作， 該復(fù)位操作與在等待狀態(tài)中相同，其中，接通信號從掃描信號控制電路104按次序逐行地輸出到各掃描線101，并且連接至各掃描線101的各TFT開關(guān)4按次序逐行地接通，并且從放射線檢測部件10的各像素20中取出了積蓄的電荷。放射線圖像拍攝裝置100被設(shè)置為與生成放射線的放射線生成裝置間隔設(shè)置，并且穿透過被檢查者的放射線照射到放射線圖像拍攝裝置100上。當照射放射線時，照射的放射線被閃爍體吸收并轉(zhuǎn)換成可見光。注意，可以從放射線檢測部件10的正面或背面照射放射線。在閃爍體處轉(zhuǎn)換成的可見光的光照射到各像素
1320的傳感器部103上。在傳感器部103處，當照射光時，在傳感器部103的內(nèi)部生成電荷。所生成的電荷被下電極11收集。在像素20A處，因為漏極13和源極9沒有短接，所以積蓄了由下電極11收集的電荷。然而，在放射線檢測像素20B處，因為漏極13和源極9被短接，所以下電極11收集的電荷流出至信號線3。具體來說，在本示例性實施方式中，如圖6所示，針對特定信號線3(這里，D2和D6信號線幻選擇性地設(shè)置放射線檢測像素20B。針對每條特定信號線3，對從放射線檢測像素20B流出的電信號求積。即，通過在特定信號線3處放置多個像素20B，由放射線導(dǎo)致的電信號的電平變化變大。在放射線檢測部件10處，存在由于各種外部干擾(如沖擊、溫度等)中的任一干擾而在各信號線3處出現(xiàn)噪聲的情況。因此，存在著在流過各信號線3的電信號中包括因暗電流等造成的偏差和因外部干擾造成的噪聲的情況。具體來說，由于外部干擾而出現(xiàn)的噪聲具有電信號中的變化也很大的特性。因而，在本示例性實施方式中，如圖9所示，信號檢測電路105按預(yù)定時段IH反復(fù)執(zhí)行采樣，其中，將流到連接有放射線檢測像素20B的信號線3 (在圖6的情況下，D2和D6 中的至少一條，并且在這里，D6)的電信號以及流到未連接有放射線檢測像素20B的信號線 3 (在圖6的情況下，Dl、D3至D5、D7、D8，并且在這里，D7)的電信號轉(zhuǎn)換成數(shù)字數(shù)據(jù)，并且執(zhí)行放射線檢測。對于與連接有放射線檢測像素20B的信號線3 —起被執(zhí)行采樣的信號線 3來說，如果在各信號線3處生成的噪聲類似，則可以使用未連接有放射線檢測像素20B的任何信號線3。然而，如果所生成的噪聲由于放射線檢測部件10內(nèi)信號線3的位置而存在不均勻性，則優(yōu)選的是，與連接有放射線檢測像素20B的信號線3 —起被執(zhí)行采樣的信號線 3靠近作為采樣目標且連接有放射線檢測像素20B的信號線3，并且與該信號線3連接至同一個信號檢測電路105。在本示例性實施方式中，通過信號檢測電路105執(zhí)行對D7信號線 3的采樣，D7信號線3被設(shè)置得靠近連接至放射線檢測像素20B的、作為采樣目標的D6信號線3。信號檢測電路105利用相應(yīng)的放大電路將流過D6信號線3和D7信號線3的電信號放大，并將它們轉(zhuǎn)換成數(shù)字數(shù)據(jù)，接著將這些數(shù)字數(shù)據(jù)輸出至控制部106。在控制部106處，從連接有放射線檢測像素20B的D6信號線3的被信號檢測電路 105轉(zhuǎn)換成數(shù)字數(shù)據(jù)的值中減去未連接有放射線檢測像素20B的D7信號線3的被信號檢測電路105轉(zhuǎn)換成數(shù)字數(shù)據(jù)的值。對作為產(chǎn)生的差異的數(shù)字數(shù)據(jù)值與預(yù)定的放射線感測用閾值進行比較。根據(jù)該數(shù)字數(shù)據(jù)值是否大于或等于閾值，檢測是否照射了放射線。圖10示出了聚焦涉及本示例性實施方式的放射線檢測部件10的D6和D7信號線 3的等效電路圖。注意，在圖10中，例示了因信號線3和掃描線101交叉而造成的電容，作為各交叉部的電容器。當在各信號線3處由于外部干擾而生成噪聲時，由于D6和D7信號線3彼此相鄰， 因此在D6和D7信號線3處生成大致相同的噪聲。而且，當照射放射線時，來自放射線檢測像素20B的電信號還流到D6信號線3。因此，流過D6和D7信號線3的電信號被轉(zhuǎn)換成數(shù)字數(shù)據(jù)，并且通過從D6信號線 3的轉(zhuǎn)換的數(shù)字數(shù)據(jù)的值中減去D7信號線3的轉(zhuǎn)換的數(shù)字數(shù)據(jù)的值，可以抵消與噪聲分量相對應(yīng)的值。
當檢測到放射線的照射時，如圖9所示，在經(jīng)過預(yù)定積蓄時段之后，控制部106控制掃描信號控制電路104，并且使接通信號從掃描信號控制電路10按次序逐行地輸出到各掃描線101，并且經(jīng)由掃描線101向TFT開關(guān)4的柵極2接連施加接通信號。因此，多個設(shè)置的像素20A的TFT開關(guān)4接連接通，與各像素20A中積蓄的電荷量相對應(yīng)的電信號流出至信號線3。信號檢測電路105將流到各信號線3的電信號轉(zhuǎn)換成數(shù)字數(shù)據(jù)?？刂撇?06 針對轉(zhuǎn)換的數(shù)字數(shù)據(jù)執(zhí)行預(yù)定處理，并且針對已經(jīng)受了預(yù)定處理的圖像信息，執(zhí)行插入各個放射線檢測用像素20B的圖像信息的處理，接著生成由照射的放射線表示的圖像。這樣，根據(jù)本示例性實施方式，即使因外部干擾等出現(xiàn)噪聲，也可以抑制噪聲的影響并準確地檢測放射線。因此，即使在各信號線3處出現(xiàn)噪聲時，無需考慮到噪聲量而將放射線感測用閾值設(shè)置得高。因此，可以較早地檢測到放射線的照射開始。而且，根據(jù)本發(fā)明示例性實施方式，通過在放射線檢測部件10的可以捕捉到放射線圖像的圖像拍攝區(qū)中設(shè)置放射線圖像拍攝像素20A和放射線檢測像素20B，即使當放射線照射區(qū)域被設(shè)置得窄時，也可以可靠地檢測放射線。而且，根據(jù)本示例性實施方式，還可以在用于放射線圖像拍攝的信號檢測電路105 處執(zhí)行對放射線照射的檢測。因此，不需要單獨地設(shè)置專門用于該用途的檢測電路。根據(jù)本示例性實施方式，使放射線檢測像素20B和放射線圖像拍攝像素20A形狀相同，并將放射線檢測像素20B分散地設(shè)置。因此，可以防止所拍攝的放射線圖像的圖像質(zhì)量出現(xiàn)偽像和劣化。而且，在涉及本示例性實施方式的放射線圖像拍攝裝置100處，在放射線檢測像素20B處，不管TFT開關(guān)4的開關(guān)狀態(tài)如何，電信號都流出至信號線3。因此，即使在從掃描信號控制電路104向各掃描線101輸出斷開信號時的斷開時段，也可以通過信號檢測電路 105進行采樣來檢測放射線。而且，在涉及本示例性實施方式的放射線圖像拍攝裝置100中，檢測放射線的照射開始，并且開始在放射線檢測部件10的各像素20處積蓄電荷。因此，在檢測到照射放射線前的時段內(nèi)照射的放射線不影響放射線圖像。由于在一般圖像拍攝期間的放射線照射時段大于或等于100ms，而預(yù)定周期IH大約為100μ s，所以可以幾乎沒有任何損耗地利用照射的放射線。更進一步地，根據(jù)本示例性實施方式，通過在特定信號線3上密集地設(shè)置多個放射線檢測用像素20Β (在本示例性實施方式中，16個像素)，能夠獲得的電荷量是在僅設(shè)置一個放射線檢測像素20Β的情況下獲得的電荷量的很多倍(在本示例性實施方式中，16 倍)。因此，可以在放射線能量低的階段檢測到放射線的照射，并且操作可以轉(zhuǎn)換到充電操作。即，可以減少放射線的損耗。具體來說，X射線的響應(yīng)特性很慢，并且存在在照射的初始階段不出現(xiàn)高能量的常見情況。因此，通過在特定信號線3上密集地設(shè)置多個放射線檢測用像素20Β，提高了在開始照射X射線時的檢測精度。根據(jù)本示例性實施方式，在放射線檢測等待時段期間，電信號因復(fù)位操作也流到信號線3。然而，因為在特定信號線3處設(shè)置了多個放射線檢測用像素20Β，所以容易根據(jù)電信號的電平將放射線的照射與復(fù)位操作區(qū)分開。而且，根據(jù)本示例性實施方式，在放射線檢測等待時段期間，執(zhí)行與待機狀態(tài)相似的復(fù)位操作。因此，可以獲取用于偏差校正的最新數(shù)據(jù)。存在著在放射線檢測部件10的各像素20B處生成的偏差根據(jù)放射線檢測部件10的狀態(tài)而隨著時間改變的情況。因此，通過執(zhí)行基于用于偏差修正的最新數(shù)據(jù)的校正，可以減少放射線圖像的噪聲。而且，根據(jù)本示例性實施方式，在檢測到放射線照射時的時間點停止復(fù)位操作。因此，因復(fù)位操作而造成的放射線損耗被保持為與僅一行相對應(yīng)的量。當在放射線的照射開始時的時間點處存在很少的放射線時，放射線損耗的比例很小，因此還可以在不需要執(zhí)行插值化處理的情況下照原樣使用圖像。當由于停止復(fù)位操作而在放射線圖像中的停止的行處的圖像中出現(xiàn)臺階時，通過根據(jù)與該臺階相鄰的行的圖像信息執(zhí)行插值化處理，可以校正該臺階。第二示例性實施方式接下來，對第二示例性實施方式進行描述。圖11示出了涉及第二示例性實施方式的使用放射線檢測部件10的放射線圖像拍攝裝置100的總體構(gòu)造。注意，與上述第一示例性實施方式(參見圖1)相同的部分用相同標號指示，并且略去了對它們的描述。在涉及第二示例性實施方式的放射線檢測部件10中，沿一個方向(圖11中的橫向；下面還稱作“行方向”)在設(shè)置有放射線檢測像素20B的像素行處與掃描線101平行地設(shè)置了掃描線108。此后，在本示例性實施方式中，為了區(qū)分掃描線101和掃描線108，將掃描線101稱為第一掃描線101，并且將掃描線108稱為第二掃描線108。在所述多個像素20中，在放射線圖像拍攝像素20A處，TFT開關(guān)4的柵極連接至第一掃描線101，并且在放射線檢測像素20B處，TFT開關(guān)4的柵極連接至第二掃描線108。 而且，在放射線圖像拍攝像素20A和放射線檢測像素20B 二者處，TFT開關(guān)4的源極都連接至信號線3。用于開關(guān)放射線圖像拍攝像素20A的TFT開關(guān)4的控制信號流到第一掃描線101。 用于開關(guān)放射線檢測像素20B的TFT開關(guān)4的控制信號流到第二掃描線108。在像素20之中，放射線圖像拍攝用像素20A的TFT開關(guān)由于流到各第一掃描線101的控制信號而被開關(guān)，并且放射線檢測像素20B的TFT開關(guān)4被流到各第二掃描線108的控制信號開關(guān)。與各像素20中積蓄的電荷相對應(yīng)的電信號根據(jù)各像素20的TFT開關(guān)的開關(guān)狀態(tài)而流到信號線3。更具體地說，與所積蓄的電荷量相對應(yīng)的電信號由于連接至信號線3的像素20的任一個TFT開關(guān)4被接通而流到該信號線3。各信號線3都連接至信號檢測電路105。各第一掃描線101連接至掃描信號控制電路104，該掃描信號控制電路104向各第一掃描線101輸出用于接通和斷開TFT開關(guān)4的控制信號。第二掃描線108的一端并聯(lián)連接，并且這些端部連接至控制信號輸出電路120， 該控制信號輸出電路120向各第二掃描線108輸出用于接通和斷開TFT開關(guān)4的控制信號。注意，在圖11中，通過示出一個信號檢測電路105和一個掃描信號控制電路104 來簡化例示。然而，例如，設(shè)置多個信號檢測電路105和多個掃描信號控制電路104，并且每一個信號檢測電路105和每一個掃描信號控制電路104都被連接了預(yù)定數(shù)量條(例如，256 條)信號線3或掃描線101。例如，當設(shè)置IOM條信號線3和IOM條掃描線101時，設(shè)置 4個掃描信號控制電路104，并且每一個都被連接256條掃描線101，并且還設(shè)置4個信號檢測電路105，并且每一個都被連接256條信號線3?？刂菩盘栞敵鲭娐?20連接至控制部106，并且被來自控制部106的控制所操作，并且向各第二掃描線108輸出用于接通和斷開TFT開關(guān)4的控制信號。圖12示出了涉及第二示例性實施方式的間接轉(zhuǎn)換型放射線檢測部件10的三個放射線圖像拍攝像素20A和一個放射線檢測像素20B共計四個像素的構(gòu)造的平面圖。圖13示出了圖12的放射線圖像拍攝像素20A的線A-A截面圖。圖14示出了圖 12的放射線檢測像素20B的線B-B截面圖。注意，與上述第一示例性實施方式(參見圖2 到圖4)相同的部分用相同標號指示，并且略去了對它們的描述。如圖13和圖14所示，在放射線圖像拍攝像素20A和放射線檢測像素20B處，第一掃描線101 (參見圖12)和柵極2形成在絕緣基板1上，作為第一信號布線層。而且，在放射線檢測像素20B處，形成第二掃描線108作為第一信號布線層。在放射線圖像拍攝像素 20A處，將柵極32連接至第一掃描線101，而在放射線檢測像素20B處，柵極2連接至第二掃描線108(參見圖12)。絕緣膜15形成在第一信號布線層上的整個表面上。按照與第一示例性實施方式 (參見圖2到圖4)中相同的方式，各個層形成在絕緣膜15上。圖15示出了涉及第二示例性實施方式的放射線圖像拍攝裝置100在拍攝放射線圖像時的操作流程的時序圖。如上所述，如果檢測放射線的等待時段長，則由于暗電流等而在各像素20中積蓄電荷。因此，在放射線檢測等待狀態(tài)的情況下，控制部106控制掃描信號控制電路104以執(zhí)行復(fù)位操作，其中，接通信號從掃描信號控制電路104按次序逐行地輸出到各第一掃描線 101，并且按次序逐行地接通連接至各第一掃描線101的各TFT開關(guān)4，并且提取在放射線檢測部件10的各像素20中積蓄的電荷。而且，控制部106控制控制信號輸出電路120，使得反復(fù)進行采樣，其中，按預(yù)定時段IH從控制信號輸出電路120向各第二掃描線108輸出接通信號，并且按預(yù)定時段IH由信號檢測電路105將流到連接有放射線檢測像素20B的信號線3 (在圖11的情況下，D2和 D6中的至少一條，并且在這里，D6)的電信號和流到未連接有放射線檢測像素20B的信號線 3(在圖11的情況下，D1、D3至D5、D7、D8，并且在這里，D7)的電信號轉(zhuǎn)換成數(shù)字數(shù)據(jù)，并且執(zhí)行放射線檢測。注意，如上所述，對于與連接有放射線檢測像素20B的信號線3 —起被執(zhí)行采樣的信號線3來說，如果在各信號線3處生成的噪聲相似，則可以使用未連接有放射線檢測像素20B的任何信號線3。然而，如果由于放射線檢測部件10內(nèi)信號線3的位置而導(dǎo)致所生成的噪聲中存在不均勻性，則優(yōu)選的是，與連接有放射線檢測像素20B的信號線3 — 起被執(zhí)行采樣的信號線3靠近作為采樣目標且連接有放射線檢測像素20B的信號線3，并且與該信號線3連接至同一個信號檢測電路105。在本示例性實施方式中，由信號檢測電路 105執(zhí)行對D7信號線3的采樣，D7信號線3被設(shè)置得靠近作為采樣目標的、連接有放射線檢測像素20B的D6信號線3。信號檢測電路105利用相應(yīng)的放大電路，將流過D6信號線3 和D7信號線3的電信號放大，并將它們轉(zhuǎn)換成數(shù)字數(shù)據(jù)，接著將這些數(shù)字數(shù)據(jù)輸出至控制部 106。在控制部106處，從連接有放射線檢測像素20B的D6信號線3的由信號檢測電路 105轉(zhuǎn)換成的數(shù)字數(shù)據(jù)的值中減去未連接有放射線檢測像素20B的D7信號線3的由信號檢測電路105轉(zhuǎn)換成的數(shù)字數(shù)據(jù)的值。對作為所得差異的數(shù)字數(shù)據(jù)值與預(yù)定的放射線感測用閾值進行比較。根據(jù)該數(shù)字數(shù)據(jù)值是否大于或等于該閾值，檢測是否照射了放射線。
因此，即使當由于D6和D7信號線3處的外部干擾而產(chǎn)生噪聲時，也將流過D6和 D7信號線3的電信號轉(zhuǎn)換成數(shù)字數(shù)據(jù)，并且通過從D6信號線3的轉(zhuǎn)換的數(shù)字數(shù)據(jù)的值中減去D7信號線3的轉(zhuǎn)換的數(shù)字數(shù)據(jù)的值，抵消了與噪聲分量相對應(yīng)的值。這樣，根據(jù)本示例性實施方式，即使在由于外部干擾等出現(xiàn)噪聲時，也可以抑制噪聲的影響并準確地檢測放射線。因此，即使在各信號線3處出現(xiàn)噪聲時，也不需要考慮噪聲的量而將放射線感測用閾值設(shè)置得高。因此，可以較早地檢測到放射線的照射開始。在涉及本示例性實施方式的放射線圖像拍攝裝置100中，第二掃描線108與第一掃描線101平行地設(shè)置，并且放射線檢測像素20B的TFT開關(guān)4的柵極連接至第二掃描線 108。因此，在放射線檢測像素20B處，所積蓄的電荷由于來自第二掃描線108的控制信號而流出至信號線2作為電信號。因此，即使在從掃描信號控制電路104向各第一掃描線101 輸出斷開信號的斷開時段期間以及在按次序向各第一掃描線101輸出接通信號的復(fù)位操作期間，也可以通過信號檢測電路105的采樣來檢測放射線。第三示例性實施方式接下來，對第三示例性實施方式進行描述。圖16示出了涉及第三示例性實施方式的使用放射線檢測部件10的放射線圖像拍攝裝置100的總體構(gòu)造。注意，與上述第一示例性實施方式(參見圖1)相同的部分用相同標號指示，并且略去了對它們的描述。在涉及第三示例性實施方式的放射線檢測部件10中，沿一個方向(圖16中的橫向；下面還稱作“行方向”)在設(shè)置有放射線檢測像素20B的線處與掃描線101平行地設(shè)置放射線檢測用布線121。而且，沿行方向在與設(shè)置有放射線檢測用布線121的相應(yīng)像素行相鄰的像素行處設(shè)置噪聲檢測用線122。在多個像素20中，在放射線圖像拍攝像素20A處，傳感器部103經(jīng)由TFT開關(guān)4 連接至信號線3，而在放射線檢測像素20B處，傳感器部103與TFT開關(guān)4斷開，并且這些傳感器部103連接至放射線檢測用布線121。因此，與在各放射線檢測用像素20B的各傳感器部103中生成的電荷相對應(yīng)的電信號流到放射線檢測用布線121。涉及本示例性實施方式的放射線圖像拍攝裝置100具有放射線檢測電路130。設(shè)置在放射線檢測部件10處的各放射線檢測用線121的一個端部并聯(lián)連接，并且這些端部連接至放射線檢測電路130。各噪聲檢測用布線122的一個端部同樣并聯(lián)連接，并且這些端部連接至放射線檢測電路130。放射線檢測電路130包含放大電路，并且放射線檢測電路130連接至控制部106。 放射線檢測電路130根據(jù)來自控制部106的控制進行操作。放射線檢測電路130利用放大電路放大流過與其相連的放射線檢測用布線121和噪聲檢測用布線122的電信號，并且此后，將各放大信號轉(zhuǎn)換成數(shù)字數(shù)據(jù)，并將轉(zhuǎn)換的數(shù)字數(shù)據(jù)輸出至控制部106。圖17示出了涉及第三示例性實施方式的間接轉(zhuǎn)換型放射線檢測部件10的三個放射線圖像拍攝像素20A和一個放射線檢測像素20B共計四個像素的構(gòu)造的平面圖。圖18 示出了圖17的放射線圖像拍攝像素20A的線A-A截面圖。圖19示出了圖17的放射線檢測像素20B的線B-B截面圖。注意，與上述第一示例性實施方式(參見圖2到圖4)相同的部分用相同標號指示，并且略去對它們的描述。如圖18和圖19所示，在放射線檢測部件10的放射線圖像拍攝像素20A和放射線檢測像素20B處，第一掃描線101(參見圖17)和柵極2作為第一信號布線層形成在絕緣基板1上，并且掃描線101和柵極2 (參見圖17)連接起來。而且，在形成放射線檢測像素20B 的多行像素處，放射線檢測用線121同樣作為第一信號布線層與掃描線101平行地形成。在與形成有放射線檢測用布線121的像素行相鄰的像素行處，還形成同樣作為第一信號布線層的噪聲檢測用布線122。絕緣膜15形成在第一信號布線層上的整個表面上。半導(dǎo)體有源層8在絕緣膜15 上形成為島形。在這些層上面的層處，源極9和漏極13形成為第二信號布線層。在涉及本示例性實施方式的放射線檢測部件的放射線檢測像素20B處，接觸孔18 形成在絕緣膜15的與漏極13和放射線檢測用布線121相對的位置處，并且漏電極13被形成為填充在絕緣膜15中形成的接觸孔18。而且，漏極13被形成為分割成兩個電極13A、 13B。被形成為填充接觸孔18的電極13A經(jīng)由接觸孔17連接至傳感器部103的下電極11。 即，放射線檢測用布線121經(jīng)由電極13A電連接至下電極11。因為放射線檢測用布線121 以這種方式?jīng)]有經(jīng)過TFT開關(guān)4地連接至下電極11，所以可以直接讀出傳感器部103的電荷。按照與第一示例性實施方式(參見圖2到圖4)中相同的方式，各層形成在第二信號布線層上。圖20示出了涉及第三示例性實施方式的放射線圖像拍攝裝置100的拍攝放射線圖像時的操作流程的時序圖。如上所述，如果檢測放射線的等待時段長，則由于暗電流等在各像素20中積蓄電荷。因此，在放射線檢測等待狀態(tài)的情況下，控制部106控制掃描信號控制電路104，以執(zhí)行復(fù)位操作，其中，從掃描信號控制電路104向各第一掃描線101按次序逐行地輸出接通信號，并且按次序逐行地接通連接至各第一掃描線101的各TFT開關(guān)4，并且提取在放射線檢測部件10的各像素20中積蓄的電荷。而且，控制部106控制放射線檢測電路130，使得按照預(yù)定時段IH反復(fù)進行采樣， 其中，分別將流過放射線檢測用布線121的電信號和流過噪聲檢測用布線122的電信號轉(zhuǎn)換成數(shù)字數(shù)據(jù)，并且執(zhí)行放射線檢測。放射線檢測電路130向控制部106輸出放射線檢測用布線121和噪聲檢測用布線122的轉(zhuǎn)換的數(shù)字數(shù)據(jù)。這里，放射線檢測像素20B連接至放射線檢測用布線121，并且放射線檢測像素 20B未連接至噪聲檢測用布線122。因此，當照射放射線時，在放射線檢測用布線121處，由于放射線的照射而生成電信號，而在噪聲檢測用布線122處，沒有由于放射線的照射而生成電信號。而且，因外部干擾而在放射線檢測用布線121和噪聲檢測用布線122處生成相似的噪聲。在控制部106處，從放射線檢測用布線121的由放射線檢測電路130輸入的數(shù)字數(shù)據(jù)的值中減去噪聲檢測用布線122的由放射線檢測電路130輸入的數(shù)字數(shù)據(jù)的值。對作為所得差異的數(shù)字數(shù)據(jù)值與預(yù)定的放射線感測用閾值進行比較。根據(jù)該數(shù)字數(shù)據(jù)值是否大于或等于該閾值，檢測是否照射了放射線。因此，即使在因外部干擾而在放射線檢測用布線121和噪聲檢測用布線122處出現(xiàn)噪聲時，也將流過放射線檢測用布線121的電信號和流過噪聲檢測用布線122的電信號轉(zhuǎn)換成數(shù)字數(shù)據(jù)，并且通過從放射線檢測用布線121的轉(zhuǎn)換的數(shù)字數(shù)據(jù)的值中減去噪聲檢測用布線122的轉(zhuǎn)換的數(shù)字數(shù)據(jù)的值，抵消了與噪聲分量相對應(yīng)的值。這樣，根據(jù)本示例性實施方式，即使在因外部干擾等出現(xiàn)噪聲時，也可以抑制噪聲的影響并準確地檢測放射線。因此，即使在各信號線3處出現(xiàn)噪聲時，也不需要考慮噪聲量而將放射線感測用閾值設(shè)置得高。因此，可以較早地檢測到放射線的照射開始。而且，根據(jù)本示例性實施方式，在放射線檢測像素20B處，不管TFT開關(guān)4的開關(guān)狀態(tài)如何，電信號都流出至放射線檢測用布線121。因此，即使在從掃描信號控制電路104 向各掃描線101輸出斷開信號的斷開時段期間，也可以通過在放射線檢測電路130處的采樣來檢測放射線。第四示例性實施方式接下來，對第四示例性實施方式進行描述。圖21示出了涉及第四示例性實施方式的使用放射線檢測部件10的放射線圖像拍攝裝置100的總體構(gòu)造。注意，與上述第一示例性實施方式(參見圖1)相同的部分用相同標號指示，并且略去了對它們的描述。在涉及第四示例性實施方式的放射線檢測部件10中，所有像素20都是放射線圖像拍攝像素20A，并且多個接收放射線并生成電荷的放射線檢測用傳感器部140設(shè)置在以矩陣形式布置有像素20的圖像拍攝區(qū)的外圍處。注意，當在傳感器部140上面形成閃爍體時，傳感器部140可以是接收來自閃爍體的光并生成電荷的構(gòu)造。而且，在涉及第四示例性實施方式的放射線檢測部件10處，沿大致相同的路徑并行地設(shè)置了放射線檢測用布線121和噪聲檢測用布線122。相應(yīng)的傳感器部140連接至放射線檢測用布線121。按照與第三示例性實施方式相同的方式，涉及第四示例性實施方式的放射線圖像拍攝裝置100具有放射線檢測電路130。放射線檢測用布線121和噪聲檢測用布線122分別連接至放射線檢測電路130。放射線檢測電路130包含放大電路，并且連接至控制部106。放射線檢測電路130 根據(jù)來自控制部106的控制進行操作。放射線檢測電路130利用放大電路放大流過與其相連的放射線檢測用布線121和噪聲檢測用布線122的相應(yīng)電信號，并且此后，放射線檢測電路130將放大的信號轉(zhuǎn)換成數(shù)字數(shù)據(jù)并將轉(zhuǎn)換的數(shù)字數(shù)據(jù)輸出至控制部106。當控制部106被告知轉(zhuǎn)換到圖像拍攝模式時，控制部106轉(zhuǎn)換到放射線檢測等待狀態(tài)，并且控制放射線檢測電路130以反復(fù)進行采樣，其中，按預(yù)定時段1H，分別將流過放射線檢測用布線121的電信號和流過噪聲檢測用布線122的電信號轉(zhuǎn)換成數(shù)字數(shù)據(jù)，并且執(zhí)行放射線檢測。放射線檢測電路130向控制部106輸出放射線檢測用布線121和噪聲檢測用布線122的轉(zhuǎn)換的數(shù)字數(shù)據(jù)。這里，盡管傳感器部140連接至放射線檢測用布線121，但傳感器部140未連接至噪聲檢測用布線122。因此，當照射放射線時，在放射線檢測用布線121處，因放射線的照射而生成電信號，而在噪聲檢測用布線122處，沒有因放射線的至少生成電信號。而且，因外部干擾而在放射線檢測用布線121和噪聲檢測用布線122處生成相似的噪聲。注意，中間插入噪聲檢測用布線122的線路電容，該線路電容比放射線檢測用布線121的線路電容小與傳感器部140相對應(yīng)的量。因此，可以在噪聲檢測用布線122的與傳感器部140相鄰的位置處設(shè)置虛擬電容器。在該虛擬電容器處，例如，通過在具有與傳感器部相同的層構(gòu)造和相同的形狀的光電二極管的上電極上放置阻光膜，可以將虛擬電容器構(gòu)造為使得該虛擬電容的電容和傳感器部相同，但對放射線的敏感度大致為零。在控制部106處，從放射線檢測用布線121的由放射線檢測電路130輸入的數(shù)字數(shù)據(jù)的值中減去噪聲檢測用布線122的由放射線檢測電路130輸入的數(shù)字數(shù)據(jù)的值。對作為所得差異的數(shù)字數(shù)據(jù)值與預(yù)定的放射線感測用閾值進行比較。根據(jù)該數(shù)字數(shù)據(jù)值是否大于或等于該閾值，檢測是否照射了放射線。因此，即使在因外部干擾而在放射線檢測用布線121和噪聲檢測用布線122處出現(xiàn)噪聲時，也將流過放射線檢測用布線121的電信號和流過噪聲檢測用布線122的電信號轉(zhuǎn)換成數(shù)字數(shù)據(jù)，并且通過從放射線檢測用布線121的轉(zhuǎn)換的數(shù)字數(shù)據(jù)的值中減去噪聲檢測用布線122的轉(zhuǎn)換的數(shù)字數(shù)據(jù)的值來抵消與噪聲分量相對應(yīng)的值。這樣，根據(jù)本示例性實施方式，即使在因外部干擾等出現(xiàn)噪聲時，也可以抑制噪聲的影響并準確地檢測放射線。因此，即使在各信號線3處出現(xiàn)噪聲時，也不需要考慮噪聲量而將放射線感測用閾值設(shè)置得高。因此，可以較早地檢測到放射線的照射開始。注意，上述第一示例性實施方式描述了在放射線檢測像素20B處通過短接源極和漏極來形成TFT開關(guān)4的情況。然而，例如，可以將傳感器部103直接連接至信號線3，而不形成TFT開關(guān)4。例如，如圖22所示，在放射線檢測像素20B處，可以形成連接源極9和漏極13并電連接傳感器部103的下電極11和信號線3的連接線80，而不設(shè)置柵極2和半導(dǎo)體有源層8。在這種情況下，如圖23所示，在放射線圖像拍攝像素20A處，傳感器部103經(jīng)由TFT 開關(guān)4電連接至信號線3，但在放射線檢測像素20B處，沒有設(shè)置TFT開關(guān)4，因此傳感器部 103直接電連接至信號線3。而且，上述第一示例性實施方式描述了在放射線檢測像素20B處通過短接源極和漏極來形成TFT開關(guān)4的情況。然而，例如，如圖M所示，可以沿漏極13形成連接線82，并且該連接線82可以連接至信號線3。同樣在這種情況下，TFT開關(guān)4的源極和漏極大致短接。當TFT開關(guān)4的源極和漏極如在第一示例性實施方式中或者如圖M所示那樣短接時， 可以形成遠離掃描線101的柵極2，如圖25所示。而且，例如如圖四所示，在放射線檢測像素20B處，可以形成連接線82，并且可以經(jīng)由連接線82和接觸孔17連接傳感器部103和信號線3，并且可以電斷開漏極13和接觸孔17。在放射線檢測像素20B處，當TFT開關(guān)4的源電極9和漏極13如圖2和圖4所示那樣短接時，柵極2與漏極13之間的電容Cgd大于通常的放射線圖像拍攝用像素20A處的電容。因此，在放射線檢測部件10處，由于連接有放射線檢測像素20B的信號線3的線路電容和未連接有放射線檢測像素20B的另一信號線3的線路電容的差異，出現(xiàn)了偏差電荷
量的差異。另一方面，在放射線檢測像素20B處，當如圖22所示那樣連接源極9和漏極13而不設(shè)置柵極2和半導(dǎo)體有源層8時，由于不存在TFT開關(guān)4，所以電容Cgd為零。然而，在放射線檢測部件10處，連接有放射線檢測像素20B的信號線3的線路電容和未連接有放射線檢測像素20B的另一信號線3的線路電容中的差異較大，并且出現(xiàn)連接有放射線檢測像素 20B的信號線3的饋通電壓和未連接有放射線檢測像素20B的另一信號線3的饋通電壓的差異，并且出現(xiàn)偏差電荷量的差異。與此相反，在放射線檢測像素20B處，當如圖M所示那樣沿漏極13形成連接線82 并且連接線82連接傳感器部103和信號線3時，可以使連接有放射線檢測像素20B的信號線3的線路電容和未連接有放射線檢測像素20B的另一信號線3的線路電容的差異較小。 而且，在放射線檢測像素20B處，當如圖四所示那樣形成連接線82并且連接線82連接傳感器部103和信號線3，并且電斷開漏極13和接觸孔17時，可以使連接有放射線檢測像素 20B的信號線3的線路電容和未連接有放射線檢測像素20B的另一信號線3的線路電容的差異甚至更小。這里，針對放射線圖像拍攝像素20A、如圖2和4所示的短接了 TFT開關(guān)4的源極 9和漏極13的放射線檢測像素20B (下面稱為像素20B-1)、如圖22所示的連接了源極9和漏極13而未設(shè)置柵極2和半導(dǎo)體有源層8的放射線檢測像素20B(下面稱為像素20B-2)、 如圖M所示沿漏極13形成連接線82并連接傳感器部103和信號線3的放射線檢測像素 20B(下面稱為像素20B-;3)以及如圖四所示的形成連接線82并且連接傳感器部103和信號線3并電斷開漏極13和接觸孔17的放射線檢測像素20B(下面稱為像素20B-4)的饋通電荷和線路電容執(zhí)行具體比較。已知Cgd 柵極2與漏極13之間的電容Vpp VgH (接通TFT開關(guān)4的控制信號的電壓)-Vgl (斷開TFT開關(guān)4的控制信號的電壓)Ca-Si =TFT開關(guān)4的溝道部分的電容，Cgs 柵極2與源極9之間的電容，Ctft 每一個TFT開關(guān)4對掃描線101的電容的貢獻量，Cpd 傳感器部103的電容，以及Csd 在包括下電極11的像素20兩側(cè)處的下電極11與信號線3之間的電容，像素20A與放射線檢測像素20B-1至20B-4的饋通電荷Δ Q如下。像素20Α AQ = CgdXVpp(1)像素20Β-1 AQ = (Cgd+Ca-Si+Cgs) XVpp ^ 4CgdXVpp (2)像素20B-2 Δ Q = 0(3)像素20Β-3 AQ = (Cgd+Cgs) XVpp = 2CgdXVpp(4)像素20B-4 Δ Q = CgdXVpp(5)因此，優(yōu)選具有放射線檢測像素20Β-4，其饋通電荷AQ接近于像素20Α的饋通電荷AQ。而且，放射線檢測像素20Β-3同樣比放射線檢測像素20Β-1更優(yōu)選。另一方面，像素20Α和放射線檢測像素20Β-1至20Β-4的每一個TFT開關(guān)4的向掃描線101的電容的貢獻量Ctft如下。像素20Α =Ctft = Cgd+Cgs// (Cpd+Csd)= Cgd+{Cgs(Cpd+Csd)/(Cgs+Cpd+Csd}這里，(Cpd彡Cgs)并且(Cpd彡Csd)，因此可以忽略Cgs和Csd，因此^ Cgd+Cgs ^ 2Cgd(6)像素20B-1 =Ctft = Cgd+Ca-Si+Cgs ^ 4Cgd(7)
像素20B_2 =Ctft = 0像素20B-3 =Ctft = Cgd+Cgs ^ 2Cgd像素20B-4 =Ctft = Cgd
\1/ \1/ Ni/ 9 O 8(1
/N /N因此，當嘗試將線路電容的變化保持得小時，優(yōu)選放射線檢測像素20B-3，其電容 Ctft接近于像素20A的電容。因為饋通電荷極大地影響了圖像質(zhì)量，所以通過利用放射線檢測像素20B-4的構(gòu)造，可以使饋通分量與其它像素的饋通分量一致。因此，可以抑制偏差值在放射線感測用放射線檢測像素20B處波動的現(xiàn)象。而且，與放射線檢測像素20B-1相比，因為可以將饋通減少一半，所以放射線檢測像素20B-3的構(gòu)造是有效的。上述第一和第二示例性實施方式描述了通過按預(yù)定時段IH對流到連接有放射線檢測像素20B的D6信號線3的電信號和流到與D6信號線3相鄰設(shè)置且未連接有放射線檢測像素20B的D7信號線3的電信號進行采樣，并且通過從D6信號線3的數(shù)字數(shù)據(jù)的值中減去D7信號線3的數(shù)字數(shù)據(jù)的值來抵消噪聲的情況。然而，本發(fā)明不限于此，例如，如圖沈所示，可以在D6信號線3的任一側(cè)對流到設(shè)置在D6信號線3兩側(cè)的D5和D7信號線3的電信號執(zhí)行采樣，并且可以確定D5和D7信號線3的數(shù)字數(shù)據(jù)的平均值，并且可以從連接有放射線檢測像素20B的D6信號線3的數(shù)字數(shù)據(jù)的值中減去該平均值。即，可以檢測到流到多個未連接有放射線檢測像素20B的信號線3的電信號，從而可以以確定相應(yīng)的數(shù)字數(shù)據(jù)， 并且可以確定所確定的數(shù)字數(shù)據(jù)的值的平均值，接著可以從連接有放射線檢測像素20B的 D2信號線3的數(shù)字數(shù)據(jù)的值中減去該平均值。同樣在這種情況下，對于與連接有放射線檢測像素20B的信號線3 —起被執(zhí)行采樣的信號線3來說，如果在相應(yīng)的信號線3處生成的噪聲相似，則可以使用未連接有放射線檢測像素20B的任何信號線3。然而，如果因放射線檢測部件10內(nèi)信號線3的位置而造成所生成噪聲中存在不均勻性，則優(yōu)選的是，與連接有放射線檢測像素20B的信號線3 —起被執(zhí)行采樣的信號線3靠近作為采樣目標并連接有放射線檢測像素20B的信號線3，并且與該信號線3連接至同一信號檢測電路105。而且，上述示例性實施方式描述了在確定數(shù)字數(shù)據(jù)的值的差異之后進行判定的方法。然而，可以分別判定連接有放射線檢測像素20B的信號線3(第一布線)的數(shù)據(jù)和未連接有放射線檢測像素20B的信號線3 (第二線)的數(shù)據(jù)(最終，其足以獲得與利用第二線進行的差異處理相同的檢測精度提高效果)。例如，當?shù)诙€的信號值小于或等于給定值時， 判定不存在外部干擾噪聲，并且通過在感測放射線量時照原樣利用第一布線的信號值，不執(zhí)行減法處理。而且，第二示例性實施方式描述了沿行方向在設(shè)置有放射線檢測像素20B的像素行處與第一掃描線101平行地設(shè)置第二掃描線108的情況，如圖11所示。然而，本發(fā)明不限于此。例如，可以沿行方向在所有像素行處與第一掃描線101平行地設(shè)置第二掃描線108， 并且可以將放射線檢測像素20B的TFT開關(guān)4連接至第二掃描線108。因此，可以使第一掃描線101、第二掃描線108以及信號線3的布線圖案相同。而且，上述第二示例性實施方式描述了從第二掃描線108的一端所并聯(lián)連接到的控制信號輸出電路120同時向所有第二掃描線108輸出接通TFT開關(guān)4的控制信號的情況， 如圖11所示。然而，本發(fā)明不限于此。例如，各第二掃描線108可以分別單獨地連接至控制信號輸出電路120，并且可以從控制信號輸出電路120向各第二掃描線108單獨地輸出接通TFT開關(guān)4的控制信號。因此，可以選擇一區(qū)域，并且可以針對該區(qū)域執(zhí)行放射線檢測。上述示例性實施方式描述了連接有放射線檢測像素20B的信號線3(例如，D6)為第一布線，未連接有放射線檢測像素20B的信號線3 (例如，D7)為第二線，并且流過第一布線的電信號與流過第二線的電信號之間的差異被確定的情況。然而，本發(fā)明不限于此。假設(shè)能夠在用作第一布線的特定信號線3上密集地設(shè)置多個像素20B。放射線檢測像素20B 還可以連接至用作第二線的信號線3，只要連接至第二線的放射線檢測像素20B的數(shù)量小于連接至第一布線的放射線檢測像素20B的數(shù)量即可。例如，數(shù)量小于D6信號線3的數(shù)量的放射線檢測像素20B還可以連接至圖6、圖11以及圖沈中的D7信號線3。而且，盡管上述示例性實施方式描述了放射線圖像拍攝像素20A和放射線檢測像素20B被設(shè)置為放射線檢測部件10的像素20的情況，但例如，可以設(shè)置用于其它應(yīng)用的像
ο盡管上述示例性實施方式描述了檢測放射線的照射開始的情況，但本發(fā)明不限于此。例如，同樣在放射線照射期間，可以按預(yù)定時段IH反復(fù)進行采樣，其中，將連接有放射線檢測像素20B的信號線3的電信號和未連接有放射線檢測像素20B的信號線3的電信號轉(zhuǎn)換成數(shù)字數(shù)據(jù)，并且執(zhí)行放射線檢測，接著可以對通過從連接有放射線檢測像素20B的信號線3的數(shù)字數(shù)據(jù)的值中減去未連接有放射線檢測像素20B的信號線3的數(shù)字數(shù)據(jù)的值而獲得的數(shù)字數(shù)據(jù)的值與預(yù)定的放射線感測用閾值進行比較，并且可以根據(jù)該值是否小于閾值來檢測放射線的照射結(jié)束。而且，可以累計通過減法而獲得的數(shù)字數(shù)據(jù)值，并且可以檢測到放射線的累計照射量。通過使得可以這樣檢測放射線的累計噪聲量，放射線檢測像素 20B可以用作用于檢測放射線的噪聲量的傳感器(AEC)。而且，上述示例性實施方式描述了在放射線檢測等待狀態(tài)期間執(zhí)行與待機狀態(tài)相同的復(fù)位操作的情況。然而，本發(fā)明不限于此。例如，如圖27所示，在放射線檢測等待狀態(tài)期間可以停止復(fù)位操作。而且，可以執(zhí)行復(fù)位操作，其中，在預(yù)定時段同時向所有掃描線101 輸出接通信號，并且取出分別在在放射線檢測部件10的所有像素中積蓄的電荷。盡管上述第一到第三示例性實施方式描述了分散地設(shè)置放射線檢測像素20B的情況下，但本發(fā)明不限于此。例如，可以按特定范圍分別地密集設(shè)置多個像素20B。例如，當利用放射線檢測像素20B對放射線的照射開始或放射線的照射結(jié)束執(zhí)行檢測時，該特定范圍優(yōu)選為處于主要設(shè)置被檢查者的區(qū)域的附近。當利用放射線檢測像素20B執(zhí)行對放射線的照射量的檢測時，該特定范圍優(yōu)選為主要設(shè)置被檢查者的區(qū)域。在一般圖像拍攝中，檢測區(qū)域的中央部分是主要設(shè)置被檢查者的區(qū)域。在乳房X射線照相術(shù)(mammography)中，檢測區(qū)域的朝向病人側(cè)的一個端部是主要設(shè)置被檢查者的區(qū)域。注意，為了在控制部106處執(zhí)行插入放射線檢測像素20B的圖像信息的插值化處理，優(yōu)選的是，放射線檢測像素20B彼此不相鄰，并且，例如，放射線檢測像素20B可以彼此相對地對角設(shè)置。上述的各示例性實施方式描述了將分別流過連接有放射線檢測像素20B的信號線3(D6信號線3)的電信號和流過未連接有放射線檢測像素20B的信號線3(D7信號線3) 的電信號轉(zhuǎn)換成數(shù)字數(shù)據(jù)，并且通過從D6信號線3的轉(zhuǎn)換的數(shù)字數(shù)據(jù)的值中減去D7信號線3的轉(zhuǎn)換的數(shù)字數(shù)據(jù)的值來抵消與噪聲量相對應(yīng)的值的情況。然而，本發(fā)明不限于此。例如，如圖觀所示，可以利用差分放大器來確定分別流過連接有放射線檢測像素20B的信號線3(D6信號線3)的電信號和流過未連接有放射線檢測像素20B的信號線3(D7信號線3)的電信號的差異，并且可以作為模擬信號來抵消噪聲量。在這種情況下，能夠?qū)碜圆罘址糯笃鞯谋硎玖鬟^連接有放射線檢測像素20B的信號線的電信號與流過未連接有放射線檢測像素20B的信號線3的電信號之間的差異的輸出信號轉(zhuǎn)換成數(shù)字數(shù)據(jù)，并且對轉(zhuǎn)換的數(shù)字數(shù)據(jù)的值與預(yù)定的放射線感測用閾值進行比較，并且開始放射線的照射。而且，盡管上述示例性實施方式描述了將本發(fā)明應(yīng)用于間接轉(zhuǎn)換型放射線檢測部件10的情況，但本發(fā)明可以應(yīng)用于直接將半導(dǎo)體層處的放射線轉(zhuǎn)換成電荷并積蓄電荷的直接轉(zhuǎn)換型放射線檢測部件。在這種情況下，直接轉(zhuǎn)換型傳感器部由于照射的放射線而生成電荷。而且，盡管上述各示例性實施方式描述了將本發(fā)明應(yīng)用于通過檢測X射線來檢測圖像的放射線圖像拍攝裝置100的情況，但本發(fā)明不限于此。作為檢測目標的放射線例如可以是X射線、可見光、紫外線、紅外線、伽瑪射線、粒子束等中的任一種。在上述各示例性實施方式中描述的放射線圖像拍攝裝置100的構(gòu)造和放射線檢測部件10的構(gòu)造是示例，當然，可以在本發(fā)明要點的范圍內(nèi)進行恰當?shù)母淖儭?br> 權(quán)利要求
1.一種放射線圖像拍攝裝置，該放射線圖像拍攝裝置包括絕緣基板，在該絕緣基板處設(shè)置有放射線檢測用傳感器部，它們因接收的放射線或從放射線轉(zhuǎn)換成的光而生成電荷；第一布線，它們連接至所述放射線檢測用傳感器部，并且與在所述放射線檢測用傳感器部處生成的電荷相對應(yīng)的電信號流過所述第一布線；以及第二布線，它們具有與所述第一布線大致相同的布線圖案；以及檢測部，其基于流過所述第一布線的電信號與流過所述第二布線的電信號之間的差異，或者基于通過分別數(shù)字轉(zhuǎn)換流過所述第一布線的電信號和流過所述第二布線的電信號而獲得的數(shù)字數(shù)據(jù)的值之間的差異，來檢測放射線。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的放射線圖像拍攝裝置，其中，在所述絕緣基板處，還設(shè)置有多條掃描線，它們平行地設(shè)置；多條信號線，它們平行地設(shè)置并且與所述多條掃描線交叉，以及多個像素，它們設(shè)置在所述多條掃描線與所述多條信號線的交叉部，并且所述多個像素具有傳感器部，這些傳感器部由于被放射線照射或被從放射線轉(zhuǎn)換成的光照射而生成電荷，并且其中，所述多個像素中的一些像素的所述傳感器部充當所述放射線檢測用傳感器部。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的放射線圖像拍攝裝置，其中，在具有所述放射線檢測用傳感器部的像素處，所述放射線檢測用傳感器部電連接至所述信號線，并且與在所述放射線檢測用傳感器部處生成的電荷相對應(yīng)的電信號流到所述信號線，并且其中，其它像素包括根據(jù)流過所述掃描線的控制信號的狀態(tài)而接通和斷開的開關(guān)元件，并且在所述其它像素處，所述傳感器部經(jīng)由所述開關(guān)元件電連接至所述信號線，并且與在所述傳感器部處生成的電荷相對應(yīng)的電信號根據(jù)所述控制信號的狀態(tài)而流到所述信號線，并且連接有具有所述放射線檢測用傳感器部的所述像素的那些信號線充當所述第一布線，并且未連接有具有所述放射線檢測用傳感器部的所述像素的那些信號線、或者具有所述放射線檢測用傳感器部的所述像素的連接數(shù)量小于所述第一布線的那些信號線充當所述第二布線。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的放射線圖像拍攝裝置，該放射線圖像拍攝裝置還包括多個信號檢測電路，每一個信號檢測電路都連接有所述多條信號線中的預(yù)定數(shù)量條信號線，并且所述多個信號檢測電路檢測流到各信號線的電信號，其中，與充當所述第一布線的所述信號線連接至同一個信號檢測電路并且未連接有具有所述放射線檢測用傳感器部的所述像素的那些信號線、或者具有所述放射線檢測用傳感器部的所述像素的連接數(shù)量小于所述第一布線的那些信號線充當所述第二布線。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的放射線圖像拍攝裝置，其中，與充當所述第一布線的所述信號線相鄰且未連接有具有所述放射線檢測用傳感器部的所述像素的那些信號線、或者具有所述放射線檢測用傳感器部的所述像素的連接數(shù)量小于所述第一布線的那些信號線充當所述第二布線。
6 根據(jù)權(quán)利要求3所述的放射線圖像拍攝裝置，其中，未連接有具有所述放射線檢測用傳感器部的所述像素的兩條或更多條信號線、或者具有所述放射線檢測用傳感器部的所述像素的連接數(shù)量小于所述第一布線的兩條或更多條信號線充當所述第二布線，并且其中，所述檢測部分別數(shù)字轉(zhuǎn)換流過充當所述第一布線的所述信號線的電信號和流過充當所述第二布線的所述兩條或更多條信號線的電信號，并且基于充當所述第一布線的所述信號線的數(shù)字數(shù)據(jù)的值與充當所述第二布線的所述兩條或更多條信號線的數(shù)字數(shù)據(jù)的平均值之間的差異來檢測放射線。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的放射線圖像拍攝裝置，其中，具有所述放射線檢測用傳感器部的所述像素還包括短接的開關(guān)元件，并且所述放射線檢測用傳感器部經(jīng)由這些短接的開關(guān)元件電連接至所述信號線。
8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的放射線圖像拍攝裝置，其中，第二掃描線與所述掃描線分離地設(shè)置在所述絕緣基板處，并且具有所述放射線檢測用傳感器部的所述像素包括根據(jù)流過所述第二掃描線的控制信號的狀態(tài)而接通和斷開的第二開關(guān)元件，并且所述放射線檢測用傳感器部經(jīng)由這些第二開關(guān)元件電連接至所述信號線。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的放射線圖像拍攝裝置，其中，包括所述放射線檢測用傳感器部的多個所述像素與所述多條信號線中的一些信號線相對應(yīng)地按照一個或更多個像素的間隔分別地設(shè)置。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的放射線圖像拍攝裝置，其中，在所述絕緣基板處，還設(shè)置有多條掃描線，它們平行地設(shè)置，多條信號線，它們平行地設(shè)置并且與所述掃描線交叉，以及多個像素，它們設(shè)置在所述掃描線與所述信號線的交叉部，并且所述多個像素具有傳感器部，這些傳感器部由于受到放射線照射或受到從放射線轉(zhuǎn)換成的光照射而生成電荷， 并且其中，所述放射線檢測用傳感器部、所述第一布線以及所述第二布線設(shè)置在設(shè)置有所述多個像素的區(qū)域的外圍。
11.根據(jù)權(quán)利要求2所述的放射線圖像拍攝裝置，其中，所述檢測部檢測放射線的照射開始，并且所述放射線圖像拍攝裝置還包括控制信號輸出部，其向所述多條掃描線輸出所述控制信號；以及控制部，在待機期間，所述控制部控制所述控制信號輸出部，使得反復(fù)執(zhí)行復(fù)位操作， 在所述復(fù)位操作中，向所述多條掃描線輸出執(zhí)行提取電荷的控制信號并從所述多個像素取出電荷，并且在放射線圖像拍攝期間，當所述檢測部檢測到放射線的照射開始時，所述控制部控制所述控制信號輸出部，使得向所述多條掃描線輸出禁止提取電荷的控制信號，并且在放射線的照射結(jié)束之后，向所述多條掃描線輸出執(zhí)行提取電荷的控制信號。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的放射線圖像拍攝裝置，其中，在所述放射線圖像拍攝期間， 所述控制部控制所述控制信號輸出部，使得反復(fù)執(zhí)行所述復(fù)位操作，直到所述檢測部檢測到放射線的照射開始為止。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的放射線圖像拍攝裝置，其中，在所述放射線圖像拍攝期間， 所述控制部控制所述控制信號輸出部，使得向所述多條掃描線輸出禁止提取電荷的控制信號，直到所述檢測部檢測到放射線的照射開始為止。
14.根據(jù)權(quán)利要求2所述的放射線圖像拍攝裝置，其中，在執(zhí)行所述復(fù)位操作時，所述控制信號輸出部依次向所述多條掃描線輸出執(zhí)行提取電荷的控制信號，或者同時向全部所述多條掃描線輸出執(zhí)行提取電荷的控制信號。
全文摘要
本發(fā)明涉及放射線圖像拍攝裝置。提供了一種放射線圖像拍攝裝置，該放射線圖像拍攝裝置在絕緣基板處設(shè)置有放射線檢測用傳感器部，它們因受到放射線照射或受到從放射線轉(zhuǎn)換成的光照射而生成電荷；第一信號線，它們連接至放射線檢測用傳感器部，并且與在放射線檢測用傳感器部處生成的電荷相對應(yīng)的電信號流過這些第一信號線；以及第二信號線，它們具有和第一信號線大致相同的布線圖案?；诹鬟^第一信號線的電信號與流過第二信號線的電信號之間的差異，或者基于通過分別數(shù)字轉(zhuǎn)換流過第一信號線的電信號和流過第二信號線的電信號而獲得的數(shù)字數(shù)據(jù)的值之間的差異，執(zhí)行放射線檢測。
文檔編號H04N5/30GK102387322SQ20111021643
公開日2012年3月21日 申請日期2011年7月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月31日
發(fā)明者岡田美廣 申請人:富士膠片株式會社