專利名稱：振蕩裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及例如超聲振蕩器之類的振蕩裝置。更具體而言，本發(fā)明涉及可應(yīng)用于超聲焊接機(jī)的超聲振蕩器。
背景技術(shù)：
如在日本專利申請(qǐng)公開No.2001-340809中所公開的，超聲振蕩器是公知的。超聲振蕩器利用直接數(shù)字合成器(DSS)來產(chǎn)生波形信號(hào)。數(shù)字鎖相環(huán)(PLL)電路連接到直接數(shù)字合成器。即使共振頻率在變化，此結(jié)構(gòu)允許從直接數(shù)字合成器輸出的驅(qū)動(dòng)信號(hào)跟隨換能器的共振頻率中的變化?？梢砸源朔绞骄S持換能器的振蕩。鎖相環(huán)電路更大的增益能夠使驅(qū)動(dòng)信號(hào)快速響應(yīng)于共振頻率中的變化。
在電路芯片安裝的技術(shù)領(lǐng)域中所謂的超聲焊接機(jī)是公知的。鎖相環(huán)電路連接到在超聲焊接機(jī)中的所謂超聲頭的換能器。如果鎖相環(huán)電路的增益過分地大，那么超聲頭不能跟隨頻率中的變化，使得超聲頭的動(dòng)作被擾亂。在另一方面，鎖相環(huán)電路的增益變小，那么用于超聲頭的驅(qū)動(dòng)頻率不能在短時(shí)間段內(nèi)達(dá)到目標(biāo)共振頻率。因此不能提升用于超聲頭的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。

發(fā)明內(nèi)容
因此本發(fā)明的目的是提供一種有助于實(shí)現(xiàn)施加到超聲頭的更高的驅(qū)動(dòng)頻率的振蕩裝置。
根據(jù)本發(fā)明，提供了一種振蕩裝置，包括換能器；連接到換能器的驅(qū)動(dòng)器，所述驅(qū)動(dòng)器基于指定波形的存儲(chǔ)數(shù)據(jù)產(chǎn)生波形信號(hào)，以將波形信號(hào)輸出到換能器；檢測(cè)器，其被設(shè)計(jì)為檢測(cè)供應(yīng)到換能器的電壓和電流之間的相位差；保存反映換能器特性的增益數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)器單元，所述增益數(shù)據(jù)指定了對(duì)應(yīng)于各個(gè)相位差的增益；以及算術(shù)單元，其被設(shè)計(jì)為基于在檢測(cè)器處檢測(cè)的相位差和包括在增益數(shù)據(jù)中的增益計(jì)算波形的頻率。
振蕩裝置能夠在考慮換能器特性的情況下，確定適合于換能器的增益。允許波形信號(hào)的頻率在較短的時(shí)間段內(nèi)跟隨共振頻率中的變化而變化。這樣可以良好地保持振蕩。確定最大增益導(dǎo)致更高頻率的波形信號(hào)的實(shí)現(xiàn)。例如，如果在超聲焊接機(jī)中采用所述振蕩裝置，那么允許超聲頭享有更高頻率的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。
所述振蕩裝置還可以包括被設(shè)計(jì)為更新存儲(chǔ)器單元中的增益數(shù)據(jù)的處理單元。可以考慮到所述類型的振蕩裝置的所需共振頻率，來設(shè)置合適的增益。
另外，所述振蕩裝置可以允許采用螺栓夾持的朗之萬型換能器作為換能器。可以利用夾具的夾緊力以在螺栓夾持的朗之萬型換能器中設(shè)置共振頻率?？梢愿鶕?jù)設(shè)置頻率設(shè)置所存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)。


通過結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的以下說明，本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)將變得更加清楚，其中圖1是示意性地圖示超聲焊接機(jī)的整個(gè)結(jié)構(gòu)的立體圖；圖2是示意性地圖示超聲焊接機(jī)的控制系統(tǒng)的框圖；和圖3是示意性地圖示振蕩器結(jié)構(gòu)的框圖。
具體實(shí)施例方式
圖1根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，示意性地圖示了超聲焊接機(jī)11。超聲焊接機(jī)11包括工作臺(tái)12，其界定了沿著預(yù)定的水平平面的上平面。允許工作臺(tái)12在水平平面內(nèi)移動(dòng)。超聲頭13相對(duì)于工作臺(tái)12的上平面。
這里，在超聲焊接機(jī)11中建立xyz坐標(biāo)系統(tǒng)。xyz坐標(biāo)系統(tǒng)的y軸沿垂直于工作臺(tái)12的上平面，即垂直于水平平面的方向延伸。工作臺(tái)12定位在基于xyz坐標(biāo)系統(tǒng)的x軸和z軸的水平平面內(nèi)。以此方式可以確定在超聲頭13和工作臺(tái)12之間沿著水平平面的相對(duì)位置。
壓力裝置14連接到超聲頭13。壓力裝置14包括支撐軸15，其用于在頂端或下端處支撐超聲頭13。支撐軸15具有平行于xyz坐標(biāo)系統(tǒng)的y軸的縱軸。例如，支撐軸15可以由金屬材料制成。采用第一導(dǎo)軌16以支撐支撐軸15在垂直方向上兩者之間的相對(duì)移動(dòng)。
例如，第一導(dǎo)軌16是所謂非接觸導(dǎo)軌。非接觸導(dǎo)軌被設(shè)計(jì)為從至少一對(duì)方向上向支撐軸15的外圍表面施加預(yù)定的力。預(yù)定的力可以是包括例如基于原子的磁力、基于例如空氣的流體的靜壓力、等等之類的力。這里，第一導(dǎo)軌16采用基于空氣的靜壓力。
可移動(dòng)構(gòu)件17耦合到支撐軸15。這里，可移動(dòng)構(gòu)件17包括一對(duì)導(dǎo)軌軸18。單個(gè)的導(dǎo)軌軸18具有平行于xyz坐標(biāo)系統(tǒng)的y軸的縱軸。例如，導(dǎo)軌軸18可以由金屬材料制成。采用第二導(dǎo)軌19以分別支撐導(dǎo)軌軸18在垂直方向上兩者之間的相對(duì)移動(dòng)。第二導(dǎo)軌19同樣的是所謂非接觸導(dǎo)軌。第一導(dǎo)軌16和第二導(dǎo)軌19可以固定到共同的支撐構(gòu)件21。即使在可移動(dòng)構(gòu)件17的移動(dòng)期間，支撐構(gòu)件21也保持靜止。
驅(qū)動(dòng)源或音圈馬達(dá)22連接到可移動(dòng)構(gòu)件17。音圈馬達(dá)22包括例如對(duì)于可移動(dòng)構(gòu)件17相對(duì)固定的柱形永磁體22a。圓筒線圈22b固定到支撐構(gòu)件21。線圈22b被設(shè)計(jì)為圍繞永磁體22a的外圓柱表面。當(dāng)向線圈22b供應(yīng)電流時(shí)，可移動(dòng)構(gòu)件17和支撐軸15被驅(qū)動(dòng)以在y軸的方向上移動(dòng)。
力傳感器23置于支撐軸15和可移動(dòng)構(gòu)件17之間。力傳感器23被設(shè)計(jì)為檢測(cè)從可移動(dòng)構(gòu)件17沿y軸方向作用在支撐軸15上的力或載荷。載荷對(duì)應(yīng)于從超聲頭13傳輸?shù)焦ぷ髋_(tái)12的壓力。例如，可以采用測(cè)壓元件、壓電元件、等等作為力傳感器23。
圖像捕捉裝置24與工作臺(tái)12和壓力裝置14相關(guān)。圖像捕捉裝置24支撐在基座25上用于在水平方向上的移動(dòng)。圖像捕捉裝置24包括設(shè)計(jì)為捕捉圖像的照相單元26。當(dāng)圖像捕捉裝置24在水平方向上移動(dòng)時(shí)，照相單元26定位在超聲頭13和工作臺(tái)12之間的空間中。這樣照相單元26用來同時(shí)捕捉超聲頭13的圖像和工作臺(tái)12的上平面的圖像。
如圖2所示，超聲焊接機(jī)11包括主控制器電路31。主控制器電路31被設(shè)計(jì)為根據(jù)預(yù)定的軟件程序控制超聲焊接機(jī)11的操作。超聲振蕩器32連接到主控制器電路31。超聲振蕩器32用來控制超聲頭13的振蕩。超聲振蕩器32將在以后詳細(xì)描述。
壓力裝置控制電路33連接到主控制器電路31。壓力裝置控制電路33被設(shè)計(jì)為將電流供應(yīng)給線圈22b。響應(yīng)于電流的供應(yīng)，控制可移動(dòng)構(gòu)件17的垂直移動(dòng)。
力傳感器23連接到壓力裝置控制電路33。壓力裝置控制電路33基于從力傳感器23輸出的電信號(hào)，控制到音圈馬達(dá)22的線圈22b的電流供應(yīng)。以此方式將支撐軸15的載荷維持在設(shè)置值?；趤碜粤鞲衅?3的輸出可以在壓力裝置控制電路33中實(shí)現(xiàn)伺服控制。
圖像處理電路34連接到主控制器電路31。圖像處理電路34被設(shè)計(jì)為將預(yù)定的控制信號(hào)供應(yīng)給照相單元26。照相單元26被設(shè)計(jì)為響應(yīng)于控制信號(hào)的供應(yīng)捕捉圖像。圖像處理電路34分析從照相單元26輸出的圖像。預(yù)定的控制信號(hào)可以從主控制器電路31供應(yīng)到圖像處理電路34，以實(shí)現(xiàn)來自圖像處理電路34的控制信號(hào)的供應(yīng)。
圖像捕捉裝置驅(qū)動(dòng)電路35連接到主控制器電路31。例如，圖像捕捉裝置驅(qū)動(dòng)電路35被設(shè)計(jì)為將預(yù)定的電信號(hào)供應(yīng)到結(jié)合在圖像捕捉裝置24內(nèi)的電動(dòng)馬達(dá)。預(yù)定的控制信號(hào)可以從主控制器電路31供應(yīng)到圖像捕捉裝置驅(qū)動(dòng)電路35以實(shí)現(xiàn)電信號(hào)的供應(yīng)。允許圖像捕捉裝置24基于所供應(yīng)的電信號(hào)在水平方向上移動(dòng)。
工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)電路36連接到主控制器電路31。例如，工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)電路36被設(shè)計(jì)為將預(yù)定的電信號(hào)供應(yīng)到結(jié)合在工作臺(tái)12內(nèi)的電動(dòng)馬達(dá)。預(yù)定的控制信號(hào)可以從主控制器電路31供應(yīng)到工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)電路36以實(shí)現(xiàn)電信號(hào)的供應(yīng)。允許工作臺(tái)12基于所供應(yīng)的電信號(hào)在水平方向上移動(dòng)。
將關(guān)于超聲焊接機(jī)11的操作進(jìn)行簡(jiǎn)述。印刷電路板放置在工作臺(tái)12的上平面上。電路芯片夾持在超聲頭13上。球塊布置在芯片的下表面上。導(dǎo)電墊以與球塊一致的陣列同樣地布置在印刷電路板的上表面上。例如，球塊和導(dǎo)電墊可以由例如銅的導(dǎo)電材料制成。定位標(biāo)記印刷在芯片的下表面上。定位標(biāo)記同樣地印刷在印刷電路板的上表面上以識(shí)別芯片的期望位置。
驅(qū)動(dòng)照相單元26以在超聲頭13和工作臺(tái)12之間的空間中移動(dòng)。照相單元26定位在芯片和印刷電路板之間。圖像捕捉裝置驅(qū)動(dòng)電路35基于從主控制器電路31供應(yīng)的控制信號(hào)輸出預(yù)定的電信號(hào)。
當(dāng)照相單元26已被定位時(shí)，促使照相單元26響應(yīng)于來自圖像處理電路34的控制信號(hào)的供應(yīng)捕捉圖像。照相單元26同時(shí)捕捉印刷電路板和芯片的圖像。圖像數(shù)據(jù)接著被供應(yīng)到圖像處理電路34。圖像處理電路34接著分析供應(yīng)的圖像數(shù)據(jù)。這樣圖像處理電路34基于圖像數(shù)據(jù)的分析檢測(cè)在芯片和印刷電路板上的定位標(biāo)記?？梢砸源朔绞皆趚yz坐標(biāo)系統(tǒng)內(nèi)識(shí)別印刷電路板和芯片的位置。
接著印刷電路板相對(duì)于芯片定位。工作臺(tái)12被驅(qū)動(dòng)以在水平方向移動(dòng)以對(duì)準(zhǔn)工作臺(tái)12。工作臺(tái)驅(qū)動(dòng)電路36基于來自主控制器電路31的控制信號(hào)輸出電信號(hào)。主控制器電路31基于來自圖像處理電路34的輸出產(chǎn)生控制信號(hào)。
當(dāng)印刷電路板已經(jīng)與芯片對(duì)準(zhǔn)時(shí)，超聲頭13被降低。在對(duì)應(yīng)的導(dǎo)電墊上接收球塊。超聲頭13用來將芯片推靠在印刷電路板上。在此情況中音圈馬達(dá)22的線圈22b從壓力裝置控制電路33接收電信號(hào)。壓力裝置控制電路33用來保持推力恒定。
在超聲頭13被推靠工作臺(tái)12的上平面的同時(shí)，超聲振蕩器32感應(yīng)產(chǎn)生超聲頭13的超聲振動(dòng)。使得芯片相對(duì)于印刷電路板在水平方向上以微小的振幅移動(dòng)。超聲能量允許交換的金屬原子在球塊和導(dǎo)電墊之間的接觸點(diǎn)處擴(kuò)散到球塊和導(dǎo)電墊中。以此方式球塊被焊接到對(duì)應(yīng)的導(dǎo)電墊。
接下來，將關(guān)于超聲振蕩器32的結(jié)構(gòu)進(jìn)行描述。如圖3所示，例如，超聲振蕩器32包括結(jié)合在超聲頭13內(nèi)的換能器37。例如，采用螺栓夾持的朗之萬型換能器(BLT)作為換能器37。如傳統(tǒng)公知的，螺栓夾持的朗之萬型換能器包括分層的壓電元件。螺栓用于夾住壓電元件。
直接數(shù)字合成器(DDS)38連接到換能器37。直接數(shù)字合成器用作本發(fā)明的驅(qū)動(dòng)器。直接數(shù)字合成器38被設(shè)計(jì)為例如基于查找表(未示出)輸出諸如正弦波信號(hào)的波形信號(hào)。當(dāng)波形信號(hào)的頻率與換能器37的共振頻率相一致時(shí)，換能器37振蕩。波形信號(hào)，即驅(qū)動(dòng)信號(hào)在低通濾波器(LPF)39處調(diào)整后在放大器41處被放大。在放大后，驅(qū)動(dòng)信號(hào)被輸入到換能器37中。
數(shù)字鎖相環(huán)電路42連接到直接數(shù)字合成器38。數(shù)字鎖相環(huán)電路42包括電壓相位檢測(cè)器43和電流相位檢測(cè)器44。電壓相位檢測(cè)器43被設(shè)計(jì)為從換能器37的驅(qū)動(dòng)信號(hào)中檢測(cè)電壓相位。電流相位檢測(cè)器44同樣地被設(shè)計(jì)為從換能器37的驅(qū)動(dòng)信號(hào)中檢測(cè)電流相位。如果驅(qū)動(dòng)信號(hào)的頻率與換能器37的共振頻率相一致，那么電壓的相位與電流的相位相一致。這樣消除了在電壓相位和電流相位之間的相位差。
數(shù)字相位差檢測(cè)電路45連接到電壓相位檢測(cè)器43和電流相位檢測(cè)器44。數(shù)字相位差檢測(cè)電路45被設(shè)計(jì)為基于來自電壓相位檢測(cè)器43和電流相位檢測(cè)器44的輸出計(jì)算在電壓相位和電流相位之間的相位差。數(shù)字相位偏移量判斷電路46用來修改在數(shù)字相位差檢測(cè)電路45處計(jì)算的相位差。數(shù)字相位偏移量判斷電路46被設(shè)計(jì)為基于預(yù)定的相位偏移量來修改相位差。例如，相位偏移的量對(duì)電壓相位檢測(cè)器43和電流相位檢測(cè)器44被設(shè)置為唯一的。
增益表RAM 47連接到數(shù)字相位差檢測(cè)器46。增益表RAM 47在單獨(dú)的地址處存有增益數(shù)據(jù)。增益數(shù)據(jù)表示鎖相環(huán)電路42的環(huán)路增益。環(huán)路增益的幅值取決于相位差的量。當(dāng)基于相位差指定地址時(shí)，從增益表RAM 47輸出對(duì)應(yīng)的增益數(shù)據(jù)。以此方式增益數(shù)據(jù)RAM 47充當(dāng)所謂的查找表。
頻率設(shè)置電路48連接到增益表RAM 47。頻率設(shè)置電路48被設(shè)計(jì)為基于從增益表RAM 47輸出的增益數(shù)據(jù)計(jì)算換能器37的驅(qū)動(dòng)頻率。頻率設(shè)置電路48將增益數(shù)據(jù)加到電流頻率。以此方式確定目標(biāo)驅(qū)動(dòng)頻率。確定的目標(biāo)驅(qū)動(dòng)頻率供應(yīng)到直接數(shù)字合成器38。以此方式改變從直接數(shù)字合成器38輸出的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的頻率。
零交叉檢測(cè)電路49連接到頻率設(shè)置電路48。零交叉檢測(cè)電路49檢測(cè)驅(qū)動(dòng)信號(hào)零交叉的位置。零交叉的檢測(cè)時(shí)刻被報(bào)告給頻率設(shè)置電路48。
中央處理單元(CPU)51連接到數(shù)字相位偏移量判斷電路46、增益表RAM 47和頻率設(shè)置電路48。中央處理單元51將相位偏移量供應(yīng)到數(shù)字相位偏移量判斷電路46。允許中央處理單元51更新存儲(chǔ)在增益表RAM47中的增益數(shù)據(jù)。例如，為每個(gè)超聲頭13或每種超聲頭13準(zhǔn)備增益數(shù)據(jù)。中央處理單51將基準(zhǔn)頻率供應(yīng)到頻率設(shè)置電路48?；鶞?zhǔn)頻率對(duì)應(yīng)于驅(qū)動(dòng)信號(hào)的初始值。直接數(shù)字合成器38基于基準(zhǔn)頻率開始產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)信號(hào)。
現(xiàn)在，假設(shè)換能器37被驅(qū)動(dòng)以振蕩。中央處理單元51預(yù)先將基準(zhǔn)頻率供應(yīng)到頻率設(shè)置電路48。頻率設(shè)置電路48將基準(zhǔn)頻率報(bào)告給直接數(shù)字合成器38。這樣直接數(shù)字合成器38基于基準(zhǔn)頻率產(chǎn)生波形信號(hào)。所產(chǎn)生的波形信號(hào)，即驅(qū)動(dòng)信號(hào)，被供應(yīng)到換能器37。換能器37以驅(qū)動(dòng)信號(hào)的頻率振蕩。基準(zhǔn)頻率對(duì)應(yīng)于超聲頭13的共振頻率，從而使得超聲頭13振蕩。
當(dāng)夾持在超聲頭13上的芯片與印刷電路板接觸時(shí)，超聲頭13的共振頻率改變。此改變產(chǎn)生了在驅(qū)動(dòng)信號(hào)中的電壓相位和電流相位之間的相位差。數(shù)字相位差檢測(cè)電路45檢測(cè)相位差。利用檢測(cè)到的相位差來指定增益表RAM 47的地址。從指定的地址提取環(huán)路增益。頻率設(shè)置電路48將提取的環(huán)路增益的頻率加到當(dāng)前頻率。以此方式計(jì)算目標(biāo)驅(qū)動(dòng)頻率。
當(dāng)已經(jīng)計(jì)算目標(biāo)驅(qū)動(dòng)頻率時(shí)，頻率設(shè)置電路48為直接數(shù)字合成器38設(shè)置新的驅(qū)動(dòng)頻率。這里，頻率設(shè)置電路48檢測(cè)零交叉的點(diǎn)并同時(shí)設(shè)置驅(qū)動(dòng)頻率。從零交叉檢測(cè)電路49中報(bào)告零交叉點(diǎn)。在零交叉后立即改變波形信號(hào)的頻率。換能器以新的頻率振蕩。重復(fù)這些操作使得換能器的振動(dòng)頻率跟隨超聲頭13的共振頻率的變化而變化。超聲頭13保持振蕩。在超聲頭13處，振蕩的幅值保持恒定。
較大的環(huán)路增益幫助驅(qū)動(dòng)信號(hào)更快的響應(yīng)于共振頻率中的變化。這樣超聲頭13的振蕩在更短的時(shí)間段內(nèi)變得穩(wěn)定。在另一方面，如果環(huán)路增益過分地大，那么超聲頭13不能跟隨頻率的變化。超聲頭13被擾亂。超聲頭13不能被很好的控制。如果環(huán)路增益較小，那么超聲頭13的驅(qū)動(dòng)頻率不能在短時(shí)間段內(nèi)達(dá)到目標(biāo)頻率。在此情況中，不能提升超聲頭13的驅(qū)動(dòng)頻率。在增益表RAM 47中優(yōu)選地設(shè)置較大的環(huán)路增益。這樣可以提升超聲頭13的驅(qū)動(dòng)頻率。
現(xiàn)在，假設(shè)超聲頭13給更換為一個(gè)新的。中央處理單元51為新的超聲頭13選擇最合適的環(huán)路增益。所選擇的環(huán)路增益在各個(gè)相位差的預(yù)定地址處被寫入增益表RAM 47。以此方式更新增益表RAM 47?；诟碌脑鲆姹鞷AM 47實(shí)現(xiàn)前述處理。結(jié)果，良好地保持了超聲頭13的振蕩。超聲頭13的振蕩的幅值保持恒定。如果為所有超聲頭13設(shè)置了共同的環(huán)路增益，則環(huán)路增益必須采用最小值。因此，不能提高超聲頭13的共振頻率。也不能提升驅(qū)動(dòng)頻率。
為每個(gè)超聲頭13準(zhǔn)備環(huán)路增益。當(dāng)環(huán)路增益被確定時(shí)，驅(qū)動(dòng)頻率被供應(yīng)到超聲頭13用于實(shí)現(xiàn)預(yù)定的幅值。驅(qū)動(dòng)頻率由電流的直流成分組成。預(yù)定頻率的交流成分疊加在直流成分上。應(yīng)該觀測(cè)超聲頭13的振蕩是否跟隨交流成分變化。只要超聲頭13的振蕩跟隨交流成分變化，那么交流成分的頻率就可以被確定為環(huán)路增益。此觀測(cè)為每個(gè)超聲頭13揭示了環(huán)路增益設(shè)置。
例如，中央處理單元51可以基于線性函數(shù)、二次函數(shù)等來計(jì)算環(huán)路增益。在此情況中，可以在相位差和環(huán)路增益之間設(shè)置預(yù)定系數(shù)。系數(shù)的增大導(dǎo)致環(huán)路增益的增大。這樣，允許中央處理單元51為各個(gè)超聲頭13在環(huán)路增益的計(jì)算中使用最大的系數(shù)。
權(quán)利要求
1.一種振蕩裝置，包括換能器；連接到所述換能器的驅(qū)動(dòng)器，所述驅(qū)動(dòng)器基于指定波形的存儲(chǔ)數(shù)據(jù)產(chǎn)生波形信號(hào)，以將所述波形信號(hào)輸出到所述換能器；檢測(cè)器，其被設(shè)計(jì)為檢測(cè)供應(yīng)到所述換能器的電壓和電流之間的相位差；保存反映所述換能器特性的增益數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)器單元，所述增益數(shù)據(jù)指定了對(duì)應(yīng)于各個(gè)相位差的增益；以及算術(shù)單元，其被設(shè)計(jì)為基于在所述檢測(cè)器處檢測(cè)的相位差和包括在所述增益數(shù)據(jù)中的增益，來計(jì)算所述波形的頻率。
2.如權(quán)利要求1所述的振蕩裝置，還包括被設(shè)計(jì)為更新所述存儲(chǔ)器單元中的所述增益數(shù)據(jù)的處理單元。
3.如權(quán)利要求1所述的振蕩裝置，其中所述換能器包括螺栓夾持的朗之萬型換能器。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種包括驅(qū)動(dòng)器的振蕩裝置，所述驅(qū)動(dòng)器基于指定波形的存儲(chǔ)數(shù)據(jù)產(chǎn)生波形信號(hào)，以將波形信號(hào)輸出到換能器。檢測(cè)器檢測(cè)供應(yīng)到換能器的電壓和電流之間的相位差。存儲(chǔ)器單元保存反映換能器特性的增益數(shù)據(jù)。增益數(shù)據(jù)指定了對(duì)應(yīng)于各個(gè)相位差的增益。算術(shù)單元基于在檢測(cè)器處檢測(cè)的相位差和包括在增益數(shù)據(jù)中的增益，來計(jì)算波形的頻率。振蕩裝置能夠在考慮換能器特性的情況下，確定適合于換能器的增益。允許波形信號(hào)的頻率在較短的時(shí)間段內(nèi)跟隨共振頻率中的變化而變化。這樣可以良好地保持振蕩。
文檔編號(hào)B06B3/00GK1833786SQ200510087399
公開日2006年9月20日 申請(qǐng)日期2005年7月29日 優(yōu)先權(quán)日2005年3月15日
發(fā)明者春日俊則, 尾崎行雄 申請(qǐng)人:富士通株式會(huì)社