專利名稱：電極間距調(diào)整裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種太陽能電池生產(chǎn)中的沉積設(shè)備，具體的說是一種方
便改變等離子體化學(xué)氣相沉積(PECVD)中的電極間距，調(diào)整沉積速率的電
極間距調(diào)整裝置。
背景技術(shù)：
等離子體化學(xué)氣相沉積(PECVD)是非晶硅薄膜太陽能電池制備中主要 設(shè)備，太陽能電池的生產(chǎn)是向PECVD真空室中通入反應(yīng)氣體，將清洗后的超 白玻璃置于兩個(gè)平行電極板之間，在兩電極板上接上具有一定射頻功率的電 源，從而生產(chǎn)出太陽能電池片。其中，兩個(gè)電極板之間的距離稱為電極間距。
在太陽能電池生產(chǎn)過程中，沉積速率隨電極間距的減小而增大，不過 在電極間距小到一定值后，繼續(xù)減小電極間距離則會(huì)導(dǎo)致沉積效果不好。在 一定氣壓下存在一個(gè)最佳的電極間距，稱之為最小電極間距。在實(shí)際生產(chǎn)的 時(shí)候需要盡量使電極間距小，但又不能小于最小電極間距。
所以在生產(chǎn)的時(shí)候需要頻繁調(diào)整電極間距，找到最小電極間距。而現(xiàn) 有設(shè)備中電極被固定在設(shè)備上，調(diào)整間距的時(shí)候需要將電極拆卸下來，尋找 合適的位置再安裝上去，過程復(fù)雜，并且容易損壞電極板。急需尋找一種方 便調(diào)節(jié)電極間距的方法。 發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是要提供一種在太陽能電池片生產(chǎn)中能方便調(diào)整 PECVD電極間距的裝置。
本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的該裝置包括電極板、底座、導(dǎo)軌、固定螺絲、刻度尺，所述的電極板固定在底座上，其上帶有固定螺絲的底座設(shè) 置在導(dǎo)軌上，并可沿導(dǎo)軌上的溝槽滑動(dòng)，刻度尺設(shè)置在導(dǎo)軌的側(cè)面。
本實(shí)用新型由于采用上述結(jié)構(gòu)使得電極間距可以自由的調(diào)整，結(jié)構(gòu)簡 單，可以在生產(chǎn)中對電極間距進(jìn)行適當(dāng)調(diào)節(jié)，找到最小電極間距，保證最好 沉積效果，調(diào)整方便，并且調(diào)整之后可在刻度尺上讀取電極間距。方便進(jìn)行 讀取，并進(jìn)行記錄，尋找最小電極間距。

圖1為電極間距調(diào)整裝置整體結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為本實(shí)用新型A向投影示意圖。 圖3為本實(shí)用新型B向投影示意圖。
具體實(shí)施方式

由附圖l、 2、 3所示該裝置包括電極板l、底座2、導(dǎo)軌3、固定螺絲 4、刻度尺5，所述的電極板1固定在底座2上，其上帶有固定螺絲4的底座 2設(shè)置在導(dǎo)軌3上，并可沿導(dǎo)軌3上的溝槽6滑動(dòng)，刻度尺5設(shè)置在導(dǎo)軌3
工作過程是當(dāng)需要調(diào)節(jié)電極板l之間的距離時(shí)，由于電極板l和底座 2是連接在一起的，所以只需移動(dòng)底座2即可。松動(dòng)固定螺絲4，則底座2 可沿導(dǎo)軌3左右移動(dòng)，移動(dòng)到需要的距離時(shí)，擰緊固定螺絲4，底座2則被 固定，此時(shí)PECVD進(jìn)行工作，并檢測沉積效果。直到找出電極間距的最佳 值。并在刻度尺5上讀取此最佳距離的數(shù)值。
權(quán)利要求1、一種電極間距調(diào)整裝置，其特征在于該裝置包括電極板(1)、底座(2)、導(dǎo)軌(3)、固定螺絲(4)、刻度尺(5)，所述的電極板(1)固定在底座(2)上，其上帶有固定螺絲(4)的底座(2)設(shè)置在導(dǎo)軌(3)上，并可沿導(dǎo)軌(3)上的溝槽(6)滑動(dòng)，刻度尺(5)設(shè)置在導(dǎo)軌(3)的側(cè)面。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種太陽能電池生產(chǎn)中的沉積設(shè)備，具體地說是一種方便改變等離子體化學(xué)氣相沉積(PECVD)中的電極間距，調(diào)整沉積速率的電極間距調(diào)整裝置。該裝置包括電極板、底座、導(dǎo)軌、固定螺絲、刻度尺，所述的電極板固定在底座上，其上帶有固定螺絲的底座設(shè)置在導(dǎo)軌上，并可沿導(dǎo)軌上的溝槽滑動(dòng)，刻度尺設(shè)置在導(dǎo)軌的側(cè)面。本實(shí)用新型由于采用上述結(jié)構(gòu)使得電極間距可以自由的調(diào)整，結(jié)構(gòu)簡單，可以在生產(chǎn)中對電極間距進(jìn)行適當(dāng)調(diào)節(jié)，找到最小電極間距，保證最好沉積效果，調(diào)整方便，并且調(diào)整之后可在刻度尺上讀取電極間距。方便進(jìn)行讀取，并進(jìn)行記錄，尋找最小電極間距。
文檔編號(hào)C30B25/16GK201326029SQ200820073009
公開日2009年10月14日 申請日期2008年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月30日
發(fā)明者劉萬學(xué), 兵 張, 宇 李, 巍 王 申請人:吉林慶達(dá)新能源電力股份有限公司