專利名稱：顯示裝置、用于制造顯示裝置的裝置、以及顯示裝置的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及顯示裝置的技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
到目前為止，廣泛使用了采用有機(jī)EL (電致發(fā)光(Electro-Luminescence)) 的顯示裝置。
可是，有機(jī)EL中使用的有機(jī)材料在與水或氧接觸時(shí)，通常容易產(chǎn)生 化學(xué)變化，水或氧從大氣中進(jìn)入到顯示裝置內(nèi)部時(shí)，有機(jī)材料發(fā)生改性， 引起《光不良。
特別是，頂部發(fā)射(top emission)型的顯示裝置存在難以封裝、發(fā) 光效率降低、阻止性能的經(jīng)時(shí)劣化等問(wèn)題，所述頂部發(fā)射型的顯示裝置將 發(fā)出到與設(shè)置了有機(jī)膜側(cè)相反一側(cè)的面板的光取出到外部。
專利文獻(xiàn)l:日本特開2001-176655號(hào)ziSt艮
專利文獻(xiàn)2:日本特開2006-286211號(hào)〃>報(bào)
發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的課題
本發(fā)明是為了解決上述問(wèn)題而作成的，其目的在于提供可防止水或氧 從外部進(jìn)入，從而實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)壽命的顯示裝置。 解決問(wèn)題的方法
為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明涉及一種顯示裝置，其具有第一、第二面 板以及保護(hù)膜，所述第一、第二面板的表面互相對(duì)置地配置，所述第一面 板的表面配置具有凹部的層壓膜，層壓了下部電極、有機(jī)膜和上部電極的 發(fā)光部位于所述層壓膜的所述凹部所處的部分，所述保護(hù)膜形成在所述層 壓膜的表面，其中，所述保護(hù)膜具有填充上述凹部的填充膜、和至少形 成在位于所述填充膜表面的所述凹部部分的無(wú)機(jī)膜，所述第一面板的形成 有所述凹部的面，在填充了所述填充膜之后比填充所述填充膜之前更平 坦。
6本發(fā)明為上述顯示裝置，其中，所述無(wú)機(jī)膜的主成分為類金剛石碳和
A1N中的任一種。
本發(fā)明為上述顯示裝置，其中，所述保護(hù)膜具有形成在所述無(wú)機(jī)膜表 面的樹脂膜，所述第二面板的表面與所述第一面板的形成所述無(wú)機(jī)膜的面 密合在所述樹脂膜上。
本發(fā)明為上述顯示裝置，其中，所述各發(fā)光部位于所述第一面板邊緣 內(nèi)側(cè)的發(fā)光區(qū)域，所述填充膜的邊緣在所述發(fā)光區(qū)域的外側(cè)密合在所述第 一面板的表面，所述無(wú)機(jī)膜的邊緣在所述填充膜的邊緣外側(cè)密合在所述第 一面板的表面，所述樹脂膜的邊緣在所述無(wú)機(jī)膜的邊緣外側(cè)密合在所述第 一面板的表面。
本發(fā)明為一種用于制造顯示裝置的裝置，其具有第一、第二成膜室； 分別與所述第一、第二成膜室連接的排氣體系；配置在所述第一成膜室內(nèi) 部的印刷頭；配置填充劑、與所述印刷頭連接的的填充劑供給體系；與所 述印刷頭連接的控制體系；配置在所述第二成膜室內(nèi)部的無(wú)機(jī)膜成膜裝 置，其中，所述印刷頭將由所述填充劑供給體系供給的所述填充劑噴出到 按照所述控制體系內(nèi)的位置信息而設(shè)定的位置，在所述第一、第二成膜室 之間，可以使處理對(duì)象物從所述第一成膜室中運(yùn)送到所述第二成膜室內(nèi)， 并且不會(huì)使所述處理對(duì)象物暴露在大氣中。
本發(fā)明為上述用于制造顯示裝置的裝置，其結(jié)構(gòu)如下所述無(wú)機(jī)膜成 膜裝置具有配置在所述第二成膜室內(nèi)部的第一、第二電極，在所述第二成 膜室上，連接有向所述笫二成膜室內(nèi)部供給烴氣體的氣體導(dǎo)入體系，并且 在所述第一、第二電極間施加高頻電壓。
本發(fā)明為上述用于制造顯示裝置的裝置，其中，所述無(wú)機(jī)膜成膜裝置 具有配置在所述第二成膜室內(nèi)部的無(wú)機(jī)材料的靶，并且在所述第二成膜室 上，連接有向所述第二成膜室內(nèi)部供給濺射氣體的濺射氣體導(dǎo)入體系。
本發(fā)明為一種顯示裝置的制造方法，該方法制造如下的顯示裝置其 具有第一、第二面板以及保護(hù)膜，所迷第一、第二面板的表面互相對(duì)置地 配置，所述第一面板的表面配置具有凹部的層壓膜，層壓了下部電極、有 機(jī)膜和上部電極的發(fā)光部位于所述層壓膜的所述凹部所處的部分，所述保 護(hù)膜形成在所述層壓膜的表面，在該方法中，將形成了所述層壓膜的狀態(tài) 的所述第 一 面板送入到第 一成膜室內(nèi)部，在所述第 一成膜室的內(nèi)部形成壓 力比大氣壓低的印刷氣氛，在該狀態(tài)下，使填充劑附著在所述凹部上而形成填充膜，使所述笫 一面板的形成了所述凹部的面比形成所述填充膜之前 更平坦，然后在所述填充膜表面形成無(wú)機(jī)膜，從而形成具有所述填充膜和 所述無(wú)機(jī)膜的保護(hù)膜。
本發(fā)明為上述顯示裝置的制造方法，其中，將形成有所述填充膜的所 述第一面板i^到第二成膜室的內(nèi)部，并配置在所述第二成膜室內(nèi)部的第 一、第二電極之間，在所述第二成膜室內(nèi)部，形成含有烴氣體的反應(yīng)氣氛， 該反應(yīng)氣氛的壓力比大氣壓低、并且與所述印刷氣氛相同或者比印刷氣氛 壓力高，在該狀態(tài)下對(duì)所述第一、第二電極間施加電壓，從而在所述填充 膜表面形成含有類金剛石碳的所述無(wú)機(jī)膜。
本發(fā)明為上述顯示裝置的制造方法，其中，將形成有所述填充膜的所 述第一面板送入到第二成膜室的內(nèi)部，在所述第二成膜室內(nèi)部，形成含有 濺射氣體且壓力比所述印刷氣氛低的濺射氣氛，在該狀態(tài)下對(duì)配置在所述 第二成膜室內(nèi)部的靶進(jìn)行濺射，從而在所述填充膜表面形成所述無(wú)機(jī)膜。
本發(fā)明為上述顯示裝置的制造方法，其中，使用含有A1的物質(zhì)作為 所述靶，使所述濺射氣氛中含有化學(xué)結(jié)構(gòu)中含有氮的氮化氣體來(lái)進(jìn)行濺 射，形成含有A1N的所述無(wú)機(jī)膜。
本發(fā)明為上述顯示裝置的制造方法，其中，通過(guò)噴墨法使所述填充劑 附著在所述凹部上。
本發(fā)明為上述顯示裝置的制造方法，其中，使所述第一成膜室內(nèi)部的 氧和水的含量分別為l卯m以下而形成所述填充膜，并使所述第二成膜室 內(nèi)部的氧和水的含量分別為lppm以下而形成所述無(wú)機(jī)膜。
本發(fā)明為上述顯示裝置的制造方法，其中，在形成所述無(wú)機(jī)膜的狀態(tài) 的所述第一面板的表面形成樹脂膜，然后使所述第二面板的表面與所述第 一面板的形成了所述樹脂膜的面相對(duì)，并使所述第二面板密合在所述樹脂 膜上，在該狀態(tài)下，通過(guò)包圍在所述樹脂膜的周圍的環(huán)狀的密封構(gòu)件與所 述第一面板貼合。
本發(fā)明為上述顯示裝置的制造方法，其中，將形成了所述無(wú)機(jī)膜的所 述第一面板配置在第三成膜室內(nèi)部，在所述第三成膜室內(nèi)部形成壓力與所 述反應(yīng)氣氛相同或低于所述反應(yīng)氣氛的涂布?xì)夥?，在該狀態(tài)下在所述 機(jī) 膜的表面上涂布樹脂液，從而形成所述樹脂膜。
本發(fā)明為上述顯示裝置的制造方法，其中，在形成所述無(wú)機(jī)膜的狀態(tài) 的所述第一面板的表面形成樹脂膜，然后使所述第二面板的表面與所述第一面板的形成了所述樹脂膜的面相對(duì)，并使所述第二面板密合在所述樹脂 膜上，在該狀態(tài)下，通過(guò)包圍在所述樹脂膜的周圍的環(huán)狀的密封構(gòu)件與所 述第一面板貼合。
本發(fā)明為上述顯示裝置的制造方法，其中，將形成了所述無(wú)機(jī)膜的所 述第一面板配置在第三成膜室內(nèi)部，在所述第三成膜室內(nèi)部形成壓力低于 大氣壓且高于所述濺射氣氛的涂布?xì)夥?，在該狀態(tài)下在所述無(wú)機(jī)膜的表面 上涂布樹脂液，從而形成所述樹脂膜。
發(fā)明的效果
由于第一、第二面板間的空隙被樹脂膜填充，因此水或氧難以進(jìn)入到 顯示裝置內(nèi)部。由于各發(fā)光部-皮無(wú)機(jī)膜覆蓋，因此即使水或氧進(jìn)入到顯示
裝置內(nèi)部也難以進(jìn)入到發(fā)光部。由于以金剛石碳和A1N (氮化鋁)中的任 一種作為主成分的無(wú)機(jī)膜的導(dǎo)熱性高，因此發(fā)光部不會(huì)達(dá)到高溫，不會(huì)受 到熱損傷。由于類金剛石碳薄膜和A1N薄膜的透光性都4艮優(yōu)異，因此即 使在頂部發(fā)射型的顯示裝置中使用，也不會(huì)降低光的取出效率。
是說(shuō)明本發(fā)明的顯示裝置的一例的剖面圖。 (a) ~ (d)是"i兌明本發(fā)明的顯示裝置的制造工序的剖面圖。是說(shuō)明本發(fā)明的制造裝置的第二例的剖面圖。
符號(hào)說(shuō)明
1......顯示裝置 5、 6......制造裝置10......第一面板12......下部電
極(像素電極)13......凹部 14......有機(jī)膜 15......發(fā)光部 18......上
部電極 20......第二面板 25......保護(hù)膜 27......填充膜 28......無(wú)機(jī)
膜29......樹脂膜51~53......第一 第三成膜室
具體實(shí)施例方式
圖l的符號(hào)l示出了本發(fā)明的顯示裝置的一例。 該顯示裝置l具有第一、第二面板IO、 20，第一、第二面板IO、 20 以表面相對(duì)的狀態(tài)通過(guò)環(huán)狀的密封構(gòu)件22相互貼合。
第一面板IO具有第一M 11。在第一基板11的表面中，在密封構(gòu)件22的環(huán)內(nèi)側(cè)列狀地配置了多個(gè)像素電極(下部電極)，其中，以覆蓋各像 素電極12的方式層壓有機(jī)膜14、注入層17和透明電極膜(上部電極) 18，形成具有像素電極12、有機(jī)膜14、注入層17和透明電極膜18的層 壓膜19。
這里，以覆蓋各像素電極12的方式形成透明電極膜18，其至少一部 分被導(dǎo)出到密封構(gòu)件22的環(huán)外側(cè)，并與配置在第一面板IO表面的未圖示 的凸緣(，7卜*)連接。凸緣以能夠連接在外部電路的端子的方式構(gòu)成， 通過(guò)凸緣對(duì)透明電極膜18施加來(lái)自外部電路的電壓。
各像素電極12例如分別連接在后述的晶體管40 (例如TFT、薄膜晶 體管)上，選擇像素電極12,使連接在該像素電極12上的晶體管40導(dǎo) 通，在對(duì)該像素電極12和透明電極18之間施加電壓時(shí)，有機(jī)膜14中的 位于該像素電極12上的部分發(fā)光。
注入層17由Ag/Mg合金等的透明金屬膜構(gòu)成，透明電極膜18由ITO (氧化銦錫)、InZnO或AZO(Al-ZnO)等的透明導(dǎo)電膜構(gòu)成，由有機(jī)膜 14發(fā)出的光通過(guò)注入層17和透明電極膜18。
在層壓膜19的表面形成了保護(hù)膜25，保護(hù)膜25由后述那樣的透明 的膜(填充膜27、無(wú)機(jī)膜28、樹脂膜29等)構(gòu)成，通過(guò)透明電極膜18 的光通過(guò)保護(hù)膜25而入射到第二面板20上。
第二面板20具有由玻璃或塑料等構(gòu)成的透明基板(第二基板21 )， 如果將層壓膜19的像素電極所位于的部分作為發(fā)光部15，則在與笫二基 板21表面的發(fā)光部15相對(duì)的位置設(shè)置了紅色、綠色或藍(lán)色的濾色器23, 入射到第二面板20的光通過(guò)濾色器23，轉(zhuǎn)換成紅色、綠色或藍(lán)色的有色 光，然后將上述有色光發(fā)出到外部。
這樣，顯示裝置1使有機(jī)膜14發(fā)光并發(fā)出光，但由于有機(jī)膜14中所 使用的有機(jī)材料(發(fā)光材料、電荷轉(zhuǎn)移材料、電荷輸送材料等)容易因水 分或氧而化學(xué)改性，這些有機(jī)材料改性之后，發(fā)光量降低，在極端的情況 下，不會(huì)產(chǎn)生發(fā)光。
就本發(fā)明的顯示裝置而言，在層壓膜19的表面形成了保護(hù)膜25,保 護(hù)膜25具有填充膜27、無(wú)機(jī)膜28和樹脂膜29。
在層壓膜19中，根據(jù)構(gòu)成層壓膜19的薄膜的種類或膜厚而使厚度存 在差異，發(fā)光部15所位于的部分要比晶體管40所位于的部分薄，從而形 成凹部13。填充膜27以至少填充各發(fā)光部15上的凹部13的方式形成。例如，當(dāng)僅在發(fā)光部15上形成填充膜27時(shí)，與用填充膜27填充凹 部13之前相比，填充之后的凹部13變淺；當(dāng)填充膜27貫穿發(fā)光部15及 其周圍的凸部而形成時(shí)，與凹部13底面到凸部表面的高度相比，從發(fā)光 膜15上的填充膜27表面到凸部上的填充膜27表面的高度更小，任何一 種情況下，層壓膜19表面的高度差都變小。
無(wú)機(jī)膜28形成在通過(guò)用填充膜27填充凹部13而使高度差變小之后 的層壓膜19表面上，并至少覆蓋發(fā)光部15。
無(wú)機(jī)膜28是以類金剛石碳作為主成分的類金剛石碳薄膜，或者是以 A1N為主成分的A1N薄膜。需要說(shuō)明的是，本發(fā)明中所說(shuō)的主成分，是 指含有50重量％以上的作為主成分的物質(zhì)。
類金剛石碳薄膜和A1N薄膜的透明性都很高，并且與樹脂膜等相比 氣密性也高，因此，不會(huì)使水或氧通過(guò)無(wú)機(jī)膜28，水或氧不易從上方進(jìn) 入到發(fā)光部15中。
這里，無(wú)機(jī)膜28以覆蓋各發(fā)光部15的方式連續(xù)形成，其邊緣部分與 配置了各發(fā)光部15的區(qū)域在封裝材料22的環(huán)內(nèi)周的內(nèi)側(cè)密合在第一面板 IO的表面上。因此，水或氧也不會(huì)從側(cè)方進(jìn)入到發(fā)光部15中。
而且，由于類金剛石碳和A1N都具有導(dǎo)熱性，因此，即使發(fā)光部15 在發(fā)光時(shí)產(chǎn)生熱，通過(guò)傳熱到無(wú)機(jī)膜28上，發(fā)光部15不會(huì)達(dá)到高溫，從 而不會(huì)受到熱損傷。
無(wú)機(jī)膜28形成在高度差大的位置時(shí)容易產(chǎn)生龜裂，但如上所述，由 于無(wú)機(jī)膜28是在凹部13被填充膜27填充之后而形成的，因此，各發(fā)光 部15可保持被無(wú)機(jī)膜28覆蓋的狀態(tài)。
另外，通過(guò)減小凹部13或者消除凹部13，可以利用覆蓋性(coverage) 不好的賊射法形成無(wú)機(jī)膜28。因此，能夠通過(guò)濺射法形成致密的無(wú)機(jī)膜 28。
樹脂膜29無(wú)間隙地填充由密封構(gòu)件22和第一、第二面板IO、 20包 圍的內(nèi)部空間，該樹脂膜29密合在密封構(gòu)件22的內(nèi)周面、第二面板20 的表面、無(wú)機(jī)膜28表面、以及從第一面板10的無(wú)機(jī)膜28露出的部分。 由于其內(nèi)部空間沒(méi)有空隙，因此大氣難以從外部tV。
這里，填充膜27是以完全覆蓋各發(fā)光部15所在的區(qū)域(發(fā)光區(qū)域) 的方式形成、無(wú)機(jī)膜28是以完全覆蓋填充膜27表面的方式形成、樹脂膜 29是以完全覆蓋無(wú)機(jī)膜28表面的方式形成，并且，填充膜27的邊緣在發(fā)光區(qū)域的外側(cè)與第一面板10密合、無(wú)機(jī)膜28的邊緣在填充膜27的外 側(cè)與笫一面板10密合、樹脂膜29的邊緣在無(wú)機(jī)膜28的外側(cè)與第一面板 IO密合。因此，發(fā)光區(qū)域的表面和側(cè)面被填充膜27、無(wú)機(jī)膜28和樹脂膜 29三重覆蓋，水或氧更不易進(jìn)入。
接著，對(duì)上述的制造顯示裝置時(shí)使用的本發(fā)明的制造裝置和本發(fā)明的 顯示裝置1的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。
〈制造裝置的第一例〉
圖2的符號(hào)5示出了本發(fā)明的制造裝置的第一例，該制造裝置5具有 第一 第三成膜室51 53。
第一 第三成膜室51~53分別與排氣體系69連接，用排氣體系69對(duì) 第一 第三成膜室51-53進(jìn)行排氣時(shí)，第一 第三成膜室51 53內(nèi)部形成了 壓力比大氣壓(1.01325xl05Pa=760Torr) l氐的減壓氣氛。
第一 第三成膜室51~53直接或通過(guò)其他的真空槽(緩沖室或運(yùn)送室 等)相互連接，由該制造裝置5處理的處理對(duì)象物通過(guò)未圖示的運(yùn)送裝置 在第一 第三成膜室51 53之間運(yùn)送，且不會(huì)暴露于大氣中。
在第一成膜室51的內(nèi)部配置有放置處理對(duì)象物的印刷臺(tái)55，在第一 成膜室51內(nèi)部的印刷臺(tái)55的上方位置配置有印刷頭56。
在第一成膜室51內(nèi)部配置有未圖示的運(yùn)送機(jī)構(gòu)，配置在印刷臺(tái)55上 的處理對(duì)象物和印刷頭56以通過(guò)未圖示的運(yùn)送機(jī)構(gòu)而使其中之一或兩者 移動(dòng)的方式構(gòu)成。因此，印刷頭56和處理對(duì)象物進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)。
在第一成膜室51的外部分別配置有填充劑供給體系58和控制體系 57。填充劑供給體系58和控制體系57如下構(gòu)成它們分別與印刷頭56 連接，填充劑供給體系58向印刷頭56供給液狀的填充劑，控制體系57 檢測(cè)印刷頭56和處理對(duì)象物的位置關(guān)系，并且在印刷頭56的噴嘴位于處 理對(duì)象物的期望位置上時(shí)，從噴嘴噴出填充劑(噴墨法)。
在第一成膜室51的內(nèi)部設(shè)有未圖示的加熱單元，附著在處理對(duì)象物 上的填充劑被加熱單元加熱，填充劑中的溶劑^:蒸發(fā)除去。
在第二成膜室52的內(nèi)部配置有無(wú)機(jī)膜成膜裝置60。在第一例的制造 裝置5中，無(wú)機(jī)膜成膜裝置60具有第一、第二電極61、 62，且第一、第 二電極61、 62配置在第二成膜室52內(nèi)。
這里，第一、第二電極61、 62是平板電極，它們以相互平行的狀態(tài) 水平配置在笫二成膜室52內(nèi)部，處理對(duì)象物配置在第二電極62的與第一
12電極61相對(duì)的表面上。
需要說(shuō)明的是，處理對(duì)象物只要保持在第二電極62上即可，第一、 第二電極61、 62也可以分別與水平面傾斜。
在第二成膜室52的外部配置有電源65、原料氣體供給體系64。第一、 第二電極61、 62分別與電源65連接，由原料氣體供給體系64供給原料 氣體，并且使第二成膜室52與接地電位連接，在此狀態(tài)下，對(duì)第一、第 二電極61、 62之間施加高頻電壓時(shí)，產(chǎn)生原料氣體的等離子體，在處理 對(duì)象物表面生成原料氣體的聚合物。
另外，在第一、第二電極61、 62中，當(dāng)其中一個(gè)電極置于接地電位 時(shí)，可以對(duì)另一個(gè)電極施加相對(duì)于接地電位為負(fù)或正電壓的高頻電壓；當(dāng) 其中一個(gè)電極置于相對(duì)于接地電位為負(fù)電壓時(shí)，可以對(duì)另一個(gè)電極施加相 對(duì)于接地電位為正電壓的高頻電壓。另外，還可以在將一個(gè)電極連接在接 地電位的狀態(tài)下，對(duì)另一個(gè)電板施加高頻電壓。
在第三成膜室53的內(nèi)部配置有載置臺(tái)72和絲網(wǎng)(screen) 74，運(yùn)送 到第三成膜室53內(nèi)部的處理對(duì)象物^J己置在載置臺(tái)72上，絲網(wǎng)74通過(guò) 間隔物73配置在處理對(duì)象物的上方，并與處理對(duì)象物保持指定的距離。
在絲網(wǎng)74的上方分別配置有噴嘴77和擠壓?jiǎn)卧?8。噴嘴77與樹脂 液供給體系76連接，由樹脂液供給體系76供給的樹脂液從噴嘴77噴出 到絲網(wǎng)74表面。
擠壓?jiǎn)卧?8是擠壓輥或刮板(squeegee),其能夠在絲網(wǎng)74上沿水 平方向往復(fù)移動(dòng)。絲網(wǎng)74上形成有多個(gè)未圖示的通孔，使擠壓?jiǎn)卧?8沿 去向移動(dòng)時(shí)，樹脂液在絲網(wǎng)74表面上擴(kuò)展開，同時(shí)進(jìn)入到通孔中，擠壓 單元78沿返向移動(dòng)時(shí)，樹脂液進(jìn)一步進(jìn)入到通孔中，樹脂液從通孔中被 擠出，并向處理對(duì)象物滴落。
〈制造方法的第一例〉
接著，對(duì)采用第一例的制造裝置來(lái)制造本發(fā)明的顯示裝置的工序進(jìn)行 說(shuō)明。
首先，預(yù)先對(duì)第一、第三成膜室51、 53內(nèi)部進(jìn)行真空排氣。這里， 氣體供給體系68分別與第一 第三成膜室51~53連接。 一邊繼續(xù)對(duì)第一、 第三成膜室51、 53進(jìn)行真空排氣， 一邊由氣體供給體系6S向第一、第三 成膜室51、 53內(nèi)部供給水和氧含量分別為l卯m以下的惰性氣體(例如 干燥的N2氣)，從而分別形成水和氧含量分別為l卯m以下且壓力比大氣壓低的減壓氣氛(印刷氣氛、涂布?xì)夥?(前處理工序)。 接著，對(duì)填充膜形成工序進(jìn)行說(shuō)明。
圖3 (a)示出了形成填充膜27之前的第一面板10,在該狀態(tài)中，各 發(fā)光部15露出。保持第一成膜室51內(nèi)的印刷氣氛，同時(shí)將圖3 (a)所 示狀態(tài)的第一面板運(yùn)10送到第一成膜室51內(nèi)部，并配置在印刷臺(tái)55上。
在填充劑供給體系58的貯罐中預(yù)先填充透明樹脂溶解在溶劑中而得 到的填充劑。
預(yù)先將發(fā)光部15的位置信息輸入到控制體系57中，在保持印刷氣氛 的狀態(tài)下，控制體系57使第一面板10和印刷頭56相對(duì)移動(dòng)，按照控制 體系57內(nèi)的位置信息，填充劑附著在各發(fā)光部15上，用填充劑填充凹部 13，然后利用加熱單元使填充劑干燥，從而形成填充凹部13的填充膜27。
需要說(shuō)明的是，可以直接向控制體系57中輸入位置信息，也可以通 過(guò)與已經(jīng)記憶有位置信息的其他裝置連接來(lái)向控制體系57中輸入位置信 息。
需要說(shuō)明的是，在填充膜形成工序中，可以使樹脂液(填充劑)不 會(huì)從凹部13中溢出的方式進(jìn)行附著，并使凹部13周圍的凸部從填充膜 27上露出。另外，在填充膜形成工序中，如圖3(b)所示，還可以使樹 脂液從凹部13中溢出的方式進(jìn)4亍附著，凹部13周圍的凸部也被填充膜 27覆蓋，并使各發(fā)光部15所處的區(qū)域被1張連續(xù)的填充膜27覆蓋。
接著，對(duì)無(wú)機(jī)膜形成工序進(jìn)行說(shuō)明。
這里，原料氣體供給體系64具有原料氣體貯罐和稀釋氣體貯罐，所 述原料氣體貯罐中配置有選自包括CH4、 C6H6、 <:2112的烴中的至少一種 原料氣體，所述稀釋氣體貯罐中配置有Ar氣等惰性氣體。
對(duì)第二成膜室52內(nèi)部進(jìn)行真空排氣，使內(nèi)部達(dá)到高真空之后，將之 前的面板處理時(shí)所產(chǎn)生的副產(chǎn)物等排出，然后由供給體系68導(dǎo)入惰性氣 體和稀釋氣體，同時(shí)由原料供給體系64導(dǎo)入原料氣體，形成壓力比大氣 壓低且水和氧含量分別為lppm以下的反應(yīng)氣氛。
一邊保持反應(yīng)氣氛一邊將形成有填充膜的狀態(tài)的第一面板10運(yùn)送到 第二成膜室52的內(nèi)部，并配置在第二電極62表面。
在第一面板10上配置未圖示的掩模，用掩模覆蓋第一面板10的邊 緣部分，并至少使配置有發(fā)光部15的區(qū)域暴露在掩模的通孔內(nèi)來(lái)對(duì)第一、 第二電極61、 62之間施加高頻電壓，這樣一來(lái)，包含烴的聚合物(類金鋼石碳)的無(wú)機(jī)膜28在各發(fā)光部15上的樹脂膜27表面生長(zhǎng)(圖3(c))。 在第一例的制造方法和后述的第二例的制造方法的無(wú)機(jī)膜形成工序 中，在掩模的通孔內(nèi)，使填充膜27全部、和填充膜27的周圍暴露，形成 覆蓋了填充膜27的整個(gè)表面和第一面板10表面的填充膜27周圍的部分 的無(wú)機(jī)膜28。
如上所述，發(fā)光膜15所在的凹部13被填充膜27所填充，與周圍的 凸部之間的高度差減小，因此，可以用1張連續(xù)的無(wú)機(jī)膜28覆蓋各發(fā)光 部15，而不會(huì)使在發(fā)光部15上生長(zhǎng)的無(wú)機(jī)膜28和在其周圍生長(zhǎng)的無(wú)機(jī) 膜28斷裂。在無(wú)機(jī)膜的28的厚度達(dá)到指定厚度時(shí)，停止對(duì)第一、第二電 極61、 62施加電壓。
接著，對(duì)樹脂膜形成工序進(jìn)行說(shuō)明。
如上所述，在第三成膜室53的內(nèi)部預(yù)先形成壓力比大氣壓低的涂布 氣氛， 一邊保持該涂布?xì)夥眨?一邊將形成有無(wú)機(jī)膜28的狀態(tài)的第一面板 IO運(yùn)送到第三成膜室53內(nèi)部，水平放置在載置臺(tái)72上，并在第一面板 10的表面水平配置絲網(wǎng)74。
由于涂布?xì)夥盏膲毫Ρ却髿鈮旱停虼?，在一邊保持涂布?xì)夥找贿?擠壓?jiǎn)卧?8沿去向移動(dòng)時(shí)，樹脂液在絲網(wǎng)74上擴(kuò)展時(shí)發(fā)生脫泡，樹脂液 中殘留的大氣被除去。
因此，除去大氣之后的樹脂液進(jìn)入到絲網(wǎng)74的通孔中，并使擠壓?jiǎn)?元沿返向移動(dòng)，此時(shí)，該樹脂液從通孔中滴落到第一面板10表面。
絲網(wǎng)74由金屬板等柔軟性低的材質(zhì)構(gòu)成，其膜厚為即使用擠壓?jiǎn)卧?進(jìn)行擠壓也不會(huì)發(fā)生彎曲的膜厚。因此，絲網(wǎng)74距離第一基板11表面的 高度可保持在預(yù)先確定的高度。
從絲網(wǎng)74的通孔滴落的樹脂液被填充到第一面板IO和絲網(wǎng)74之間 的空隙中，因此，即使在第一面板10的表面存在高度差，該高度差被樹 脂液掩埋，從而可形成從第一Mll到表面的高度均勻的涂層。
這里，樹脂液含有丙烯酸酯等光聚合性樹脂，對(duì)涂層照射紫外線時(shí)， 光聚合性樹脂聚合而使涂層固化，形成從第一基板11到表面的高度均勻 的樹脂膜29 (圖3 (d))。
如上所述，在第一 第三成膜室51-53之間運(yùn)送處理對(duì)象物(第一面 板)的期間，第一面板不會(huì)暴露在大氣中，并且由于印刷氣氛、反應(yīng)氣氛 和涂布?xì)夥辗謩e僅含有l(wèi)ppm以下的氧和水，因此，在包含填充膜27、無(wú)機(jī)膜28和樹脂膜29的保護(hù)膜25中，不會(huì)混入氧或水. 接著，對(duì)密封工序進(jìn)行說(shuō)明。
將形成了保護(hù)膜25的狀態(tài)的第一面板10從第三成膜室53中取出， 并運(yùn)送到制造裝置5外部。
在形成了樹脂膜29的狀態(tài)的第一面板10的表面，沿著樹脂膜29的 外周配置環(huán)狀的密封構(gòu)件，并使該密封構(gòu)件與樹脂膜29的側(cè)面密合。
密封構(gòu)件的環(huán)的厚度與從第一Mll表面到樹脂膜29表面的高度相 同，或者比該高度更厚，將第二面板20配置在第一面板10上，使濾色器 23與指定的發(fā)光部15相對(duì)的方式進(jìn)行位置吻合，然后使其下降，第二面 板20與密封構(gòu)件接觸。
密封構(gòu)件由玻璃或樹脂等粘接材料構(gòu)成，如果在擠壓第二面板20的 同時(shí)對(duì)密封構(gòu)件進(jìn)行加熱，則密封構(gòu)件發(fā)生軟化，與第一、第二面板IO、 20兩者密合。此外，如果繼續(xù)加熱擠壓，由于擠壓而軟化的密封構(gòu)件被 壓碎，第二面板20與樹脂膜29密合，由第一、第二面板IO、 20與密封 構(gòu)件所包圍的空間被樹脂膜29無(wú)間隙地填充。接著，冷卻密封構(gòu)件并使 之固化，這樣一來(lái)，第一、第二面板10、 20通過(guò)密封構(gòu)件而貼合，得到 如圖1所示的顯示裝置1。
在第一例的制造方法和后述的第二例的制造方法中，印刷氣氛的壓 力只要為大氣壓以下即可，沒(méi)有特別限制，但在通過(guò)噴墨法涂布樹脂液時(shí)， 優(yōu)選例如400Torr (換算成Pa為533.3xl02Pa )左右的減壓氣氛。需要i兌 明的是，在本申請(qǐng)說(shuō)明書中，在同時(shí)記載有Torr的值和其換算值Pa時(shí)， Torr值優(yōu)先'
無(wú)機(jī)膜28的成膜方法沒(méi)有特別限定。但是，由于噴墨法不能在高真 空下進(jìn)行(例如200Torr以上)，因此，在濺射法這樣的要求高真空(例 如5xl(^Torr)的成膜方法中，第一、第二成膜室51、 52之間的壓力差 過(guò)大，在將處理對(duì)象物從第一成膜室51直接運(yùn)送到第二成膜室52中時(shí)產(chǎn) 生灰塵，成為灰塵混入到保護(hù)膜25中的原因。如果在第一、笫二成膜室 51、 52之間配置用于調(diào)節(jié)壓力的緩沖室，雖然可以避免該問(wèn)題，但導(dǎo)致 制造裝置5的結(jié)構(gòu)變復(fù)雜。
如上所述，在第一例的制造方法中，將原料氣體等離子體化而形成 無(wú)機(jī)膜。該無(wú)機(jī)膜成膜方法由于可以在例如400Torr (換算成Pa為 533.3xl02Pa)下進(jìn)行成膜，因此，與濺射法相比，第一、第二成膜室51、52之間的壓力差變小，即使不設(shè)置緩沖室而直接將第一、第二成膜室51、 52連接，也不會(huì)產(chǎn)生灰塵。
涂布?xì)夥盏膲毫χ灰獮榇髿鈮阂韵录纯?，沒(méi)有特別限定，但為了高 效地進(jìn)行樹脂液的脫泡，涂布?xì)夥盏膲毫?50Torr以上760Torr以下， 換算成Pa為333.3xl02Pa以上1013.2xl02Pa以下。
如果是使原料氣體等離子體化的無(wú)機(jī)膜成膜方法，由于第二、第三 成膜室52、 53之間的壓力差變小，因此，即使將第二、第三成膜室直接 連接，灰塵也不會(huì)混入到保護(hù)膜25中。
接著，對(duì)本發(fā)明的笫二例的制造裝置和第二例的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。
〈第二例的制造裝置〉
圖4的符號(hào)6示出了第二例的制造裝置。第二例的制造裝置6除了 無(wú)機(jī)膜形成裝置90和連接在第二成膜室52上的氣體供給體系94不同以 外，與上述第一例的制造裝置5具有相同的結(jié)構(gòu)，與第一例的制造裝置5 相同的構(gòu)件標(biāo)記相同的符號(hào)，并省略其iJL明。
第二例的制造裝置6的無(wú)機(jī)膜形成裝置卯具有靶91，該靶91配置 在第二成膜室52的內(nèi)部。
第二成膜室52的外部配置有電源95和氣體供給體系94，靶91與電 源95連接。在第二例的制造裝置6中，所述氣體供給體系94是內(nèi)部配置 有濺射氣體的濺射氣體供給體系。
第二例的制造裝置6如下構(gòu)成通過(guò)排氣體系69對(duì)第二成膜室52 內(nèi)部進(jìn)行真空排氣，由賊射氣體供給體系94向第二成膜室52內(nèi)部供給濺 射氣體，同時(shí)將第二成膜室52置于接地電位，在該狀態(tài)下，由電源95向 耙91施加電壓，使耙91被濺射。
在第二例的制造裝置6中，笫二成膜室52通過(guò)未圖示的真空槽(緩 沖室)分別與第一、第三成膜室51、 53連接。
第二成膜室52與第一、第三成膜室51、 53之間的壓力差即使4艮大， 由于第二成膜室52的內(nèi)部氣氛不直接與第一、第三成膜室51、 53連接， 因此也不會(huì)產(chǎn)生灰塵。
接著，對(duì)使用上述第二例的制造裝置6的第二例的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。
〈第二例的制造方法〉
就第二例的制造方法而言，與第一例的制造方法在前處理工序、填充膜形成工序上相同，通過(guò)上述工序，在第一面板10的表面上形成填充 膜27。
接著，說(shuō)明第二例的制造方法的無(wú)機(jī)膜形成工序。
這里，濺射氣體供給體系94具有配置有Ar氣或Ne氣這樣的濺射 氣體的濺射氣體貯罐、和配置有反應(yīng)氣體(這里是包含N2的氮化氣體) 的反應(yīng)氣體貯罐。
利用排氣體系69對(duì)第二成膜室52內(nèi)部進(jìn)行真空排氣，形成真空氣 氛，保持該真空氣氛，同時(shí)將形成了填充膜27的狀態(tài)的第一面板10運(yùn)送 到第二成膜室52內(nèi)部。
其中，在第二成膜室52內(nèi)部配置有基板架(holder) 92，將運(yùn)送到 第二成膜室52內(nèi)部的第一面板10配置在基板架92上，并使第一面板10 的形成有填充膜27 —側(cè)的面與靶91相對(duì)。
繼續(xù)對(duì)第二成膜室52內(nèi)進(jìn)行真空排氣，同時(shí)由濺射氣體供給體系94 供給濺射氣體和反應(yīng)氣體，形成壓力比印刷氣氛低的濺射氣氛。例如，印 刷氣氛的壓力為400Torr (換算成Pa為533.3xl02Pa )，濺射氣氛的壓力 為5xl(T3Torr (換算成Pa為6.67xlO"Pa )。需要說(shuō)明的是，在本申請(qǐng)說(shuō) 明書中，在同時(shí)記載有Torr的值和其換算值Pa時(shí)，Torr值優(yōu)先。
在第一面板10上配置未圖示的掩模，利用掩模將第一面板10的邊 緣部分覆蓋，并至少使配置有發(fā)光部15的區(qū)域暴露在掩模的通孔內(nèi)，在 該狀態(tài)下， 一邊保持濺射氣氛一邊對(duì)靶91進(jìn)行濺射。
靶91是以Al為主成分的Al靶，反應(yīng)氣體為化學(xué)結(jié)構(gòu)中含有氮原子 的氮化氣體(例如NJ，因此，包含氮化鋁(A1N)的無(wú)機(jī)膜28在各發(fā)光 部15上的填充膜27表面進(jìn)行生長(zhǎng)。
其中，使填充膜27全部、填充膜27的周圍暴露在掩模的通孔內(nèi)來(lái) 進(jìn)行濺射，從而形成覆蓋了填充膜27的整個(gè)表面和第一面板10表面的填 充膜27周圍部分的無(wú)機(jī)膜28。
與CVD或蒸鍍等其他成膜方法相比，在濺射法中如果成膜對(duì)象物存 在高度差，則形成的膜容易斷裂。
如上所述，發(fā)光膜15所在的凹部13被填充膜27所填充，與周圍的 凸部之間的高度差減小，因此，可以用1張連續(xù)的無(wú)機(jī)膜28覆蓋各發(fā)光 部15，而不會(huì)使在發(fā)光部15上生長(zhǎng)的無(wú)機(jī)膜28和在其周圍生長(zhǎng)的無(wú)機(jī) 膜28斷裂。在無(wú)機(jī)膜的28的厚度達(dá)到指定厚度時(shí)，停止對(duì)靶91施加電壓。
接著，在與上述第一例的制造方法相同的條件下進(jìn)行樹脂膜形成工 序，形成樹脂膜。
需要說(shuō)明的是，如果濺射氣氛是高真空，并且將形成樹脂膜時(shí)的涂
布?xì)夥赵O(shè)定為與濺射氣氛同等程度的高真空，則樹脂液供給體系76內(nèi)部 的壓力調(diào)整變得困難，因此，涂布?xì)夥找O(shè)定為比濺射氣氛的壓力高，且 比大氣壓低的壓力。
形成樹脂膜之后，按照與第一例的制造方法中的密封工序相同的方 法對(duì)第一、第二面板進(jìn)行密封，得到顯示裝置l。
如上所述，在第二例的制造方法中，濺射氣氛為5xlO-3Torr左右的 高真空。與此相反，印刷氣氛的壓力為200Torr以上大氣壓以下(例如 400Torr左右)，涂布?xì)夥盏膲毫?50Torr以上760Torr以下(換算成 Pa為333.3xl02Pa以上1013.2xl02Pa以下)。
換言之，與笫一、第三成膜室51、 53的內(nèi)部壓力相比，第二成膜室 52的內(nèi)部壓力非常低，如果將第二成膜室52與第一、第三成膜室51、 53 直接連接，則存在因壓力差而產(chǎn)生灰塵的可能。
在將第二成膜室52與第一、第三成膜室51、 53連接之前，提高第 二成膜室52的內(nèi)部壓力，或者降低第一、第三成膜室51、 53的內(nèi)部壓力， 從而減小壓力差，如果這樣的話，則可以抑制產(chǎn)生灰塵，但調(diào)整壓力需要 花費(fèi)時(shí)間，從而會(huì)延長(zhǎng)制造所需要的時(shí)間。
為了抑制產(chǎn)生灰塵并縮短制造時(shí)間，在第一、第二成膜室51、 52之 間以及第二、第三成膜室52、 53之間分別配置其他的真空槽(緩沖室)。
將處理對(duì)象物(第一面板)從第一成膜室51運(yùn)送到第二成膜室52 時(shí)，使第一、第二成膜室51、 52之間的緩沖室與第二成膜室52隔斷，在 該狀態(tài)下，使所述緩沖室內(nèi)形成壓力與第一成膜室51的內(nèi)部壓力大致相 等的內(nèi)部氣氛，再將第一面板10由第一成膜室51運(yùn)送到緩沖室中。
將第一成膜室51與緩沖室隔斷，對(duì)緩沖室進(jìn)行真空排氣，使其內(nèi)部 壓力降低到與第二成膜室52的內(nèi)部壓力大致相等的壓力，然后，將緩沖 室與第二成膜室52連接，將第一面板10從緩沖室運(yùn)送到笫二成膜室52 中。
將笫一面板10從第二成膜室52運(yùn)送到第三成膜室53時(shí)，使第二、 第三成膜室52、 53之間的緩沖室與第三成膜室53隔斷，在該狀態(tài)下，使所述緩沖室內(nèi)形成壓力與第二成膜室52的內(nèi)部壓力大致相等的內(nèi)部氣 氛，再將第一面板10由第二成膜室52運(yùn)送到緩沖室中。
將第二成膜室52與緩沖室隔斷，通過(guò)導(dǎo)入干燥的惰性氣體(氧和水 的含量分別為lppm以下)等來(lái)提高緩沖室內(nèi)的壓力，使緩沖室內(nèi)的壓力 達(dá)到與第三成膜室53的內(nèi)部壓力大致相等的壓力之后，將緩沖室與第三 成膜室53連接，將第一面板10從緩沖室運(yùn)送到第三成膜室53中。
如上所述，如果通過(guò)緩沖室來(lái)進(jìn)行第一、第二成膜室51、 52之間的 運(yùn)送以及第二、第三成膜室52、 53之間的運(yùn)送，則可抑制產(chǎn)生灰塵，第 一面板10不會(huì)被污染。
需要說(shuō)明的是，在第二例的制造方法中，無(wú)機(jī)膜28的成膜方法沒(méi)有 特別限定，但在形成氮化鋁薄膜作為無(wú)機(jī)膜28時(shí)，希望使用濺射法。另 外，可以對(duì)A1N靶進(jìn)行濺射來(lái)形成無(wú)機(jī)膜28,而不用向?yàn)R射氣氛中供給 反應(yīng)氣體。
另外，在第二例的制造方法中，無(wú)機(jī)膜28的構(gòu)成材料不限于A1N， 可以對(duì)含有選自Al、 A1N、 A1N以外的金屬化合物(包括氧化物、氮化物) 和金屬中的任意1種以上的無(wú)機(jī)材料的靶91進(jìn)行濺射，從而形成含有選 自Al、 A1N、 A1N以外的金屬化合物和金屬中的任意1種以上的無(wú)機(jī)材料 的無(wú)機(jī)膜28。
形成A1N膜時(shí)的反應(yīng)氣體不限于N2，可以廣泛使用化學(xué)結(jié)構(gòu)中含有 氮的氮化氣體。作為N2以外的氮化氣體，例如有氨。 〈其他實(shí)施例〉
在第一、第二例的制造方法中，形成填充膜27時(shí)的填充劑的涂布方 法沒(méi)有特別限定，為了在各發(fā)光部15上正確地涂布填充劑，最希望采用 噴墨法。采用噴墨法涂布填充劑時(shí)，如果樹脂液的粘度過(guò)高會(huì)引起噴嘴堵 塞，因此優(yōu)選樹脂液的粘度為10cP (厘泊)以下。
在第一、第二例的制造方法中，填充劑中所含的樹脂沒(méi)有特別限定， 可以使用熱塑性樹脂、熱固性樹脂、光聚合性樹脂等各種樹脂。填充劑中 含有熱固性樹脂時(shí)，如果對(duì)附著的填充劑進(jìn)行加熱以使熱固性樹脂聚合， 則可形成含有熱固性樹脂的聚合物的填充膜27。另外，含有光聚合性樹 脂時(shí)，如果在使填充劑附著并蒸發(fā)除去溶劑之后照射光，則可得到含有光 固化性樹脂的聚合物的填充膜27。
另外，在第一、第二制造方法中，還可以使用含有無(wú)機(jī)材料的填充劑。作為這樣的填充劑，如果^^用具有捕水性的捕水劑的話，不僅可減小
填充膜27的高度差，而且由于可捕獲進(jìn)入到顯示裝置中的水分，因此有 機(jī)膜14更加不易受到損傷。作為捕水劑，例如有下述化學(xué)式(1)表示的 鋁金屬配位化合物。 [化學(xué)式l
<formula>formula see original document page 21</formula>該鋁金屬配位化合物化學(xué)性地吸附水，使6元環(huán)開環(huán)，生成3( R-O-Al (OH)2)而捕水。該鋁金屬配位化合物不僅捕水性優(yōu)異，而且在形成膜 時(shí)的透明性也優(yōu)異，因此特別適合于頂部發(fā)射型的顯示裝置1。
作為含有上述捕水劑的填充劑，包括在烴類有機(jī)溶劑中溶解有上述 鋁金屬配位化合物而得到的雙葉電子工業(yè)(林)制造的商品名為"OleDry" 的商品。
另外，使用含有如上所述的樹脂和無(wú)機(jī)材料的捕水劑兩者的填充劑 作為第一、第二例的制造方法的填充劑，可以形成含有樹脂和捕水劑兩者 的填充膜27。
在第一、第二例的制造方法中，對(duì)樹脂膜形成工序的樹脂液的涂布 方法也沒(méi)有特別限定，但為了涂布填充第一、笫二面板IO、 20之間的空 隙的相當(dāng)大量的樹脂液，與噴墨法相比，更優(yōu)選采用了上述絲網(wǎng)的絲網(wǎng)印 刷法。適合于絲網(wǎng)印刷法的樹脂液的粘度比噴墨法的樹脂液的粘度高，例 如為100000cp。
第一、第二例的制造方法的樹脂液中含有的樹脂沒(méi)有特別限定，與 填充劑同樣地，可以使用熱塑性樹脂、熱固性樹脂。樹脂液含有熱固性樹 脂時(shí)，如果對(duì)涂層進(jìn)行加熱以使熱固性樹脂聚合，則可形成含有熱固性樹 脂的聚合物的樹脂膜29。在第一、第二例的制造方法中，固化涂層的工序可以在涂布樹脂液
之后到配置密封構(gòu)件22之前來(lái)進(jìn)行，也可以在用密封構(gòu)件22進(jìn)行第一、 第二面板IO、 20的貼合的同時(shí)進(jìn)行。雖然還可以在用密封構(gòu)件22貼合第 一、第二面板IO、 20之后進(jìn)行固化涂層的工序，但如果在用密封構(gòu)件22 貼合之后進(jìn)行固化，從涂層中蒸發(fā)的溶劑會(huì)被密封在第一、第二面板IO、 20之間，有機(jī)膜14會(huì)因溶劑而受到損傷。因此，優(yōu)選在使第一、第二面 板10、 20貼合之前進(jìn)行固化涂層的工序。
以上，對(duì)使從有機(jī)膜14發(fā)出到第二面板20 —側(cè)的光發(fā)出到外部的 頂部發(fā)射型的顯示裝置進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明并不限定于此，本發(fā)明的顯 示裝置還可以是底部發(fā)射型的顯示裝置，該底部發(fā)射型的顯示裝置由玻璃 基板或塑料M等構(gòu)成第一M 11、由ITO或AZO等透明電極構(gòu)成像 素電極12,并使從有機(jī)膜14發(fā)出到第一基板11 一側(cè)的光透過(guò)像素電極 12和第一基板11而發(fā)出到外部。在底部發(fā)射型的顯示裝置的情況下，填 充膜27、無(wú)機(jī)膜28和樹脂膜29可以由不透明材料構(gòu)成。
此時(shí)，濾色器可以設(shè)置在第一基&11上。另外，也可以不設(shè)置濾色 器而向各發(fā)光部15的有機(jī)膜中添加著色劑，從而發(fā)出被有機(jī)膜著色的光。
權(quán)利要求
1.顯示裝置，其具有第一、第二面板以及保護(hù)膜，所述第一、第二面板的表面互相對(duì)置地配置；所述第一面板的表面配置具有凹部的層壓膜；層壓了下部電極、有機(jī)膜和上部電極的發(fā)光部位于所述層壓膜的所述凹部所處的部分；所述保護(hù)膜形成在所述層壓膜的表面，其中，所述保護(hù)膜具有填充所述凹部的填充膜、和至少形成在位于所述填充膜表面的所述凹部部分的無(wú)機(jī)膜，所述第一面板的形成有所述凹部的面，在填充了所述填充膜之后比填充所述填充膜之前更平坦類金剛石碳。
2. 權(quán)利要求1所述的顯示裝置，其中，所述無(wú)機(jī)膜的主成分為類金 剛石碳和A1N中的任一種。
3. 權(quán)利要求l所述的顯示裝置，其中， 所述保護(hù)膜具有形成在所述無(wú)機(jī)膜表面的樹脂膜， 所述第二面板的表面與所述第一面板的形成有所述無(wú)機(jī)膜的面密合在所述樹脂膜上。
4. 權(quán)利要求3所述的顯示裝置，其中， 所述各發(fā)光部位于所述第一面板邊緣內(nèi)側(cè)的發(fā)光區(qū)域， 所述填充膜的邊緣在所述發(fā)光區(qū)域的外側(cè)密合在所述第一面板的表面，所述無(wú)機(jī)膜的邊緣在所述填充膜的邊緣外側(cè)密合在所述第一面板的 表面，所述樹脂膜的邊緣在所述無(wú)機(jī)膜的邊緣外側(cè)密合在所述第一面板的 表面。
5. 用于制造顯示裝置的裝置，其具有 第一、第二成膜室，分別與所述第一、第二成膜室連接的排氣體系，配置在所述第一成膜室內(nèi)部的印刷頭，與所述印刷頭連接的供給填充劑的填充劑供給體系；與所述印刷頭連接的控制體系；以及配置在所述第二成膜室內(nèi)部的無(wú)機(jī)膜成膜裝置，；其中，所述控制體系內(nèi)的位置信息而設(shè)定的位置，在所述第一、第二成膜室之間，能夠使處理對(duì)象物從所述第一成膜室 中運(yùn)送到所述第二成膜室內(nèi)，并且不會(huì)使所述處理對(duì)象物暴露在大氣中。
6.權(quán)利要求5所述的用于制造顯示裝置的裝置，其結(jié)構(gòu)為 所述無(wú)機(jī)膜成膜裝置具有配置在所述第二成膜室內(nèi)部的第一、第二電極，在所述第二成膜室上，連接有向所述第二成膜室內(nèi)部供給烴氣體的氣 體導(dǎo)入體系，并且，在所述第一、第二電極間施加高頻電壓。
7. 權(quán)利要求5所述的用于制造顯示裝置的裝置，其中， 所述無(wú)機(jī)膜成膜裝置具有配置在所述第二成膜室內(nèi)部的無(wú)機(jī)材料的靶，并且，在所述第二成膜室上，連接有向所述第二成膜室內(nèi)部供給濺射氣體的 濺射氣體導(dǎo)入體系。
8. 顯示裝置的制造方法，該方法制造如下的顯示裝置 具有第一、第二面板以及保護(hù)膜，上述第一、第二面板的表面互相對(duì)置地配置， 所述第一面板的表面配置具有凹部的層壓膜，層壓了下部電極、有機(jī)膜和上部電極的發(fā)光部位于所述層壓膜的所述 凹部所處的部分，所述保護(hù)膜形成在所述層壓膜的表面；在該方法中，將形成了所述層壓膜的狀態(tài)的所述第一面板送入到第一 成膜室內(nèi)部，在所述第一成膜室的內(nèi)部形成壓力比大氣壓低的印刷氣氛， 在該狀態(tài)下，使填充劑附著在所述凹部上而形成填充膜，使所述第一面板 的形成了所述凹部的面比形成所述填充膜之前更平坦，，然后，在所述填充膜表面形成無(wú)機(jī)膜，，從而形成具有所述填充膜和所述無(wú) 機(jī)膜的保護(hù)膜。
9. 權(quán)利要求8所述的顯示裝置的制造方法，其中， 將形成有所述填充膜的所述第一面板送入到第二成膜室的內(nèi)部，并配置在所述第二成膜室內(nèi)部的第一、第二電極之間，在所述第二成膜室內(nèi)部，形成含有烴氣體的反應(yīng)氣氛，該反應(yīng)氣氛的壓力比大氣壓低、并且與所述印刷氣氛相同或者比印刷氣氛壓力高，在該 狀態(tài)下對(duì)所述第一、第二電極間施加電壓，從而在所述填充膜表面形成含 有類金剛石碳的所述無(wú)機(jī)膜。
10. 權(quán)利要求8所述的顯示裝置的制造方法，其中，將形成有所述填充膜的所述第一面板送入到第二成膜室的內(nèi)部， 在所述第二成膜室內(nèi)部，形成含有濺射氣體且壓力比所述印刷氣氛低的濺射氣氛，在該狀態(tài)下對(duì)配置在所述第二成膜室內(nèi)部的靶進(jìn)行濺射，從而在所述填充膜表面形成所述無(wú)機(jī)膜。
11. 權(quán)利要求10所述的顯示裝置的制造方法，其中，使用含有Al 的物質(zhì)作為所述靶，使所述濺射氣氛中含有化學(xué)結(jié)構(gòu)中含有氮的氮化氣體 來(lái)進(jìn)行濺射，形成含有A1N的所述無(wú)機(jī)膜。
12. 權(quán)利要求8所述的顯示裝置的制造方法，其中，通過(guò)噴墨法使所 述填充劑附著在所述凹部上。
13. 權(quán)利要求8所述的顯示裝置的制造方法，其中，使所述第一成膜 室內(nèi)部的氧和水的含量分別為l卯m以下而形成所述填充膜，并且，使所述第二成膜室內(nèi)部的氧和水的含量分別為lppm以下而形成所 述無(wú)4幾膜。
14. 權(quán)利要求9所述的顯示裝置的制造方法，其中， 在形成所述無(wú)機(jī)膜的狀態(tài)下的所述第一面板的表面形成樹脂膜，然后，使所述第二面板的表面與所述第一面板的形成了所述樹脂膜的面相對(duì)，使所述第二面板密合在所述樹脂膜上，在該狀態(tài)下，通過(guò)包圍在所述 樹脂膜的周圍的環(huán)狀的密封構(gòu)件與所述第一面板貼合。
15. 權(quán)利要求14所述的顯示裝置的制造方法，其中， 將形成了所述無(wú)機(jī)膜的所述第一面板配置在第三成膜室內(nèi)部， 在所述第三成膜室內(nèi)部形成壓力與所述反應(yīng)氣氛相同或低于所述反應(yīng)氣氛的涂布?xì)夥?，在該狀態(tài)下，在所述無(wú)機(jī)膜的表面上涂布樹脂液，從而形成所述樹脂膜。
16. 權(quán)利要求10所述的顯示裝置的制造方法，其中， 在形成所述無(wú)機(jī)膜的狀態(tài)下的所述第一面板的表面形成樹脂膜，然后，使所述第二面板的表面與所述第一面板的形成了所述樹脂膜的面相對(duì)，使所述第二面板密合在所述樹脂膜上，在該狀態(tài)下，通過(guò)包圍在所述 樹脂膜的周圍的環(huán)狀的密封構(gòu)件與所述第一面板貼合。
17.權(quán)利要求16所述的顯示裝置的制造方法，其中，將形成了所述無(wú)機(jī)膜的所述第一面板配置在第三成膜室內(nèi)部，在所述第三成膜室內(nèi)部形成壓力與所述濺射氣氛相同或高于所述濺射氣氛的涂布?xì)夥?，在該狀態(tài)下，在所述無(wú)機(jī)膜的表面上涂布樹脂液，從而形成所述樹脂膜。
全文摘要
本發(fā)明提供一種發(fā)光效率不降低的顯示裝置。本發(fā)明的顯示裝置(1)由于是用填充膜(27)填充發(fā)光部(15)所在的凹部(13)之后再形成無(wú)機(jī)膜(28)，因此在無(wú)機(jī)膜(28)上不會(huì)產(chǎn)生龜裂。由于無(wú)機(jī)膜(28)是由類金剛石碳或AlN這樣的氣密性和導(dǎo)熱性都很高的材料構(gòu)成，因此，水或氧不易進(jìn)入到發(fā)光部(15)中，而且發(fā)光部(15)的熱被傳遞到無(wú)機(jī)膜(28)上，發(fā)光部(15)不會(huì)成為高溫。此外，由于第一、第二面板(10)、(20)之間的空隙被樹脂膜(29)填充，因此不會(huì)從外部進(jìn)入大氣。由于發(fā)光部(15)不會(huì)因水、氧或熱而受到損傷，因此本發(fā)明的顯示裝置(1)的壽命長(zhǎng)。
文檔編號(hào)H05B33/04GK101617564SQ20088000556
公開日2009年12月30日 申請(qǐng)日期2008年2月15日 優(yōu)先權(quán)日2007年2月21日
發(fā)明者根岸敏夫 申請(qǐng)人:株式會(huì)社愛(ài)發(fā)科