專利名稱：單晶爐蓋的冷卻結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及熔煉單晶爐，具體涉及一種單晶爐蓋的冷卻結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
對于熔煉多晶硅的單晶爐，其由爐底、下爐室、上爐室、爐蓋、翻板箱以 及副室六大部分組成。這其中，由于爐蓋在工作過程中需要進行冷卻，通常采 用水冷卻的方式對爐蓋進行冷卻。由于目前的冷卻方式只對爐蓋外壁進行冷卻， 因此冷卻效果并不理想。
實用新型內(nèi)容
針對上述問題，本實用新型的目的是提供一種提高冷卻效果的單晶爐蓋的 冷卻結(jié)構(gòu)。
單晶爐蓋的冷卻結(jié)構(gòu)，包括蓋體以及與蓋體連接的爐頸，爐頸上設(shè)有輸氣 管道，蓋體下端設(shè)有下連接裝置，爐頸上端設(shè)有上連接裝置，所述蓋體包括外 蓋體以及內(nèi)蓋體，外蓋體與內(nèi)蓋體間隔設(shè)置，爐頸包括內(nèi)爐頸和與該內(nèi)爐頸間 隔設(shè)置的外爐頸，外爐頸上端以及內(nèi)爐頸上端分別與上連接裝置焊接固定，內(nèi) 爐頸下端與內(nèi)蓋體焊接固定，所述外蓋體與外爐頸焊接固定，所述內(nèi)蓋體以及 外蓋體下端分別與下連接裝置焊接固定，所述外蓋體上設(shè)有進水孔，所述爐頸 上設(shè)有出水口。
采用了上述方案，所述蓋體包括外蓋體以及內(nèi)蓋體，外蓋體與內(nèi)蓋體間隔 設(shè)置，這樣在內(nèi)蓋體與外蓋體之間形成了裝載冷卻水的空間，當(dāng)將冷卻水通入 到該空間內(nèi)以后，可以對爐蓋進行冷卻。由于本實用新型的這種結(jié)構(gòu)，可以直 接對內(nèi)蓋體和外蓋體進行冷卻，因此，可以提高冷卻效果。

圖l為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為圖1的剖面結(jié)構(gòu)附圖中，IO為外蓋體，ll為內(nèi)蓋體，101為延伸部，102為通孔，12為觀 察窗，13為測經(jīng)儀窗，14為進水孔，20為內(nèi)爐頸，21為外爐頸，22為輸氣管道，30為下連接裝置，301為內(nèi)連接部，302為外連接部，303為環(huán)形槽，40 為上連接裝置，41為內(nèi)連接部，42為外連接部，43為環(huán)形槽，44為凸臺。
具體實施方式

參照圖1及圖2，本實用新型的單晶爐爐蓋結(jié)構(gòu)，包括蓋體以及與蓋體連接 的爐頸，蓋體下端設(shè)有下連接裝置30,爐頸上端設(shè)有上連接裝置40。蓋體采用 不銹鋼材料制成，蓋體包括外蓋體10以及內(nèi)蓋體11，外蓋體10與內(nèi)蓋體11間 隔設(shè)置，該間隔的間距為20mm。爐頸包括內(nèi)爐頸20和與該內(nèi)爐頸間隔設(shè)置的外 爐頸21，外爐頸與內(nèi)爐頸之間的間隔距離為20mm。外爐頸21上設(shè)有輸氣管道 22，該輸氣管道22與內(nèi)爐頸連通，輸氣管道22用于氬氣通入到內(nèi)爐頸中。外 爐頸21上端以及內(nèi)爐頸20上端分別與上連接裝置40焊接固定，內(nèi)爐頸20下 端與內(nèi)蓋體ll焊接固定，外蓋體10與外爐頸焊接固定，上連接裝置40為一個 法蘭盤，該法蘭盤的下端面設(shè)有與內(nèi)爐頸連接的內(nèi)連接部41和與外爐頸連接的 外連接部42，內(nèi)連接部和外連接部通過法蘭盤上設(shè)置的環(huán)形槽43間隔開，環(huán)形 槽43與外爐頸與內(nèi)爐頸之間的間隔空隙正對。上連接裝置的上端面設(shè)有一個凸 出于該上端面的凸臺44，該凸臺用于與副室法蘭盤上的連接部配合并形成固定 連接。
內(nèi)爐頸20下端與內(nèi)蓋體11通過焊接方式固定連接，所述外蓋體10與外爐 頸21通過焊接方式固定連接，該外蓋體10與外爐頸20焊接的端部設(shè)有與內(nèi)爐 頸外壁面接觸的延伸部101，該延伸部上設(shè)有通孔102。所述內(nèi)蓋體11以及外 蓋體10下端分別與下連接裝置30通過焊接方式固定連接。下連接裝置30為連 接法蘭，該下連接裝置的上端面形成用于與外蓋體10焊接的內(nèi)連接301以及用 于與內(nèi)蓋體11焊接的外連接部302，外連接部和內(nèi)連接部之間通過環(huán)形槽303 隔開。所述外蓋體上設(shè)有進水孔14，爐頸上設(shè)有出水口。在外蓋體10上設(shè)有觀 察窗12，該觀察窗與內(nèi)蓋體連通，觀察窗包括窗體以及與該窗體密封固定的透 明的玻璃，透過玻璃可以觀察到爐體內(nèi)的情況。外蓋體上設(shè)有測經(jīng)儀窗13，該 測經(jīng)儀窗與內(nèi)蓋體連通。
權(quán)利要求1.單晶爐蓋的冷卻結(jié)構(gòu)，包括蓋體以及與蓋體連接的爐頸，爐頸上設(shè)有輸氣管道，蓋體下端設(shè)有下連接裝置，爐頸上端設(shè)有上連接裝置，其特征在于所述蓋體包括外蓋體以及內(nèi)蓋體，外蓋體與內(nèi)蓋體間隔設(shè)置，爐頸包括內(nèi)爐頸和與該內(nèi)爐頸間隔設(shè)置的外爐頸，外爐頸上端以及內(nèi)爐頸上端分別與上連接裝置焊接固定，內(nèi)爐頸下端與內(nèi)蓋體焊接固定，所述外蓋體與外爐頸焊接固定，所述內(nèi)蓋體以及外蓋體下端分別與下連接裝置焊接固定，所述外蓋體上設(shè)有進水孔，所述爐頸上設(shè)有出水口。
2. tl^權(quán)利要求l所述的單晶爐蓋的冷卻結(jié)構(gòu)，其特征在于所述外蓋 體與外爐頸焊接的端部設(shè)有與內(nèi)爐頸外壁面接觸的延伸部，該延伸部上設(shè)有 通孔。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的單晶爐蓋的冷卻結(jié)構(gòu)，其特征在于所述上連 接裝置為法蘭盤，該法蘭盤的下端面設(shè)有與內(nèi)爐頸連接的內(nèi)連接部和與外爐 頸連接的外連接部，內(nèi)連接部和外連接部通過法蘭盤上設(shè)置的環(huán)形槽間隔開。
4. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的單晶爐蓋的冷卻結(jié)構(gòu)，其特征在于所述下連 接裝置為連接法蘭。
5. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的單晶爐蓋的冷卻結(jié)構(gòu)，其特征在于所述外蓋 體上設(shè)有觀察窗，該觀察窗與內(nèi)蓋體連通。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐蓋的冷卻結(jié)構(gòu)，其特征在于所述外蓋 體上設(shè)有測經(jīng)儀窗，該測經(jīng)儀窗與內(nèi)蓋體連通。
專利摘要本實用新型公開了一種單晶爐蓋的冷卻結(jié)構(gòu)，蓋體包括外蓋體以及內(nèi)蓋體，外蓋體與內(nèi)蓋體間隔設(shè)置，爐頸包括內(nèi)爐頸和與該內(nèi)爐頸間隔設(shè)置的外爐頸，外爐頸上端以及內(nèi)爐頸上端分別與上連接裝置焊接固定，內(nèi)爐頸下端與內(nèi)蓋體焊接固定，所述外蓋體與外爐頸焊接固定，所述內(nèi)蓋體以及外蓋體下端分別與下連接裝置焊接固定，所述外蓋體上設(shè)有進水孔，所述爐頸上設(shè)有出水口。本實用新型可以提高冷卻效果。
文檔編號C30B15/00GK201395642SQ20092003969
公開日2010年2月3日 申請日期2009年4月20日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月20日
發(fā)明者潘國強, 潘燕萍 申請人:潘燕萍;潘國強