專利名稱：有機(jī)發(fā)光面板及其制造方法以及有機(jī)顯示裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及有機(jī)發(fā)光面板及其制造方法以及有機(jī)顯示裝置。
背景技術(shù)：
近年來，利用有機(jī)材料的場致發(fā)光現(xiàn)象的顯示裝置的研究、開發(fā)不斷進(jìn)展。在該顯示裝置中，各像素部構(gòu)成為具有陽極電極以及陰極電極和夾插于其間的有機(jī)發(fā)光層。并且， 在顯示裝置的驅(qū)動中，從陽極電極注入空穴，從陰極電極注入電子，在有機(jī)發(fā)光層內(nèi)通過空穴與電子再結(jié)合而發(fā)光。相鄰的像素部的有機(jī)發(fā)光層彼此之間通過包含絕緣材料的分隔壁(提欄)劃分。 有機(jī)發(fā)光層的形成通過例如在由分隔壁劃分的每個區(qū)域滴下包含有機(jī)發(fā)光材料的墨并使其干燥而進(jìn)行。但是，如上所述那樣形成的有機(jī)發(fā)光層的膜厚存在著難以設(shè)定得均勻的問題。在此，為了將有機(jī)發(fā)光層的膜厚設(shè)定得均勻，例如，在專利文獻(xiàn)1中，記載了如下技術(shù)在分隔壁的表面部設(shè)置凸?fàn)畈?，利用其控制墨對于分隔壁的表面部的鎖住(C >二 > 7 )位置。即，通過采用在專利文獻(xiàn)1中提出的技術(shù)，可以將一個像素部中的墨滴下時的鎖住位置控制于在表面部形成的凸?fàn)畈?，由此，可以確保某程度的膜厚均勻性。專利文獻(xiàn)1 特開2007-311235號公報但是，對于顯示裝置中的有機(jī)發(fā)光面板，認(rèn)為困難的是采用由上述專利文獻(xiàn)1提出的技術(shù)，預(yù)先掌握有機(jī)發(fā)光層的膜厚的偏倚，基于該偏倚以高精度按每個區(qū)域或者每個與分隔壁對應(yīng)的表面部形成微細(xì)的凸?fàn)畈?。因此，在有機(jī)發(fā)光面板的區(qū)域整體，不容易將有機(jī)發(fā)光層的膜厚設(shè)定得均勻。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了實現(xiàn)上述課題的解決而提出的，其目的在于提供實現(xiàn)有機(jī)發(fā)光層在面板整個面的膜厚的均勻化、表面內(nèi)的輝度不均少的顯示裝置及其制造方法。因此，本發(fā)明的一方式所涉及的有機(jī)發(fā)光面板，采用以下的結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的一方式所涉及的有機(jī)發(fā)光面板具備第1像素部、第2像素部、非像素部、 第1分隔壁和第2分隔壁。第1像素部具有發(fā)光色相互不同的多個發(fā)光部，該多個發(fā)光部按順序排列有位于一側(cè)且被涂敷對應(yīng)的墨的第1發(fā)光部、位于中央側(cè)且被涂敷對應(yīng)的墨的第2發(fā)光部和位于另一側(cè)且被涂敷對應(yīng)的墨的第3發(fā)光部，各發(fā)光部具備包含第1電極的基底層、與基底層相對地設(shè)置且按每個發(fā)光色涂敷包含有機(jī)發(fā)光材料的墨而形成的有機(jī)發(fā)光層、相對于有機(jī)發(fā)光層設(shè)置于與基底層相反側(cè)的第2電極和與基底層相對地設(shè)置且對多個發(fā)光部中的相鄰發(fā)光部進(jìn)行劃分而規(guī)定各發(fā)光部的多個分隔壁。第2像素部具有發(fā)光色相互不同的多個發(fā)光部，該多個發(fā)光部按順序排列有位于一側(cè)且被涂敷對應(yīng)的墨的第1發(fā)光部、位于中央側(cè)且被涂敷對應(yīng)的墨的第2發(fā)光部和位于另一側(cè)且被涂敷對應(yīng)的墨的第3發(fā)光部，各發(fā)光部具備包含第1電極的基底層、與基底層相對地設(shè)置且按每個發(fā)光色涂敷包含有機(jī)發(fā)光材料的墨而形成的有機(jī)發(fā)光層、相對于有機(jī)發(fā)光層設(shè)置于與基底層相反側(cè)的第2電極和與基底層相對地設(shè)置且對多個發(fā)光部中的相鄰發(fā)光部進(jìn)行劃分而規(guī)定各發(fā)光部的多個分隔壁；該第2像素部與第1像素部不同。非像素部夾插于第1像素部與第2像素部之間，不包含有機(jī)發(fā)光層，包含與第1電極分離的第3電極、和第2電極，第2電極與第3電極電連接。第1分隔壁配設(shè)于第1像素部與非像素部之間，對第1像素部的第3發(fā)光部與非像素部進(jìn)行劃分，與上述第1像素部以及上述第2像素部的各個中的多個分隔壁不同。第2分隔壁配設(shè)于第2像素部與非像素部之間，對第2像素部的第1發(fā)光部與非像素部進(jìn)行劃分，與上述第1像素部以及上述第2像素部的各個中的多個分隔壁不同。在上述結(jié)構(gòu)中，特征在于，關(guān)于規(guī)定第1像素部的第3發(fā)光部的相鄰的2個分隔壁，位于非像素部側(cè)的第ι分隔壁的面向第1像素部的第3發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度比位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的面向第1像素部的第2發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度大； 并且關(guān)于規(guī)定第2像素部的第1發(fā)光部的相鄰的2個分隔壁，位于非像素部側(cè)的第2分隔壁的面向第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度比位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的面向第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度大。在本發(fā)明的一方式所涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，關(guān)于規(guī)定第1像素部的第3發(fā)光部的相鄰的2個分隔壁，采用位于非像素部側(cè)的第1分隔壁的面向第1像素部的第3發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度比位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的面向第1像素部的第2發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度大的結(jié)構(gòu)。因此，在用于形成有機(jī)發(fā)光層的墨的涂敷時，可以使墨對于規(guī)定第1像素部的第3發(fā)光部的相鄰的2個分隔壁之中位于非像素部側(cè)的第1分隔壁的面向第1像素部的第3發(fā)光部側(cè)的表面部的鎖住位置，比墨對于位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的面向第1像素部的第2發(fā)光部側(cè)的表面部的鎖住位置高。因此，在本發(fā)明的一方式所涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，根據(jù)用于形成有機(jī)發(fā)光層的墨的涂敷時的蒸汽濃度的分布，存在第1 像素部的第3發(fā)光部處的第1分隔壁側(cè)部分的膜厚相對要變厚的傾向，相對于此，通過如上所述那樣將鎖住位置升高，可以抑制第1像素部的第3發(fā)光部處的有機(jī)發(fā)光層的膜厚的偏倚。另外，在本發(fā)明的一方式所涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，關(guān)于規(guī)定第2像素部的第1發(fā)光部的相鄰的2個分隔壁，采用位于非像素部側(cè)的第2分隔壁的面向第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度比位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的面向第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度大的結(jié)構(gòu)。因此，在用于形成有機(jī)發(fā)光層的墨的涂敷時，可以使墨對于規(guī)定第2像素部的第1發(fā)光部的相鄰的2個分隔壁之中位于非像素部側(cè)的第2分隔壁的面向第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部的鎖住位置，比墨對于位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的面向第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部的鎖住位置高。因此，在本發(fā)明的一方式所涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，根據(jù)用于形成有機(jī)發(fā)光層的墨的涂敷時的蒸汽濃度的分布，存在第2 像素部的第1發(fā)光部處的第2分隔壁側(cè)部分的膜厚要變厚的傾向，相對于此，通過如上所述那樣將鎖住位置升高，也可以抑制第2像素部的第1發(fā)光部處的有機(jī)發(fā)光層的膜厚的偏倚。另外，在第1像素部的第3發(fā)光部與第2像素部的第1發(fā)光部之間存在非像素部， 但在非像素部，不涂敷用于形成有機(jī)發(fā)光層的墨。因此，在第1像素部的第3發(fā)光部的第1分隔壁側(cè)以及第2像素部的第1發(fā)光部的第2分隔壁側(cè)，因不進(jìn)行墨的涂敷的非像素部的存在，蒸汽濃度比各個發(fā)光部的另一側(cè)相對變低，由此存在有機(jī)發(fā)光層的膜厚在該部分要變厚的傾向。在本發(fā)明的一方式中，相對于這樣的傾向，通過以上述的關(guān)系設(shè)定分隔壁的表面部的傾斜角度，可以抑制第1像素部的第3發(fā)光部以及第2像素部的第1發(fā)光部處的有機(jī)發(fā)光層的膜厚的偏倚。因此，在本發(fā)明的一方式所涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，可以抑制夾著非像素部的第1 像素部的第3發(fā)光部與第2像素部的第1發(fā)光部雙方的有機(jī)發(fā)光層的膜厚的偏倚，可以得到良好的發(fā)光特性。


圖1是表示實施方式所涉及的有機(jī)顯示裝置1的概略結(jié)構(gòu)的框圖。圖2是表示顯示面板10中的一部分子像素100的示意剖視圖。圖3是表示顯示面板10中的提欄105的示意俯視圖。圖4是表示顯示面板10的像素部100a、IOOb中的子像素IOOal 100a3、IOObl 和非像素部IOOc以及提欄10 105f的結(jié)構(gòu)的示意剖視圖。圖5 (a)是表示提欄側(cè)面部的錐角小的情況下的鎖住位置的示意剖視圖，(b)是表示提欄側(cè)面部的錐角大的情況下的鎖住位置的示意剖視圖，(c)是表示提欄側(cè)面部的錐角小的情況下的干燥后的有機(jī)發(fā)光層的狀態(tài)的示意剖視圖，(d)是表示提欄側(cè)面部的錐角大的情況下的干燥后的有機(jī)發(fā)光層的狀態(tài)的示意剖視圖。圖6是匯總表示提欄的表面部的傾斜角度(錐角)θ與鎖住位置的高度H以及有機(jī)發(fā)光層的膜厚T的關(guān)系的圖。圖7是表示樣本1 3中的有機(jī)發(fā)光層的膜厚分布的圖。圖8是表示樣本4、5中的有機(jī)發(fā)光層的膜厚分布的圖。圖9(a) (c)是按順序表示顯示面板10的制造方法中的主要部分工序的示意剖視圖。圖10(a)、(b)是按順序表示顯示面板10的制造方法中的主要部分工序的示意剖視圖。圖11是表示顯示面板10的制造方法中的墨的涂敷工序的示意剖視圖。圖12是表示變形例1所涉及的制造方法中的主要部分工序的示意剖視圖。圖13(a)、(b)是按順序表示變形例2所涉及的制造方法中的主要部分工序的示意剖視圖。圖14(a)、(b)是按順序表示變形例2所涉及的制造方法中的主要部分工序的示意剖視圖。圖15(a)是表示曝光、顯影處理與提欄的錐角的關(guān)系的圖，(b)是表示所形成的提欄的形狀的AFM。圖16(a)、(b)是用于說明錐角的定義的示意剖視圖。圖17是用于說明顯示面板10中的區(qū)域10al、10a2、10b的示意俯視圖。圖18是表示包含有機(jī)顯示裝置1的裝置的外觀的一例的外觀立體圖。圖19是表示變形例3所涉及的顯示面板80所具備的提欄805的結(jié)構(gòu)的示意俯視圖。圖20是表示顯示面板中的像素部90a、90b的各子像素的有機(jī)發(fā)光層的膜厚分布的偏倚狀態(tài)的示意剖視圖。圖21 (a) (c)是表示有機(jī)發(fā)光層的形成時的蒸汽濃度分布和墨干燥工序中的膜形狀的偏倚的狀態(tài)的示意剖視圖。符號說明1 顯示裝置，10,80 顯示面板，IOal 發(fā)光中央?yún)^(qū)域，10a2 發(fā)光周邊區(qū)域，IOb 虛設(shè)區(qū)域，20 驅(qū)動控制部，21 M 驅(qū)動電路，25 控制電路，100a、IOOb 像素部，IOOal 100a3、100bl 子像素，IOOc 非像素部，101 基板，102 陽極電極，103、303 電極被覆層， 104 空穴注入層，105,105a 105f、105x、105y、605、705、805 提欄，106、106x、106y 有機(jī)發(fā)光層，107 電子注入層，108 陰極電極，109 封止層，302 母線，501 505 掩模，1000a、 1000b 像素預(yù)定區(qū)域，IOOOal 1000a2、IOOObl 子像素預(yù)定區(qū)域，1000c 非像素預(yù)定區(qū)域，1050、1051b、1051c、1051d、1051e、1051f 提欄材料層，1060al 1060a3、1060bl、 1060x、1060y 墨。
具體實施例方式[本發(fā)明的一方式的概要]本發(fā)明的一方式所涉及的有機(jī)發(fā)光面板具備第1像素部、第2像素部、非像素部、 第1分隔壁和第2分隔壁。第1像素部具有發(fā)光色相互不同的多個發(fā)光部，該多個發(fā)光部按順序排列有位于一側(cè)且被涂敷對應(yīng)的墨的第1發(fā)光部、位于中央側(cè)且被涂敷對應(yīng)的墨的第2發(fā)光部和位于另一側(cè)且被涂敷對應(yīng)的墨的第3發(fā)光部，各發(fā)光部具備包含第1電極的基底層、與基底層相對地設(shè)置且按每個發(fā)光色涂敷包含有機(jī)發(fā)光材料的墨而形成的有機(jī)發(fā)光層、相對于有機(jī)發(fā)光層設(shè)置于與基底層相反側(cè)的第2電極和與基底層相對地設(shè)置且對多個發(fā)光部中的相鄰發(fā)光部進(jìn)行劃分而規(guī)定各發(fā)光部的多個分隔壁。第2像素部具有發(fā)光色相互不同的多個發(fā)光部，該多個發(fā)光部按順序排列有位于一側(cè)且被涂敷對應(yīng)的墨的第1發(fā)光部、位于中央側(cè)且被涂敷對應(yīng)的墨的第2發(fā)光部和位于另一側(cè)且被涂敷對應(yīng)的墨的第3發(fā)光部，各發(fā)光部具備包含第1電極的基底層、與基底層相對地設(shè)置且按每個發(fā)光色涂敷包含有機(jī)發(fā)光材料的墨而形成的有機(jī)發(fā)光層、相對于有機(jī)發(fā)光層設(shè)置于與基底層相反側(cè)的第2電極和與基底層相對地設(shè)置且對多個發(fā)光部中的相鄰發(fā)光部進(jìn)行劃分而規(guī)定各發(fā)光部的多個分隔壁；該第2像素部與第1像素部不同。非像素部夾插于第1像素部與第2像素部之間，不包含有機(jī)發(fā)光層，包含與第1電極分離的第3電極、和第2電極，第2電極與第3電極電連接。第1分隔壁配設(shè)于第1像素部與非像素部之間，對第1像素部的第3發(fā)光部與非像素部進(jìn)行劃分，與上述第1像素部以及上述第2像素部的各個中的多個分隔壁不同。第2分隔壁配設(shè)于第2像素部與非像素部之間，對第2像素部的第1發(fā)光部與非像素部進(jìn)行劃分，與上述第1像素部以及上述第2像素部的各個中的多個分隔壁不同。在上述結(jié)構(gòu)中，特征在于，關(guān)于規(guī)定第1像素部的第3發(fā)光部的相鄰的2個分隔壁，位于非像素部側(cè)的第ι分隔壁的面向第1像素部的第3發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度比位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的面向第1像素部的第2發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度大； 并且關(guān)于規(guī)定第2像素部的第1發(fā)光部的相鄰的2個分隔壁，位于非像素部側(cè)的第2分隔壁的面向第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度比位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的面向第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度大。在本發(fā)明的一方式所涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，關(guān)于規(guī)定第1像素部的第3發(fā)光部的相鄰的2個分隔壁，采用位于非像素部側(cè)的第1分隔壁的面向第1像素部的第3發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度比位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的面向第1像素部的第2發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度大的結(jié)構(gòu)。因此，在用于形成有機(jī)發(fā)光層的墨的涂敷時，可以使墨對于規(guī)定第1像素部的第3發(fā)光部的相鄰的2個分隔壁之中位于非像素部側(cè)的第1分隔壁的面向第1像素部的第3發(fā)光部側(cè)的表面部的鎖住位置，比墨對于位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的面向第1像素部的第2發(fā)光部側(cè)的表面部的鎖住位置高。因此，在本發(fā)明的一方式所涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，根據(jù)用于形成有機(jī)發(fā)光層的墨的涂敷時的蒸汽濃度的分布，存在第1 像素部的第3發(fā)光部處的第1分隔壁側(cè)部分的膜厚相對要變厚的傾向，相對于此，通過如上所述那樣將鎖住位置升高，可以抑制第1像素部的第3發(fā)光部處的有機(jī)發(fā)光層的膜厚的偏倚。另外，在本發(fā)明的一方式所涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，關(guān)于規(guī)定第2像素部的第1發(fā)光部的相鄰的2個分隔壁，采用位于非像素部側(cè)的第2分隔壁的面向第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度比位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的面向第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度大的結(jié)構(gòu)。因此，在用于形成有機(jī)發(fā)光層的墨的涂敷時，可以使墨對于規(guī)定第2像素部的第1發(fā)光部的相鄰的2個分隔壁之中位于非像素部側(cè)的第2分隔壁的面向第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部的鎖住位置，比墨對于位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的面向第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部的鎖住位置高。因此，在本發(fā)明的一方式所涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，根據(jù)用于形成有機(jī)發(fā)光層的墨的涂敷時的蒸汽濃度的分布，存在第2 像素部的第1發(fā)光部處的第2分隔壁側(cè)部分的膜厚要變厚的傾向，相對于此，通過如上所述那樣將鎖住位置升高，也可以抑制第2像素部的第1發(fā)光部處的有機(jī)發(fā)光層的膜厚的偏倚。另外，在第1像素部的第3發(fā)光部與第2像素部的第1發(fā)光部之間存在非像素部， 但在非像素部，不涂敷用于形成有機(jī)發(fā)光層的墨。因此，在第1像素部的第3發(fā)光部的第1 分隔壁側(cè)以及第2像素部的第1發(fā)光部的第2分隔壁側(cè)，因不進(jìn)行墨的涂敷的非像素部的存在，蒸汽濃度比各個發(fā)光部的另一側(cè)相對變低，由此存在有機(jī)發(fā)光層的膜厚在該部分要變厚的傾向。在本發(fā)明的一方式中，相對于這樣的傾向，通過以上述的關(guān)系設(shè)定分隔壁的表面部的傾斜角度，可以抑制第1像素部的第3發(fā)光部以及第2像素部的第1發(fā)光部處的有機(jī)發(fā)光層的膜厚的偏倚。因此，在本發(fā)明的一方式所涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，可以抑制夾著非像素部的第1 像素部的第3發(fā)光部與第2像素部的第1發(fā)光部雙方的有機(jī)發(fā)光層的膜厚的偏倚，可以得到良好的發(fā)光特性。在本發(fā)明的一方式所涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，在上述結(jié)構(gòu)中，可以采用以下結(jié)構(gòu) 第1分隔壁的面向第1像素部的第3發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度比第1分隔壁的面向非像素部側(cè)的表面部的傾斜角度大；并且第2分隔壁的面向第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度比第2分隔壁的面向非像素部側(cè)的表面部的傾斜角度大。該結(jié)構(gòu)如果反過來說，則是第1分隔壁的面向非像素部側(cè)的表面部的傾斜角度比面向第1像素部的第3發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度小，另外第2分隔壁的面向非像素部側(cè)的表面部的傾斜角度比面向第1發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度小。由此，在采用該結(jié)構(gòu)的情況下，可以防止在非像素部的與第1分隔壁以及第2分隔壁的邊界部分產(chǎn)生第2電極的斷裂(段切Λ)和/或泄漏電流。即，在第1分隔壁以及第2 分隔壁中，由于將面向非像素部側(cè)的表面部的傾斜角度設(shè)定得比面向第1像素部的第3發(fā)光部以及第2像素部的第1發(fā)光部各側(cè)的表面部的傾斜角度相對平緩，所以可以防止也連續(xù)形成于這些分隔壁的上部的第2電極產(chǎn)生斷裂和/或泄漏電流的情況，可以實現(xiàn)第2電極與第3電極之間的切實電連接。在本發(fā)明的一方式所涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，在上述結(jié)構(gòu)中，可以采用以下結(jié)構(gòu) 在第1像素部以及第2像素部的各個中，規(guī)定第2發(fā)光部的相鄰分隔壁的相對的表面部的傾斜角度相互相等。在有機(jī)發(fā)光面板中，在第1像素部以及第2像素部的各個中，關(guān)于配置于各中央部的第2發(fā)光部，在兩側(cè)配置有第1發(fā)光部和第3發(fā)光部，難以產(chǎn)生蒸汽濃度的偏倚。因此， 在本發(fā)明的一方式所涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，通過采用在第1像素部以及第2像素部的各個中，規(guī)定第2發(fā)光部的相鄰分隔壁的相對的表面部的傾斜角度相互相等的結(jié)構(gòu)，可以防止第1像素部以及第2像素部的各個中的第2發(fā)光部處的膜厚的偏倚。由此，在采用這樣的結(jié)構(gòu)的情況下，在第1像素部以及第2像素部的各個中，可以防止第2發(fā)光部處的有機(jī)發(fā)光層的膜厚的偏倚，可以得到良好的發(fā)光特性。另外，上述的所謂“相等”，并不是意味著在數(shù)值方面必須完全相等，而是考慮了有機(jī)發(fā)光面板的制造上的尺寸誤差等意義的相等。具體地，在面板的中央部與外周部，在分別所屬的像素部的發(fā)光效率的差異(輝度不均)在實用上可以允許的范圍內(nèi)的，均為使傾斜角度設(shè)定為相等之意。對于這一點，以下也同樣。本發(fā)明的一方式所涉及的有機(jī)發(fā)光面板，在上述結(jié)構(gòu)中，可以采用以下結(jié)構(gòu)第1 分隔壁的面向非像素部側(cè)的表面部的傾斜角度，與第2分隔壁的面向非像素部側(cè)的表面部的傾斜角度相等。由此，可以將非像素部中的、第1分隔壁的非像素部側(cè)與第2分隔壁的非像素部側(cè)的兩邊界部分處的第2電極的膜厚設(shè)定為相同厚度，可以更有效地抑制斷裂和/ 或泄漏電流的產(chǎn)生的問題。本發(fā)明的一方式所涉及的有機(jī)發(fā)光面板，在上述結(jié)構(gòu)中，可以采用以下結(jié)構(gòu)在第 1像素部以及第2像素部的各個中，第1發(fā)光部、第2發(fā)光部以及第3發(fā)光部，通過同時涂敷與各發(fā)光色相對應(yīng)的墨而形成所述有機(jī)發(fā)光層而成。在這樣同時涂敷墨的情況下，因在第1像素部與第2像素部之間配置有非像素部，存在著在第1像素部以及第2像素部的各個的第1發(fā)光部的非像素部側(cè)以及第3發(fā)光部的非像素部側(cè)，有機(jī)發(fā)光層的膜厚要變厚的傾向。相對于此，由于如上所述那樣規(guī)定第1分隔壁的面向第1像素部的第3發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度以及第2分隔壁的面向第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度，所以可以抑制第1像素部的第3發(fā)光部處的有機(jī)發(fā)光層的膜厚以及第2像素部的第1 發(fā)光部處的有機(jī)發(fā)光層的膜厚的各偏倚。由此，在采用這樣的結(jié)構(gòu)的情況下，在第1像素部以及第2像素部的各發(fā)光部中，可以防止有機(jī)發(fā)光層的膜厚的偏倚，可以得到良好的發(fā)光特性。在本發(fā)明的一方式所涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，在上述結(jié)構(gòu)中，可以規(guī)定為“傾斜角度”為分隔壁的上述相對的各表面部與形成有分隔壁的基底層(第1電極或者空穴注入層、進(jìn)而空穴注入輸送層相當(dāng)于其)的上表面所成的角度。本發(fā)明的一方式所涉及的有機(jī)顯示裝置，具備上述的任意一個本發(fā)明的一方式所涉及的有機(jī)發(fā)光面板。因此，本發(fā)明的一方式所涉及的有機(jī)顯示裝置可以得到上述本發(fā)明的一方式所涉及的有機(jī)發(fā)光面板所具有的效果，即通過防止有機(jī)發(fā)光層的膜厚的偏倚可得到良好的發(fā)光特性。本發(fā)明的一方式所涉及的有機(jī)發(fā)光面板的制造方法，是用于制造分別具有多個發(fā)光部的第1像素部以及第2像素部以在中間夾有非像素部的狀態(tài)設(shè)置而成的有機(jī)發(fā)光面板的方法，包括以下工序。(第1工序)在基板上形成包含第1電極的基底層。(第2工序)在基底層上層疊感光性抗蝕劑材料。(第3工序)通過對所層疊的感光性抗蝕劑材料進(jìn)行掩模曝光并形成圖案，作為第 1像素部形成與第1發(fā)光部相對應(yīng)的第1開口、與第2發(fā)光部相對應(yīng)的第2開口、與第3發(fā)光部相對應(yīng)的第3開口，并形成對相鄰的發(fā)光部進(jìn)行劃分而規(guī)定各發(fā)光部的多個分隔壁， 作為第2像素部形成與第1發(fā)光部相對應(yīng)的第1開口、與第2發(fā)光部相對應(yīng)的第2開口、與第3發(fā)光部相對應(yīng)的第3開口，并形成對相鄰的發(fā)光部進(jìn)行劃分而規(guī)定各發(fā)光部的多個分隔壁，在第1像素部與第2像素部之間形成與非像素部相對應(yīng)的開口，并形成對第1像素部與非像素部進(jìn)行劃分的第1分隔壁和對第2像素部與非像素部進(jìn)行劃分的第2分隔壁。(第4工序)對第1像素部以及第2像素部中的第1開口至第3開口的各個，滴下包含有機(jī)發(fā)光材料的墨并使其干燥，形成有機(jī)發(fā)光層。(第5工序)在有機(jī)發(fā)光層的上方形成第2電極。在本發(fā)明的一方式所涉及的有機(jī)發(fā)光面板的制造方法中，在上述第3工序中，關(guān)于規(guī)定第1像素部的第3發(fā)光部的相鄰的2個分隔壁，將位于非像素部側(cè)的分隔壁的面向第1像素部的第3發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度形成得比位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的面向第1像素部的第3發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度大；并且關(guān)于規(guī)定第2像素部的第1發(fā)光部的相鄰的2個分隔壁，將位于非像素部側(cè)的分隔壁的面向第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度形成得比位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的面向第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度大。此外，在上述第4工序中，對于第1像素部以及第2像素部的第1開口至第3開口的各個同時滴下與各發(fā)光色相對應(yīng)的墨，形成有機(jī)發(fā)光層。通過使用這樣的制造方法，可以制造一種有機(jī)發(fā)光面板，其具有下述的特征關(guān)于規(guī)定第1像素部的第3發(fā)光部的相鄰的2個分隔壁，位于非像素部側(cè)的分隔壁的面向第1 像素部的第3發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度比位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的面向第1像素部的第3發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度大；并且關(guān)于規(guī)定第2像素部的第1發(fā)光部的相鄰的2個分隔壁，位于非像素部側(cè)的分隔壁的面向第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度比位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的面向第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度大；如上所述，可以有效防止因墨涂敷時的蒸汽濃度的分布引起的有機(jī)發(fā)光層的膜厚的偏倚。因此，用本發(fā)明的一方式所涉及的有機(jī)發(fā)光面板的制造方法，可以制造具有良好的發(fā)光特性的有機(jī)發(fā)光面板。在本發(fā)明的一方式所涉及的有機(jī)發(fā)光面板的制造方法中，在上述構(gòu)成中，作為使分隔壁(包含第1分隔壁以及第2分隔壁)的相應(yīng)表面部的傾斜角度增大的具體方法，可以采用例如以下的方法。在本發(fā)明的一方式所涉及的有機(jī)發(fā)光面板的制造方法中，可以采用以下構(gòu)成在上述第3工序中，關(guān)于感光性抗蝕劑材料的曝光，關(guān)于規(guī)定第1像素部的第3發(fā)光部的相鄰的2個分隔壁，通過使向與位于非像素部側(cè)的分隔壁的面向第1像素部的第3發(fā)光部側(cè)的表面部相當(dāng)?shù)牟糠值钠毓饬勘认蚺c位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的面向第1像素部的第3發(fā)光部側(cè)的表面部相當(dāng)?shù)牟糠值钠毓饬看?，將位于非像素部?cè)的分隔壁的面向第1像素部的第3發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度形成得比位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的面向所述第1像素部的第3發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度大；并且關(guān)于規(guī)定第2像素部的第1發(fā)光部的相鄰的2個分隔壁，通過使向與位于非像素部側(cè)的分隔壁的面向所述第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部相當(dāng)?shù)牟糠值钠毓饬勘认蚺c位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的面向所述第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部相當(dāng)?shù)牟糠值钠毓饬看?，將位于非像素部?cè)的分隔壁的面向第 2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度形成得比位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的面向第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度大。這樣，通過使用多個掩模，根據(jù)位置使曝光量變化，可以相對改變分隔壁的相應(yīng)表面部的傾斜角度。另外，在本發(fā)明的一方式所涉及的有機(jī)發(fā)光面板的制造方法中，也可以采用以下構(gòu)成在上述第3工序中，關(guān)于感光性抗蝕劑材料的曝光，關(guān)于規(guī)定第1像素部的第3發(fā)光部的相鄰的2個分隔壁，為了使向與位于非像素部側(cè)的分隔壁的面向第1像素部的第3發(fā)光部側(cè)的表面部相當(dāng)?shù)牟糠值墓馔干渎时认蚺c位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的面向第1像素部的第3發(fā)光部側(cè)的表面部相當(dāng)?shù)牟糠值墓馔干渎市?，使用對與各個表面部相當(dāng)?shù)牟糠值墓馔干渎释干渎氏嗷ゲ煌难谀?，由此將位于非像素部?cè)的分隔壁的面向第1像素部的第 3發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度形成得比位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的面向第1像素部的第3發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度大；并且關(guān)于規(guī)定第2像素部的第1發(fā)光部的相鄰的2 個分隔壁，為了使向與位于非像素部側(cè)的分隔壁的面向第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部相當(dāng)?shù)牟糠值墓馔干渎时认蚺c位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的面向第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部相當(dāng)?shù)牟糠值墓馔干渎市?，使用對與各個表面部相當(dāng)?shù)牟糠值墓馔干渎氏嗷ゲ煌难谀?，由此將位于非像素部?cè)的分隔壁的面向第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度形成得比位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的面向第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度大。這樣，通過在一張掩模中，根據(jù)位置使光的透光率變化，可以相對改變分隔壁的相應(yīng)表面部的傾斜角度。另外，在本發(fā)明的一方式所涉及的有機(jī)發(fā)光面板的制造方法中，也可以在上述第 3工序中，在對感光性抗蝕劑材料進(jìn)行曝光并顯影之后，關(guān)于規(guī)定第1像素部的第3發(fā)光部的相鄰的2個分隔壁，通過對與位于非像素部側(cè)的分隔壁的面向第1像素部的第3發(fā)光部
12側(cè)的表面部相當(dāng)?shù)牟糠肿芳舆M(jìn)行曝光處理，將位于非像素部側(cè)的分隔壁的面向第1像素部的第3發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度形成得比位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的相對的表面部的傾斜角度大；并且關(guān)于規(guī)定第2像素部的第1發(fā)光部的相鄰的2個分隔壁，通過對與位于非像素部側(cè)的分隔壁的面向第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部相當(dāng)?shù)牟糠肿芳舆M(jìn)行曝光處理，將位于非像素部側(cè)的分隔壁的面向第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度形成得比位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的面向第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度大。這樣，通過按每個位置使曝光的執(zhí)行次數(shù)變化，可以相對增大分隔壁的相應(yīng)表面部的傾斜角度。[得到本發(fā)明所涉及的實施方式的經(jīng)過]本發(fā)明人對在[背景技術(shù)]中記載的有機(jī)發(fā)光面板以及具備該有機(jī)發(fā)光面板的有機(jī)顯示裝置進(jìn)行銳意研究，結(jié)果得到以下的認(rèn)知。如圖20所示，在X軸方向，像素部90a與像素部90b以在中間夾插有非像素部90c 的狀態(tài)配置。在像素部90a以及像素部90b，分別包含與紅色(R)、綠色(G)、藍(lán)色(B)這3種發(fā)光色相對應(yīng)的子像素 90al、90a2、90a3、90bl、90l32、90b3。在各子像素 90al、90a2、90a3、 90bl、90l32、90b3，在基板901上，設(shè)置有陽極電極902以及覆蓋該陽極電極902的電極被覆層903，進(jìn)而，以覆蓋電極被覆層903以及基板901的表面的方式，形成有空穴注入層904， 在空穴注入層904上，按每個對應(yīng)的發(fā)光色層疊形成有有機(jī)發(fā)光層906al、906a2、906a3、 906bl、906b2、906b3。有機(jī)發(fā)光層 906al、906a2、906a3、906bl、906b2、906b3 通過豎立設(shè)置于空穴注入層904上的提欄90 905d、905e 90 劃分。另一方面，在非像素部90c，具有母線(廣H、932以及覆蓋該母線的電極被覆層933，但不具有有機(jī)發(fā)光層。如圖20所示，在以往技術(shù)所涉及的有機(jī)發(fā)光面板中，在像素部90a、90b中分別與非像素部90c相鄰的子像素90a3、90bl的有機(jī)發(fā)光層906a3、906bl中，有時膜厚會產(chǎn)生偏倚。具體地，產(chǎn)生子像素90a3的有機(jī)發(fā)光層906a3的在提欄905d側(cè)的位置C6的高度比在提欄905c側(cè)的位置C5的高度以及子像素90a2的有機(jī)發(fā)光層906a2的在提欄9(^b、905c各側(cè)的位置(3丄4的高度高的現(xiàn)象。同樣，子像素90bl的有機(jī)發(fā)光層906bl的在提欄90 側(cè)的位置C7的高度比在提欄905f側(cè)的位置C8的高度以及子像素9(Λ2的有機(jī)發(fā)光層906b2 的在提欄905f、905g各側(cè)的位置C9、C10的高度高。另外，關(guān)于子像素90al、90b3的有機(jī)發(fā)光層906al、9(^b3的在提欄90^1、90釙各
側(cè)的位置Cp C12也同樣，高度變高。關(guān)于上述現(xiàn)象，本發(fā)明人反復(fù)進(jìn)行研究，結(jié)果推定為有機(jī)發(fā)光層的膜厚的均勻性的低下如以下所說明，起因于墨干燥時的蒸汽濃度分布的不均勻。具體地，可以認(rèn)為如圖 21(a)所示，假定在被規(guī)定于提欄905c與提欄905d之間的區(qū)域涂敷有用于形成有機(jī)發(fā)光層的墨9060a3的狀態(tài)，在此時的蒸汽濃度分布如兩點劃線所示在圖21 (a)的右側(cè)比左側(cè)低時，因以下的關(guān)系有機(jī)發(fā)光層的膜厚會產(chǎn)生偏倚。其中，之所以在圖21 (a)的右側(cè)的蒸汽濃度分布比左側(cè)低，可以認(rèn)為起因于在提欄905d的右側(cè)，存在非像素部90c (參照圖20)，不進(jìn)行墨的涂敷。如圖21 (a)所示，在墨9060a3的滴下之后，墨9060a3的表面輪廓L9tl成為子像素的中央部分突起的形狀。在使其干燥的情況下，形式上可以認(rèn)為因上述的蒸汽濃度的分布，在蒸汽濃度低的一側(cè)蒸發(fā)速度快，在蒸汽濃度高的一側(cè)慢，所以變化為表面輪廓L91。但是，如圖21(b)所示，在干燥過程中的墨9061a3的內(nèi)部，產(chǎn)生由虛線箭頭Li32所示的溶劑的移動。這是溶劑為了補充所蒸發(fā)的量而移動(為了將表面自由能設(shè)定為最小而移動)的情況，伴隨著溶劑的移動，溶質(zhì)(有機(jī)發(fā)光材料)也移動。因此，如圖21(c)所示， 在蒸汽濃度分布具有偏倚的情況下，形成表面輪廓L93越向右側(cè)越突起的(位置C6的高度比位置C5的高度高的)有機(jī)發(fā)光層906a3。如上所述，本發(fā)明人得到以下的推論關(guān)于有機(jī)發(fā)光面板，因墨干燥時的蒸汽濃度分布的不均勻，所形成的有機(jī)發(fā)光層的膜厚的均勻性會下降。而且，本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)了如下的技術(shù)特征通過在面板表面內(nèi)使提欄的表面部的傾斜角度不同，使墨在提欄側(cè)面部的鎖住位置不同，結(jié)果實現(xiàn)有機(jī)發(fā)光層的膜厚的均勻化。[實施方式]以下，參照附圖對用于實施本發(fā)明的方式的一例進(jìn)行說明。另外，在以下的說明中使用的方式是為了容易理解地對本發(fā)明的結(jié)構(gòu)以及作用效果進(jìn)行說明而使用的例子，本發(fā)明除了其本質(zhì)的特征部分以外不受以下的方式的任何限定。1.顯示裝置1的概略結(jié)構(gòu)使用圖1，對本實施方式所涉及的顯示裝置1的整體結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。如圖1所示，顯示裝置(有機(jī)顯示裝置)1構(gòu)成為具有顯示面板部10和與其連接的驅(qū)動控制部20。顯示面板部10是利用有機(jī)材料的場致發(fā)光現(xiàn)象的有機(jī)發(fā)光面板，在X-Y 面方向2維排列有多個像素部。另外，驅(qū)動控制部20包括4個驅(qū)動電路21 M和控制電路25。另外，在實際的顯示裝置1中，關(guān)于驅(qū)動控制部20的相對于顯示面板部10的配置，并不限定于此。2.顯示面板10的結(jié)構(gòu)使用圖2對于顯示面板10的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。另外，本實施方式所涉及的顯示面板 10，作為一例，采用頂部發(fā)射型的有機(jī)發(fā)光面板，構(gòu)成為將具備有機(jī)發(fā)光層的多個像素部配置為矩陣狀，所述有機(jī)發(fā)光層具有紅(R)、綠(G)、藍(lán)(B)中的某一種發(fā)光色，但在圖2中，抽取一個像素部中的一個子像素100進(jìn)行描繪。如圖2所示，顯示面板10在TFT基板(以下，簡記為“基板”)101上，形成有陽極電極102，在陽極電極102上，依次層疊形成有電極被覆層103以及空穴注入輸送層104。另夕卜，陽極電極102以及電極被覆層103以按每個子像素100分離的狀態(tài)形成。在空穴注入輸送層104上，豎立設(shè)置有包含絕緣材料且對子像素100彼此之間進(jìn)行劃分的提欄(分隔壁)105。在各子像素100的由提欄105劃分的區(qū)域，形成有有機(jī)發(fā)光層106，在其上，按順序?qū)盈B形成有電子注入層107、陰極電極108以及封止層109。a)基板 101基板101以例如無堿玻璃、鈉鈣玻璃、無熒光玻璃、磷酸系玻璃、硼酸系玻璃、石英、丙烯酸系樹脂、苯乙烯系樹脂、聚碳酸酯系樹脂、環(huán)氧系樹脂、聚乙烯、聚酯、硅酮系樹脂或者氧化鋁等絕緣性材料為基礎(chǔ)而形成。而且，在基板101上，層疊形成有TFT層以及鈍化膜、進(jìn)而形成有層間絕緣膜等，圖示省略。b)陽極電極102陽極電極102由包含導(dǎo)電性材料的單層或者將多層層疊而成的層疊體構(gòu)成，使用例如Al (鋁)和/或包含鋁的合金、Ag (銀)、APC (銀、鈀、銅的合金)、ARA (銀、銣、金的合金)、MoCr(鉬與鉻的合金)、NiCr (鎳與鉻的合金)等形成。另外，在如本實施方式那樣頂部發(fā)射型的情況下，優(yōu)選用高反射性的材料形成。C)電極被覆層103電極被覆層103使用例如ITO(氧化銦錫)形成，被覆陽極電極102的Z軸方向上部的表面的至少一部分。d)空穴注入輸送層104空穴注入輸送層104是包含例如銀(Ag)、鉬(Mo)、鉻(Cr)、釩(V)、鎢(W)、鎳(Ni)、 銥(Ir)等的氧化物或者PEDOT (聚噻吩與聚苯乙烯磺酸的混合物)等導(dǎo)電性聚合物材料的層。在上述之中，包含氧化金屬的空穴注入輸送層104具有使空穴穩(wěn)定或者輔助空穴的生成而對有機(jī)發(fā)光層106注入以及輸送空穴的功能，具有較大的功函數(shù)。在此，在由過渡金屬的氧化物構(gòu)成空穴注入輸送層104的情況下，由于可取得多個氧化值，所以由此可以取得多個能級，其結(jié)果，空穴注入變得容易，可以降低驅(qū)動電壓。e)提欄 105提欄(分隔壁)105由樹脂等有機(jī)材料形成，具有絕緣性。作為在提欄105的形成中使用的有機(jī)材料的例子，可以列舉丙烯酸系樹脂、聚酰亞胺系樹脂、酚醛清漆型酚醛樹脂等。并且，提欄105優(yōu)選具有耐有機(jī)溶劑性。進(jìn)而，在提欄105的形成中，由于實施蝕刻處理以及烘烤處理等，所以優(yōu)選用對于這些處理不會過度變形、變質(zhì)等的耐性高的材料形成。另外，為了使其具有撥水性，也可以對側(cè)面部進(jìn)行氟處理。另外，對于在提欄105的形成中使用的絕緣材料，可以以上述的各材料為代表， 使用特別是電阻率為105Ω · cm以上并且具有撥水性的材料。這是因為在使用電阻率為 IO5Ω -cm以下的材料的情況下，會成為陽極電極102與陰極電極108之間的泄漏電流或者相鄰子像素100之間的泄漏電流的產(chǎn)生的原因，產(chǎn)生功耗增加等各種問題。另外是因為在使用親水性的材料形成提欄105的情況下，提欄105的側(cè)面部與空穴注入輸送層104的表面的親液性/撥液性的差異變小，難以使為了形成有機(jī)發(fā)光層106 而包含有機(jī)物質(zhì)的墨選擇性地保持在提欄105的開口部。進(jìn)而，對于提欄105的結(jié)構(gòu)，不僅可以采用圖2所示的一層結(jié)構(gòu)，而且也可以采用兩層以上的多層結(jié)構(gòu)。在該情況下，既可以在每層將上述材料組合，也可以在每層使用無機(jī)材料和有機(jī)材料。f)有機(jī)發(fā)光層106有機(jī)發(fā)光層106具有通過使從陽極電極102注入的空穴與從陰極電極108注入的電子再結(jié)合而產(chǎn)生激勵狀態(tài)從而發(fā)光的功能。在有機(jī)發(fā)光層106的形成中使用的材料，需要使用可以使用濕式印刷法制膜的發(fā)光性有機(jī)材料。具體地，優(yōu)選用例如專利公開公報(日本特開平5-163488號公報)中記載的類喔星化合物(oxinoid化合物)、茈化合物、香豆素化合物、氮雜香豆素化合物、噁唑化合物、噁二唑化合物、紫環(huán)酮化合物、吡咯并吡咯化合物、萘化合物、蒽化合物、芴化合物、熒蒽化合物、并四苯化合物、芘化合物、暈苯合物、喹諾酮化合物及氮雜喹諾酮化合物、吡唑啉衍生物
及吡唑啉酮衍生物、若丹明化合物、M (chrysene)化合物、菲化合物、環(huán)戊二烯化合物、芪
化合物、二苯基苯醌化合物、苯乙烯化合物、丁二烯化合物、雙氰亞甲基吡喃化合物、雙氰亞甲基噻喃化合物、熒光素化合物、吡喃鐺化合物、噻喃鐺化合物、硒吡喃鐺(力> f U U y κ )化合物、碲吡喃鐺(r ^ Π -J -J ^ Λ )化合物、芳香族坎利酮化合物、低聚亞苯基 (才〗j(luò) 7工二 > > )化合物、噻噸化合物、蒽化合物(7 > 7，七 > )、花青苷(cyanine) 化合物、吖啶化合物、8-羥基喹啉化合物的金屬配合物、2，2’ -聯(lián)吡啶化合物的金屬配合物、席夫堿與III族金屬的配合物、喔星(才*〉> )金屬配合物、稀土類配合物等熒光物質(zhì)形成。g)電子注入層107電子注入層107具有將從陰極電極108注入的電子向有機(jī)發(fā)光層106輸送的功能，例如，優(yōu)選由鋇、酞菁、氟化鋰或者這些物質(zhì)的組合形成。h)陰極電極108陰極電極108由例如ΙΤ0、ΙΖ0(氧化銦鋅)等形成。在頂部發(fā)射型的顯示面板10 的情況下，優(yōu)選由光透射性的材料形成。對于光透射性，優(yōu)選將透射率設(shè)定為80%以上。作為在陰極電極108的形成中使用的材料，除了上述的材料之外，也可以使用例如將包含堿金屬、堿土類金屬或者這些金屬的鹵化物的層與包含銀的層按該順序?qū)盈B而成的結(jié)構(gòu)。在以上所述中，包含銀的層既可以單獨由銀形成，也可以由銀合金形成。另外，為了實現(xiàn)光取出效率的提高，也可以從該包含銀的層的上方設(shè)置透明度高的折射率調(diào)整層。i)封止層 109封止層109具有抑制有機(jī)發(fā)光層106等暴露于水分中或者暴露于空氣中的功能， 可使用例如SiN(氮化硅)、SiON(氮氧化硅)等材料形成。在頂部發(fā)射型的顯示面板10的情況下，優(yōu)選由光透射性的材料形成。3.提欄105的結(jié)構(gòu)如圖3所示，在本實施方式所涉及的顯示面板10中，作為一例采用線狀的提欄 105。具體地，提欄105，分別在Y軸方向延伸形成，對在X軸方向相鄰的像素部的各子像素之間進(jìn)行劃分，另外，對像素部與非像素部之間進(jìn)行劃分(在圖3中，對于非像素部，圖示省略)。而且，各像素部中的子像素100形成為發(fā)光色按由提欄105劃分的每個區(qū)域不同，例如，以紅色(R)、綠色(G)、藍(lán)色(B)各發(fā)光色的3個子像素的組合，構(gòu)成一個像素部。4.顯示面板10的一部分區(qū)域中的結(jié)構(gòu)使用圖4對顯示面板10的一部分區(qū)域中的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。另外，圖4是對圖1中的顯示面板10以A-A’剖面進(jìn)行剖切并將其一部分示意化的剖視端面圖。如圖4所示，顯示面板10以TFT基板(以下，簡記為“基板”)101為基礎(chǔ)，像素部 IOOa與像素部IOOb以在中間夾插有非像素部IOOc的狀態(tài)配置。像素部IOOaUOOb的各個
與子像素100al、100a2、100a3、IOObl.......的各個相對應(yīng)地形成有陽極電極102，在陽極
電極102上，按順序?qū)盈B形成有電極被覆層103以及空穴注入輸送層104。在空穴注入輸送層104上，豎立設(shè)置有包含絕緣材料且分別規(guī)定子像素lOOal、 100a2、100a3、100bl、......的提欄 105a 105f。另外，在各子像素 lOOal、100a2、100a3、IOObl.......的由提欄10 105f劃分的各區(qū)域，按順序?qū)盈B形成有有機(jī)發(fā)光層、電子
注入層、陰極電極以及封止層(在圖4中，圖示省略)。在本實施方式所涉及的顯示面板10中，像素部IOOa以子像素IOOal 100a3的
組合構(gòu)成，像素部IOOb以子像素IOObl.......(與像素部IOOa同樣由3個子像素構(gòu)成)
的組合構(gòu)成。而且，如上所述，在像素部IOOa與像素部IOOb之間夾插有非像素部100c。像素部IOOa的子像素100a3與非像素部IOOc之間由提欄105d劃分，像素部IOOb與非像素部IOOc之間由提欄10 劃分。如圖4所示，在非像素部100c，設(shè)置有包含與陽極電極102相同材料且與陽極電極 102分離的電極(母線)302和被覆該電極302的電極被覆層303，在電極被覆層303上，延伸設(shè)置有空穴注入輸送層104。而且，雖然圖示省略，但在其上形成有陰極電極，母線302與陰極電極108電連接。另外，在非像素部100c，不形成有機(jī)發(fā)光層。通過采取這樣的結(jié)構(gòu)，可以實現(xiàn)由 ITO等構(gòu)成的陰極電極108(參照圖2)的電阻的降低，可以抑制電壓下降。如圖4所示，在本實施方式所涉及的顯示面板10中，提欄10 105f的各自的表面部 105b2、105c2、105c3、105d3、105dc、105ec、105el、105fl 與作為基底層的空穴注入輸送層 104 的表面分別成角度 θ b2, θ C2、θ C3、θ d3、θ dc、θ ec、θ el、θ Π。在此，在本實施方式中，角度θ b2、θ C2、θ C3、θ d3、θ dc、θ ec、θ el、θ fl滿足以下的各式所示的關(guān)系。[式 1] θ d3 > θ c3[式 2] θ el > θ fl[式 3] θ d3 > θ dc[式 4] θ el > θ ec[式 5] θ b2 = θ c2[式 6] θ dc = θ ec另外，在本實施方式中，可以在例如以下的范圍設(shè)定各角度θ W、0c2, 0C3、 θ d3、θ dc、θ ec、θ el、θ fl。[式 7]25° < θ b2 = θ c2 = θ c3 = θ dc = θ ec = θ fl < 35°[式 8]；35° < θ d3 < 45°[式 9]；35° < θ el < 45°之所以以上述[式1] [式9]的關(guān)系規(guī)定提欄10 105f的各自的表面部 105b2、105c2、105c3、105d3、105dc、105ec、105el、105fl 的傾斜角度 θ b2、θ c2、θ c3、 θ d3、θ dc、θ ec、θ el、θ fl，是由于在相鄰的像素部IOOa與像素部IOOb之間配置非像素部IOOc和后述的墨1060al 1060a3、1060bl、......的涂敷形態(tài)。5.提欄105的側(cè)面部的傾斜角度θ與有機(jī)發(fā)光層106的膜厚的關(guān)系使用圖5以及圖6對提欄105的表面部的傾斜角度θ與有機(jī)發(fā)光層106的膜厚的關(guān)系進(jìn)行說明。另外，在圖5中，示意性描繪一個子像素的結(jié)構(gòu)。如圖5(a)所示，提欄10 的表面部的傾斜角度(提欄10 的表面部與空穴注入輸送層104的表面所成的角度)為角度θ χ，如圖5(b)所示，提欄105y的表面部的傾斜角度(提欄105y的表面部與空穴注入輸送層104的表面所成的角度)為角度θ y。角度θ χ與角度θy滿足以下的關(guān)系。[式 10] θ y > θ χ若向由各提欄10h、105y劃分的開口部滴下(涂敷)包含有機(jī)發(fā)光材料的墨 1060x、1060y，則各鎖住位置Px、Py的高度Hx、Hy成為以下的關(guān)系。[式 ll]Hy>Hx如圖5(c)所示，若使墨1060x干燥，則因鎖住位置的高度Hx相對較低，所以在所形成的有機(jī)發(fā)光層106x，子像素的中央部分突起，其膜厚成為厚度Tx。另一方面，如圖5(d)所示，若使墨1060y干燥，則因鎖住位置Py的高度Hy相對較高，所以在所形成的有機(jī)發(fā)光層106y，子像素的中央部分凹陷，其膜厚成為厚度Ty。厚度Tx與厚度Ty滿足以下的關(guān)系。[式 12] Tx > Ty將上述的關(guān)系匯總表示于圖6。如圖6所示，如果減小提欄105的表面部的傾斜角度(錐角)θ，則鎖住位置的高度H降低，結(jié)果所得到的有機(jī)發(fā)光層106的膜厚T變厚。相反，如果增大提欄105的表面部的傾斜角度(錐角)θ，則鎖住位置的高度H升高，結(jié)果所得到的有機(jī)發(fā)光層106的膜厚T變薄。對于以上的事項，制作5個樣本進(jìn)行評價。將結(jié)果表示于圖7以及圖8。如圖7以及圖8所示，相對于樣本2的膜厚分布，在增大了錐角的樣本3以及樣本 4中，鎖住位置升高。另外，在圖7以及圖8中，橫軸表示橫方向，縱軸表示高度方向。但是，在將提欄的錐角(傾斜角度)增大到了 50°的樣本5中，與樣本2相比膜厚的均勻性下降。6.顯示面板10的制造方法對本實施方式所涉及的顯示面板10的制造方法，使用圖9、圖10以及圖11對作為特征的部分進(jìn)行說明。另外，對于在以下省略說明的制造工序，可以采用作為以往技術(shù)而提出的各種工序。首先，如圖9(a)所示，在基板101的Z軸方向上表面，與像素部預(yù)定區(qū)域1000a、
1000b的各子像素預(yù)定區(qū)域IOOOal 1000a3、IOOObl.......的各個相對應(yīng)，按順序?qū)盈B
形成陽極電極102和電極被覆層103。另外，與非像素預(yù)定區(qū)域1000c相對應(yīng)，按順序?qū)盈B形成母線302和電極被覆層303。然后，從電極被覆層103、303上方，層疊形成空穴注入輸送層104，以覆蓋表面整體。陽極電極102以及母線302的形成通過下述過程進(jìn)行使用例如濺射法和/或真空蒸鍍法制成由Al或者其合金構(gòu)成的薄膜或者Ag薄膜，然后使用光刻法對該薄膜進(jìn)行圖案形成。另外，電極被覆層103、303的形成通過下述過程進(jìn)行例如，對于陽極電極102以及母線302的各表面，使用濺射法等制成ITO薄膜，并使用光刻法等對該ITO薄膜進(jìn)行圖案形成。然后，在空穴注入輸送層104的形成中，首先，對于包含電極被覆層103、303的各表面的基板101的表面，使用濺射法等制成金屬膜。然后，將所形成的金屬膜氧化，形成空穴注入輸送層104。接下來，如圖9(b)所示，使用例如旋涂法等，形成提欄材料層1050，以覆蓋空穴注入輸送層104上方。在提欄材料層1050的形成中，使用感光性抗蝕劑材料，具體地，如上所述，可以使用丙烯酸系樹脂、聚酰亞胺系樹脂、酚醛清漆型酚醛樹脂等具有絕緣性的有機(jī)材料。接下來，如圖9(c)所示，在提欄材料層1050的上方，配置在要形成提欄的位置設(shè)有開口 501a、501b、501c的掩模501。在該狀態(tài)下通過掩模501的開口 501a、501b、501c執(zhí)
行曝光。另外，如圖9(c)所示，掩模501的開口 501a其寬度Wc由要形成的提欄105c的表面部105c2、105c3(參照圖4)的下端的點Pcl、Pc2規(guī)定。另一方面，位于子像素預(yù)定區(qū)域1000a3與非像素預(yù)定區(qū)域1000c之間以及子像素預(yù)定區(qū)域IOOObl與非像素預(yù)定區(qū)域1000c之間的掩模501的開口 501b、501c其寬度Wdl、 Wel由要形成的提欄105d、105e的表面部105d3、105el (參照圖4)的各上端的點Pdl、Pel 和非像素預(yù)定區(qū)域1000c側(cè)(參照圖4)的各底邊部分的點Pd2、Pe2規(guī)定。接下來，如圖10(a)所示，在提欄材料層1050的上方，配置在與提欄105d、l(^e的表面部105dc、IOkc (參照圖4)相對應(yīng)的位置設(shè)有開口 502b、502c的掩模502。然后，在該狀態(tài)下通過掩模502的開口 502b、502c執(zhí)行第2次的曝光。另外，如圖10(a)所示，掩模502的開口 502b、502c的各寬度Wd2Je2由要形成的提欄105d、105e的各表面部105dc、l(^ec的各下端的點Pd3、Pe3和各上端的點Pdl、Pel規(guī)定。接下來，如圖10(b)所示，通過實施顯影以及烘烤，形成提欄10 105f。提欄 105d的子像素預(yù)定區(qū)域1000a3側(cè)的表面部105d3以及提欄10 的子像素預(yù)定區(qū)域IOOObl 側(cè)的表面部105el如上所述，傾斜角度比提欄10 的表面部10恥2、提欄105c的表面部 105c3、提欄105d的表面部105dc、提欄10 的表面部l(^ec以及提欄105f的表面部105Π大。然后，如圖11所示，使用噴墨法等，同時滴下(涂敷)對于由提欄10 與提欄10 劃分的開口部(子像素預(yù)定區(qū)域IOOOal)的墨(包含有機(jī)發(fā)光材料的墨)1060al、對于由提欄10 與提欄105c劃分的開口部(子像素預(yù)定區(qū)域1000a2)的墨(包含有機(jī)發(fā)光材料的墨)1060a2、對于由提欄105c與提欄105d劃分的開口部(子像素預(yù)定區(qū)域1000a3)的墨 (包含有機(jī)發(fā)光材料的墨)1060a3、對于由提欄10 與提欄105f劃分的開口部(子像素預(yù)定區(qū)域IOOObl)的墨(包含有機(jī)發(fā)光材料的墨)1060bl。另外，雖然沒有進(jìn)行圖示，但對于其他的子像素預(yù)定區(qū)域，也同時涂敷包含有機(jī)發(fā)光材料的墨。在此，通過如上所述那樣形成提欄，由于使提欄10 的子像素預(yù)定區(qū)域IOOOal側(cè)的表面部lOfel、提欄105d的子像素預(yù)定區(qū)域1000a3側(cè)的表面部105d3以及提欄10 的子像素預(yù)定區(qū)域IOOObl側(cè)的表面部IOkl的傾斜角度比提欄10 的表面部10恥2、提欄 105c的表面部105c3、提欄105d的表面部105dc、提欄10 的表面部l(^ec以及提欄105f 的表面部105fl的各傾斜角度大，所以墨1060al對于提欄10 的表面部IOfel的鎖住位置Qal、墨1060a3對于提欄105d的表面部105d3的鎖住位置Qd3以及墨1060b 1對于提欄 105e的表面部的鎖住位置Qel成為比其他鎖住位置Qbl、Qb2、Qc2、Qc3、Qfl的高度高的位置。通過這樣將鎖住位置Qal、Qd3、Qel的高度設(shè)定為比其他鎖住位置Qbl、Qb2、Qc2、 Qc3、Qfl的高度高的位置，可以防止所形成的有機(jī)發(fā)光層106的膜厚的偏倚。即，在采用同時涂敷墨1060al、1060a2、1060a3、1060bl的方式的情況下，關(guān)于子像素預(yù)定區(qū)域1000a3，
19在左側(cè)存在不進(jìn)行墨涂敷的非像素預(yù)定區(qū)域1000C，另外，關(guān)于子像素預(yù)定區(qū)域lOOObl，在右側(cè)存在不進(jìn)行墨涂敷的非像素預(yù)定區(qū)域1000c，由此關(guān)于這2個子像素預(yù)定區(qū)域1000a3、 lOOObl，蒸汽濃度在左右產(chǎn)生偏差。相對于此，通過將提欄10 的表面部lOfel、提欄105d
的表面部105d3以及提欄10 的表面部l(^ec的各傾斜角度θ d3、θ el.......設(shè)定得比
其他大，可以防止所形成的有機(jī)發(fā)光層106的膜厚的偏倚。另外，雖然圖示省略，但在之后執(zhí)行墨的干燥，然后按順序?qū)盈B形成電子注入層 107、陰極電極108以及封止層109等，由此形成顯示面板10。7.效果如圖4所示，在本實施方式所涉及的顯示裝置1的顯示面板10中，將提欄10 的子像素IOOal側(cè)的表面部IOfel的傾斜角度以及提欄105d的子像素100a3側(cè)的表面部105d3的傾斜角度θ d3以及提欄10 的子像素IOObl側(cè)的表面部IOkl的傾斜角度θ el設(shè)定得比其他表面部I(^b2、105c2、105c3、105dc、l(^ec、105fl的傾斜角度θ b2, θ c2、θ C3、θ dc、θ ec、θ Π 大。因此，如圖 11 所示，在墨 1060al、1060a2、1060a3、
1060b 1.......的涂敷時，鎖住位置Qal、Qd3、Qel變得比其他鎖住位置Qbl、Qb2、Qc2、Qc3、
Qfl 高。此夕卜，表面部105bl、105b2、105c2、105c3、105dc、105ec、105n 的各傾斜角度 eb2、θ c2, θ c3, θ dc, θ ec, θ Π、......為相互相等。因此，在顯示面板10中，具有干燥后的有機(jī)發(fā)光層106的膜厚在包含子像素 IOOal、100a2、100a3、IOObl的所有子像素中沒有偏倚而變得均勻，輝度不均較小的效果。另外，如果使用利用圖9、圖10以及圖11說明的本實施方式所涉及的顯示裝置11 的制造方法，則可以制造具有上述效果的顯示裝置1。另外，如上所述，所謂“相等”，并不是數(shù)值方面完全相等之意，而是考慮了顯示裝置1的制造上的尺寸誤差等。具體地，是在顯示面板10，在分別所屬的子像素lOOal、100a2、
100a3U00bl.......的發(fā)光效率的差異(輝度不均)在實用上可以允許的范圍內(nèi)，將傾斜
角度設(shè)定為相等之意。進(jìn)而，在提欄105d、105e中，由于將面對非像素部100c側(cè)的表面部105dc、l(^ec 的傾斜角度θ dc、θ ec設(shè)定得比提欄105d的表面部105d3以及提欄10 的表面部的各傾斜角度9d3、961相對平緩，所以可以防止連續(xù)形成于這些提欄105(1、1056的上部的陰極電極108產(chǎn)生斷裂和/或泄漏電流，可以實現(xiàn)陰極電極108與母線302之間的可靠的電連接。[變形例1]接下來，使用圖12，對顯示裝置1的制造方法的變形例1進(jìn)行說明。圖12表示與圖9(c)至圖10(a)所示的工序相對應(yīng)的工序。如圖12所示，在空穴注入輸送層104上層疊形成提欄材料層1050，然后在其上方配置掩模503。在掩模503，設(shè)有光透射部503a、503bl、503l32、503cl、503c2。各光透射部 503a與要形成提欄105c的位置相對應(yīng)地設(shè)置，光透射部50北1、503132與要形成提欄105d 的位置相對應(yīng)，光透射部503cl、503c2與要形成提欄10 的位置相對應(yīng)地設(shè)置。在本變形例1所涉及的顯示裝置1的制造方法中，與子像素預(yù)定區(qū)域1000a2和子像素預(yù)定區(qū)域1000a3之間相對應(yīng)的區(qū)域的光透射部503a的寬度Wc由要形成的提欄105c的表面部105c2、105c3(參照圖4)的各下端的點Pcl、Pc2規(guī)定。另一方面，與子像素預(yù)定區(qū)域1000a3和非像素預(yù)定區(qū)域1000c之間以及子像素預(yù)定區(qū)域IOOObl和非像素預(yù)定區(qū)域1000c之間分別相對應(yīng)的區(qū)域的光透射部50;3bl、503cl 的寬度Wl Jel由要形成的提欄105d、105e的表面部105dc、IOkc (參照圖4)的各下端的點Pd2、Pe2規(guī)定，光透射部503b2、503c2的寬度Wd2、We2由提欄105d、105e的表面部105d3、 IOkl (參照圖4)的上端的點Pdl、Pel以及下端的點Pd3、Pe3規(guī)定。在此，掩模503使用網(wǎng)板等掩模構(gòu)成，光透射部503a、503bl、503cl與光透射部 503b2,503c2的光的透射率不同。具體地，光透射部50;3b2、503c2的光的透射率比光透射部 503a、503bl、503cl的光的透射率大。在配置有具有以上的結(jié)構(gòu)的掩模503的狀態(tài)下，在執(zhí)行曝光、顯影后，通過烘烤， 可以形成圖10(b)所示的提欄10 105f。即，在通過將光的透射率設(shè)定得較大的光透射部503b2、503c2而曝光的位置，與通過其他光透射部503a、503b 1、503c 1而曝光的位置相比，如上述[式1] [式4]所示的關(guān)系，側(cè)壁面的傾斜角度變大。另外，之后的工序與上述實施方式等相同。通過以上的制造方法，也可以制造顯示裝置1。[變形例2]接下來，使用圖13以及圖14，對顯示裝置1的制造方法的變形例2進(jìn)行說明。圖 13以及圖14表示與圖9(c)至圖10(b)所示的工序相對應(yīng)的工序。如圖13(a)所示，在空穴注入輸送層104上層疊形成提欄材料層1050，然后在其上方配置掩模504。在掩模504，與要形成提欄105的各位置相對應(yīng)，設(shè)有開口 5(Ma、504b、 504c ο開口 50 以與在上述實施方式的制造方法中使用的掩模501的開口 501a相同的寬度形成。另一方面，在子像素預(yù)定區(qū)域1000a3與非像素預(yù)定區(qū)域1000c之間以及子像素預(yù)定區(qū)域IOOObl與非像素預(yù)定區(qū)域1000c之間的、要形成分別要形成的提欄105d、105e (參照圖4)的位置設(shè)置的開口 504b、5(Mc的寬度W3、We3如圖13(a)的由兩點劃線包圍的部分所示，設(shè)定為比由提欄105d、105e(參照圖4)的各下端的點Pd2、Pd3、Pe2、Pe3規(guī)定的寬度大。具體地，在要將傾斜角度設(shè)定得較大的位置，使寬度增大。在配置有圖13(a)所示的方式的掩模504的狀態(tài)下，執(zhí)行第1次曝光、顯影。由此， 如圖13(b)所示，在分別與開口 50 504c...相對應(yīng)的位置，殘留提欄材料層1051b 1051fo另外，如圖13(b)所示，在執(zhí)行了第1次曝光、顯影的狀態(tài)下，提欄材料層1051b 1051f的各表面部的傾斜角度均等。但是，提欄材料層1051d、1051e的在X軸方向的寬度變得比提欄材料層1051a、1051c、1051f的在X軸方向的寬度寬。在本變形例2中，不進(jìn)行該時刻的烘烤。接下來，如圖14(a)所示，在形成有提欄材料層1051b 1051f的狀態(tài)下，在其上方配置掩模505。在掩模505，在與要形成的提欄10 105f...的表面部相對應(yīng)的位置之中，限定于要將傾斜角度設(shè)定得較大的位置(提欄105d的表面部105d3以及提欄10 的表面部而設(shè)有開口 505b、505c。
在配置有掩模505的狀態(tài)下，執(zhí)行第2次曝光、顯影，然后通過進(jìn)行烘烤，可以形成圖14(b)所示的提欄105b 105f...。由此，提欄105d的表面部105d3以及提欄10 的表面部105el的傾斜角度變得比其他表面部I(^b2、105c2、105c3、105dc、l(^ec、105fl的傾
斜角度大。然后，通過執(zhí)行與上述實施方式等同樣的工序，可以制造顯示裝置1。[制造方法的驗證]對于上述實施方式以及變形例1、2所涉及的各制造方法，以具體例對形成后的提欄形狀進(jìn)行驗證。使用圖15對于其結(jié)果進(jìn)行說明。如圖15(a)所示，越使曝光量增加，所形成的提欄側(cè)面部的傾斜角度變得越大。具體地，在將曝光量設(shè)定為200mJ而進(jìn)行曝光、顯影的情況下形成的提欄側(cè)面部的傾斜角度為23°，與此相對，在將曝光量設(shè)定為300mJ而進(jìn)行曝光、顯影的情況下形成的提欄側(cè)面部的傾斜角度為38°。對于該結(jié)果，在圖15(b)所示的AFM(Atomic Force Microscope 原子力顯微鏡)中也示出。進(jìn)而，如圖15(a)以及圖15 (b)所示，在將曝光量設(shè)定為200mJ而進(jìn)行第1次曝光、 顯影，然后將曝光量設(shè)定為IOOmJ而進(jìn)行第2次曝光、顯影的情況下，所形成的提欄側(cè)面部的傾斜角度為50°。這可以認(rèn)為是對應(yīng)于上述變形例2所涉及的制造方法的情況，在增大提欄側(cè)面部的傾斜角度上是有效的。另外，在圖15(b)中，橫軸表示橫方向，縱軸表示高度方向。[其他的事項]首先，在上述實施方式以及變形例1、2中，示意性表示為提欄105、10fe 105f、 105x、105y的各表面部為平面的情況，但關(guān)于提欄的表面部，也可以未必為平面。例如，如圖 16 (a)所示，在提欄605的情況下，從點P61到點P62之間的面與從點P62到點P63之間的面交叉。在該情況下，墨涂敷時的鎖住位置Qyl存在于從點P62到點P63之間的面。因此，在描繪通過點P62的假想直線L1時所形成的表面部的傾斜角度θ y2在與鎖住位置的關(guān)系上變得重要。但是，在提欄605的形成中，由于通過控制作為基底層的空穴注入輸送層104與提欄605的從點P61到點P62之間的面所成的角度eyl，角度θ y2也可得到控制，所以實質(zhì)上， 通過控制傾斜角度θ yl，可以得到上述的效果。S卩，在形成從點P71到點P72之間的面的角度 0yll相對于圖16(a)所示的角度θ yl較大的提欄705的情況下(圖16(b))，如圖16(b) 所示，從點P72到點P73之間的面相對于假想直線L2所成的角度θ Υ12也相對于圖16 (a)的角度9y2變大。接下來，在上述實施方式以及變形例1、2中，沒有對顯示面板10中的上述結(jié)構(gòu)的應(yīng)用區(qū)域進(jìn)行限定，但是可以對于顯示面板的整個區(qū)域應(yīng)用上述結(jié)構(gòu)，也可以限定于一部分區(qū)域應(yīng)用上述結(jié)構(gòu)。如圖17所示，可以將顯示面板10在沿著其表面的方向形式上區(qū)分為配置于中央部的區(qū)域IOa和配置于其周邊的區(qū)域10b。在此，區(qū)域IOa是將陽極電極連接于形成于其下部的TFT層的源極電極或者漏極電極、對發(fā)光起作用的區(qū)域，與此相對，區(qū)域 IOb是不將陽極電極連接于形成于其下部的TFT層的源極電極以及漏極電極的任何一個、 對發(fā)光不起作用的區(qū)域。而且，在將區(qū)域IOa進(jìn)而在形成期間分為中央?yún)^(qū)域IOal和周邊區(qū)域10a2的情況下，可以認(rèn)為，由于墨涂敷時的蒸汽濃度的分布狀態(tài)，在周邊區(qū)域10a2更會顯著產(chǎn)生子像素內(nèi)的有機(jī)發(fā)光層的膜厚的偏倚。另外，可以考慮將周邊區(qū)域10a2與區(qū)域IOb合起來的區(qū)域設(shè)為面板的外周部的 0. 5% 幾％左右(例如)的像素部。這依據(jù)于考慮不進(jìn)行提欄的表面部的傾斜角度的調(diào)整的情況下的有機(jī)發(fā)光層的膜厚不均一。在上述實施方式以及變形例1、2中，為了容易理解地對本發(fā)明的結(jié)構(gòu)以及作用效果進(jìn)行說明而采用作為一例的各結(jié)構(gòu)，本發(fā)明除了本質(zhì)性的部分之外，并不限定于上述方式。例如，在上述實施方式中，如圖2所示，作為一例采用了相對于有機(jī)發(fā)光層106在其Z 軸方向下側(cè)配置有陽極電極102的結(jié)構(gòu)，但本發(fā)明并不限定于此，也可以采用相對于有機(jī)發(fā)光層106在其Z軸方向下側(cè)配置有陰極電極108的結(jié)構(gòu)。在設(shè)定為相對于有機(jī)發(fā)光層106在其Z軸方向下側(cè)配置陰極電極108的結(jié)構(gòu)的情況下，由于為頂部發(fā)射構(gòu)造，所以采用將陰極電極108設(shè)定為反射電極層且在其上形成電極被覆層103的結(jié)構(gòu)。另外，在上述實施方式等中，沒有表示顯示裝置1的具體的外觀形狀，但也可以設(shè)定為例如圖18所示的系統(tǒng)一部分。另外，有機(jī)EL顯示裝置由于不需要液晶顯示裝置那樣的背光源，所以適于薄型化，可以發(fā)揮從系統(tǒng)設(shè)計的觀點來看優(yōu)異的特性。另外，在上述實施方式以及變形例1、2中，作為提欄105、10 105f、105x、105y、 605、705的方式，采用了圖3所示的所謂線提構(gòu)造，但也可以采用圖19所示的包括在Y軸方向延伸的提欄要素80 和在X軸方向延伸的提欄要素80 的像素提欄805而構(gòu)成顯示面板80。如圖19所示，在采用像素提欄805的情況下，通過對于規(guī)定各子像素800a、800b、 800c的提欄805，使其作為X軸方向以及Y軸方向的各外側(cè)的側(cè)壁部的傾斜角度增大，可以得到上述同樣的效果。具體地，可以通過適宜調(diào)整由箭頭VB2、B3』4指示的表面部的傾斜角度而得到上述效果。另外，在上述實施方式以及變形例1、2中采用的提欄的表面部的傾斜角度的調(diào)整可以個別地根據(jù)制造時的與有機(jī)發(fā)光層的形成有關(guān)的墨涂敷工序以及干燥工序中的蒸汽濃度分布而適宜改變。例如，在由于干燥裝置的結(jié)構(gòu)等而導(dǎo)致墨的干燥時的蒸汽流向為從面板外周部朝向面板中央部的方向的情況下，只要與有機(jī)發(fā)光層的膜厚變厚的位置相對應(yīng)地增大提欄側(cè)面部的傾斜角度即可。由此，可以將有機(jī)發(fā)光層的膜厚均勻化，可以降低面板整體的輝度不均。另外，在上述實施方式以及變形例1、2中，按每個發(fā)光色(紅色、綠色、藍(lán)色)，在提欄的表面部的傾斜角度(錐角)的設(shè)定上沒有區(qū)別，但由于認(rèn)為根據(jù)發(fā)光色，包含有機(jī)發(fā)光材料的墨的特性會變化，所以在該情況下，可以根據(jù)各發(fā)光色的墨特性規(guī)定對應(yīng)的提欄的表面部的傾斜角度。進(jìn)而，在上述實施方式以及變形例1、2中，設(shè)定為母線302與陽極電極102由相同材料構(gòu)成，但不需要一定由相同材料構(gòu)成。但是，在由相同材料構(gòu)成的情況下，可以在同一工序中形成，從制造成本的降低的觀點來看是優(yōu)異的。本發(fā)明在實現(xiàn)輝度不均較少且具有較高的畫質(zhì)性能的有機(jī)發(fā)光面板以及有機(jī)顯示裝置上有用。
權(quán)利要求
1.一種有機(jī)發(fā)光面板，具有第1像素部，其具有發(fā)光色相互不同的多個發(fā)光部，該多個發(fā)光部按順序排列有位于一側(cè)且被涂敷對應(yīng)的墨的第1發(fā)光部、位于中央側(cè)且被涂敷對應(yīng)的墨的第2發(fā)光部和位于另一側(cè)且被涂敷對應(yīng)的墨的第3發(fā)光部，各發(fā)光部具備包含第1電極的基底層、與所述基底層相對地設(shè)置且按每個發(fā)光色被涂敷包含有機(jī)發(fā)光材料的墨而形成的有機(jī)發(fā)光層、相對于所述有機(jī)發(fā)光層設(shè)置于與所述基底層相反側(cè)的第2電極和與所述基底層相對地設(shè)置且對所述多個發(fā)光部中的相鄰發(fā)光部進(jìn)行劃分而規(guī)定各發(fā)光部的多個分隔壁；第2像素部，其具有發(fā)光色相互不同的多個發(fā)光部，該多個發(fā)光部按順序排列有位于一側(cè)且被涂敷對應(yīng)的墨的第1發(fā)光部、位于中央側(cè)且被涂敷對應(yīng)的墨的第2發(fā)光部和位于另一側(cè)且被涂敷對應(yīng)的墨的第3發(fā)光部，各發(fā)光部具備包含第1電極的基底層、與所述基底層相對地設(shè)置且按每個發(fā)光色被涂敷包含有機(jī)發(fā)光材料的墨而形成的有機(jī)發(fā)光層、相對于所述有機(jī)發(fā)光層設(shè)置于與所述基底層相反側(cè)的第2電極和與所述基底層相對地設(shè)置且對所述多個發(fā)光部中的相鄰發(fā)光部進(jìn)行劃分而規(guī)定各發(fā)光部的多個分隔壁，該第2像素部與第1像素部不同；非像素部，其夾插于所述第1像素部與所述第2像素部之間，不包含有機(jī)發(fā)光層，包含與所述第1電極分離的第3電極、和所述第2電極，所述第2電極與所述第3電極電連接；第1分隔壁，其配設(shè)于所述第1像素部與所述非像素部之間，對所述第1像素部的所述第3發(fā)光部與所述非像素部進(jìn)行劃分，該第1分隔壁與所述多個分隔壁不同；以及第2分隔壁，其配設(shè)于所述第2像素部與所述非像素部之間，對所述第2像素部的所述第1發(fā)光部與所述非像素部進(jìn)行劃分，該第2分隔壁與所述多個分隔壁不同；關(guān)于規(guī)定所述第1像素部的第3發(fā)光部的相鄰的2個分隔壁，位于非像素部側(cè)的所述第1分隔壁的面向所述第1像素部的第3發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度比位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的面向所述第1像素部的第3發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度大；并且關(guān)于規(guī)定所述第2像素部的第1發(fā)光部的相鄰的2個分隔壁，位于非像素部側(cè)的所述第2分隔壁的面向所述第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度比位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的面向所述第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度大。
2.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光面板，所述第1分隔壁的面向所述第1像素部的第3發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度比所述第 1分隔壁的面向所述非像素部側(cè)的表面部的傾斜角度大；并且所述第2分隔壁的面向所述第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度比所述第 2分隔壁的面向所述非像素部側(cè)的表面部的傾斜角度大。
3.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光面板，在所述第1像素部以及所述第2像素部的各個中，規(guī)定所述第2發(fā)光部的相鄰的2個分隔壁的相對的表面部的傾斜角度相等。
4.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光面板，所述第1分隔壁的面向所述非像素部側(cè)的表面部的傾斜角度，與所述第2分隔壁的面向所述非像素部側(cè)的表面部的傾斜角度相等。
5.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光面板，在所述第1像素部以及所述第2像素部的各個中，所述第1發(fā)光部、所述第2發(fā)光部以及所述第3發(fā)光部，通過同時涂敷與各發(fā)光色相對應(yīng)的墨而形成所述有機(jī)發(fā)光層而成。
6.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)發(fā)光面板，所述傾斜角度為所述分隔壁的各表面部與形成有所述分隔壁的所述基底層的上表面所成的角度。
7.一種有機(jī)顯示裝置，具備權(quán)利要求1 6中的任意一項所述的有機(jī)發(fā)光面板。
8.一種有機(jī)發(fā)光面板的制造方法，該有機(jī)發(fā)光面板具有分別具有多個發(fā)光部的第1像素部以及第2像素部和夾插于該第1像素部與第2像素部之間的非像素部，所述有機(jī)發(fā)光面板的制造方法包括第1工序，在基板上形成包含第1電極的基底層； 第2工序，在所述基底層上層疊感光性抗蝕劑材料；第3工序，通過對所述層疊的感光性抗蝕劑材料進(jìn)行掩模曝光并形成圖案，作為所述第1像素部形成與第1發(fā)光部相對應(yīng)的第1開口、與第2發(fā)光部相對應(yīng)的第2開口、與第 3發(fā)光部相對應(yīng)的第3開口，并形成對相鄰的發(fā)光部進(jìn)行劃分而規(guī)定各發(fā)光部的多個分隔壁，作為所述第2像素部形成與第1發(fā)光部相對應(yīng)的第1開口、與第2發(fā)光部相對應(yīng)的第2 開口、與第3發(fā)光部相對應(yīng)的第3開口，并形成對相鄰的發(fā)光部進(jìn)行劃分而規(guī)定各發(fā)光部的多個分隔壁，在所述第1像素部與所述第2像素部之間形成與非像素部相對應(yīng)的開口，并形成對所述第1像素部與所述非像素部進(jìn)行劃分的第1分隔壁和對所述第2像素部與所述非像素部進(jìn)行劃分的第2分隔壁；第4工序，對所述第1像素部以及第2像素部中的所述第1開口至所述第3開口的各個，滴下包含有機(jī)發(fā)光材料的墨并使其干燥，形成有機(jī)發(fā)光層； 第5工序，在所述有機(jī)發(fā)光層的上方形成第2電極； 在所述第3工序中，關(guān)于規(guī)定所述第1像素部的第3發(fā)光部的相鄰的2個分隔壁，將位于非像素部側(cè)的分隔壁的面向所述第1像素部的第3發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度形成得比位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的面向所述第1像素部的第2發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度大；并且關(guān)于規(guī)定所述第2像素部的第1發(fā)光部的相鄰的2個分隔壁，將位于非像素部側(cè)的分隔壁的面向所述第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度形成得比位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的面向所述第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度大； 在所述第4工序中，對于所述第1像素部以及第2像素部的所述第1開口至所述第3開口的各個同時滴下與各發(fā)光色相對應(yīng)的所述墨，形成有機(jī)發(fā)光層。
9.如權(quán)利要求8所述的有機(jī)發(fā)光面板的制造方法， 在所述第3工序中，關(guān)于所述感光性抗蝕劑材料的曝光，關(guān)于規(guī)定所述第1像素部的第3發(fā)光部的相鄰的 2個分隔壁，通過使向與位于非像素部側(cè)的分隔壁的面向所述第1像素部的第3發(fā)光部側(cè)的表面部相當(dāng)?shù)牟糠值钠毓饬勘认蚺c位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的面向所述第1像素部的第3發(fā)光部側(cè)的表面部相當(dāng)?shù)牟糠值钠毓饬看?，將位于非像素部?cè)的分隔壁的面向所述第 1像素部的第3發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度形成得比位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的面向所述第1像素部的第3發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度大；并且關(guān)于規(guī)定所述第2像素部的第1發(fā)光部的相鄰的2個分隔壁，通過使向與位于非像素部側(cè)的分隔壁的面向所述第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部相當(dāng)?shù)牟糠值钠毓饬勘认蚺c位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的面向所述第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部相當(dāng)?shù)牟糠值钠毓饬看?，將位于非像素部?cè)的分隔壁的面向所述第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度形成得比位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的面向所述第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度大。
10.如權(quán)利要求8所述的有機(jī)發(fā)光面板的制造方法，在所述第3工序中，關(guān)于所述感光性抗蝕劑材料的曝光，關(guān)于規(guī)定所述第1像素部的第3發(fā)光部的相鄰的2個分隔壁，為了使向與位于非像素部側(cè)的分隔壁的面向所述第1像素部的第3發(fā)光部側(cè)的表面部相當(dāng)?shù)牟糠值墓馔干渎时认蚺c位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的面向所述第1像素部的第3發(fā)光部側(cè)的表面部相當(dāng)?shù)牟糠值墓馔干渎市?，使用對與各個表面部相當(dāng)?shù)牟糠值墓馔干渎氏嗷ゲ煌难谀?，由此將位于非像素部?cè)的分隔壁的面向所述第1像素部的第3發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度形成得比位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的面向所述第1像素部的第3發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度大；并且關(guān)于規(guī)定所述第2像素部的第1發(fā)光部的相鄰的2個分隔壁，為了使向與位于非像素部側(cè)的分隔壁的面向所述第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部相當(dāng)?shù)牟糠值墓馔干渎时认蚺c位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的面向所述第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部相當(dāng)?shù)牟糠值墓馔干渎市?，使用對與各個表面部相當(dāng)?shù)牟糠值墓馔干渎氏嗷ゲ煌难谀?，由此將位于非像素部?cè)的分隔壁的面向所述第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度形成得比位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的面向所述第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度大。
11.如權(quán)利要求8所述的有機(jī)發(fā)光面板的制造方法，在所述第3工序中，在對所述感光性抗蝕劑材料進(jìn)行曝光并顯影之后，關(guān)于規(guī)定所述第1像素部的第3發(fā)光部的相鄰的2個分隔壁，通過對與位于非像素部側(cè)的分隔壁的面向所述第1像素部的第3發(fā)光部側(cè)的表面部相當(dāng)?shù)牟糠肿芳舆M(jìn)行曝光處理，將位于非像素部側(cè)的分隔壁的面向所述第1像素部的第3發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度形成得比位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的相對的表面部的傾斜角度大；并且關(guān)于規(guī)定所述第2像素部的第1發(fā)光部的相鄰的2個分隔壁，通過對與位于非像素部側(cè)的分隔壁的面向所述第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部相當(dāng)?shù)牟糠肿芳舆M(jìn)行曝光處理，將位于非像素部側(cè)的分隔壁的面向所述第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度形成得比位于第2發(fā)光部側(cè)的分隔壁的面向所述第2像素部的第1發(fā)光部側(cè)的表面部的傾斜角度大。
12.—種有機(jī)顯示裝置，具備通過權(quán)利要求8 11中的任意一項所述的制造方法得到的有機(jī)發(fā)光面板。
全文摘要
像素部(100a)與像素部(100b)以在中間夾插有非像素部(100c)的狀態(tài)配置。對像素部(100a)中的子像素(100a1、100a2、100a3)以及像素部(100b)中的子像素(100b1)，同時涂敷用于形成有機(jī)發(fā)光層的墨。另一方面，在非像素部(100c)，由于不形成有機(jī)發(fā)光層，因此不進(jìn)行墨的涂敷。關(guān)于規(guī)定子像素(100a3)的2個堤欄(105c、105d)，堤欄(105d)的表面部(105d3)的傾斜角度(θd3)比堤欄(105c)的表面部(105c3)的傾斜角度(θc3)大，同樣，關(guān)于規(guī)定子像素(100b1)的2個堤欄(105e、105f)，堤欄(105e)的表面部(105e1)的傾斜角度(θe1)比堤欄(105f)的表面部(105f1)的傾斜角度(θf1)大。
文檔編號H05B33/22GK102577614SQ20108002081
公開日2012年7月11日 申請日期2010年10月15日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月15日
發(fā)明者松島英晃 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社