專利名稱：配線基板的制作方法
技術領域：
這里討論的實施方式涉及在絕緣層上形成差動配線的配線基板。
背景技術：
常規(guī)技術的目的是通過平行于配線的延伸方向設置玻璃布的紗、使得紗以之字形 (zig-zag)方式與差動配線相交，來避免相移累積在P配線和N配線中的一個上，并且因此防止在配線之間產(chǎn)生歪斜。設置構成用于形成層疊基板的玻璃布的經(jīng)紗4和緯紗5，使得利用與差動配線的寬度和配線之間的距離的總和相等的長度，以之字形(zig-zag)方式設置經(jīng)紗4和緯紗5 中的一個或兩個。相應地，層疊基板的相對介電常數(shù)的變化得以平均，因此減輕了差動傳輸中波形質(zhì)量的惡化。專利文獻1 日本特開2009-73946號公報

發(fā)明內(nèi)容
相應地，本發(fā)明一方面的目的是提供一種具有低制造成本的配線基板，其中玻璃纖維密度差異對配線的影響得以最小化。根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供了一種配線基板，所述配線基板包括一對差動配線； 鄰近該對差動配線的一側設置的第一絕緣層，所述第一絕緣層包括與該對差動配線的延伸方向平行布置的第一纖維束；鄰近該對差動配線的另一側設置的第二絕緣層，所述第二絕緣層包括與該對差動配線的延伸方向平行布置的第二纖維束，所述第二纖維束以與所述第一纖維束相同的節(jié)距布置；設置在所述第一絕緣層的與所述第一絕緣層鄰近該對差動配線的一側相對的側上的第三絕緣層，所述第三絕緣層包括與該對差動配線的延伸方向平行布置的第三纖維束；以及設置在所述第二絕緣層的與所述第二絕緣層鄰近該對差動配線的一側相對的側上的第四絕緣層，所述第四絕緣層包括與該對差動配線的延伸方向平行布置的第四纖維束，其中所述第三纖維束之間的間隔和所述第四纖維束之間的間隔分別比所述第一纖維束之間的間隔和所述第二纖維束之間的間隔窄，并且該對差動配線布置在相鄰的所述第一纖維束之間、從平面視圖看不與所述第一纖維束重疊的位置處，并且布置在相鄰的所述第二纖維束之間、從平面視圖看不與所述第二纖維束重疊的位置處。


圖1是常規(guī)配線基板的主要部分的平面透視圖；圖2是常規(guī)配線基板的主要部分的斷面圖；圖3是根據(jù)第一實施方式的配線基板的主要部分的平面透視圖；圖4是根據(jù)第一實施方式的配線基板的主要部分的斷面圖；圖5示出了絕緣層中的玻璃纖維束的示例；圖6是根據(jù)第一實施方式的變型例1的配線基板的主要部分的平面透視圖7是根據(jù)第一實施方式的變型例2的配線基板的主要部分的斷面圖；圖8是根據(jù)第一實施方式的變型例3的配線基板的主要部分的斷面圖；圖9是根據(jù)第二實施方式的配線基板的主要部分的平面透視圖；圖10根據(jù)第二實施方式的配線基板的主要部分的斷面圖；圖11用于描述包括多層的配線基板；圖12用于描述圖3和圖4所示的配線基板的制造方法(第1部分)；圖13用于描述圖3和圖4所示的配線基板的制造方法(第2部分)；圖14用于描述圖3和圖4所示的配線基板的制造方法(第3部分)；圖15用于描述圖3和圖4所示的配線基板的制造方法(第4部分)；圖16用于描述圖3和圖4所示的配線基板的制造方法(第5部分)；圖17用于描述圖3和圖4所示的配線基板的制造方法(第6部分)；圖18用于描述圖3和圖4所示的配線基板的制造方法(第7部分)；以及圖19用于描述圖3和圖4所示的配線基板的制造方法(第8部分)。
具體實施例方式將參照

本發(fā)明的優(yōu)選實施方式。在附圖中，用相同的附圖標記表示相同的組件，并且可省略重復描述。圖1是配線基板示例的主要部分的平面透視圖。圖2是配線基板示例的主要部分的斷面圖。圖2中示出的一些元件沒有在圖1中示出。圖2是沿圖1的線A-A截取的斷面圖。如圖1和圖2所示，在配線基板100的示例中，層疊了基準170、絕緣層110A、配線 150和160、絕緣層110B、以及基準180。絕緣層IlOA包括玻璃纖維束120A和130A、以及絕緣樹脂140A。玻璃纖維束120A 和130A浸入絕緣樹脂140A。絕緣層IlOB包括玻璃纖維束120B和130B、以及絕緣樹脂 140B。玻璃纖維束120B和130B浸入絕緣樹脂140B。玻璃纖維束120A布置在與X軸平行的方向上，玻璃纖維束130A布置在與Y軸平行的方向上。玻璃纖維束120A和130A以格狀方式平面編織(plain-woven)。類似地，玻璃纖維束120B布置在與X軸平行的方向上，玻璃纖維束130B布置在與Y軸平行的方向上。 玻璃纖維束120B和130B以格狀方式平面編織。玻璃纖維束120B和130B布置在與玻璃纖維束120A和130A對應的位置處。配線150和160選擇性地形成在絕緣層IlOA的一側上?；鶞?70大體上形成在絕緣層IlOA的另一側的整個表面上?；鶞?80大體上形成在絕緣層IlOB的與鄰近配線150 和160的一側相對的側的整個表面上。配線150和160是其中流過預定電信號的導體?；鶞?70和180是用作流過配線150和160的預定電信號的回路的導體。配線150和160平行布置，并且是用于差動傳輸方法的差動配線。一般地，利用差動傳輸方法的高性能執(zhí)行高速傳輸。然而，配線150布置在玻璃纖維束130A的一個上，而配線160布置在布置有配線150的玻璃纖維束130A和與該玻璃纖維束130A相鄰的玻璃纖維束130A之間(相鄰玻璃纖維束130A之間)。近年來，配線已變得比玻璃纖維束之間的節(jié)距(pitch)細。因此，在許多情況下，配線基板包括位于玻璃纖維束上的配線以及位于玻璃纖維束之間的配線。由于玻璃纖維束密度的差異，所以玻璃纖維束上的相對介電常數(shù)不同于(絕緣樹脂上)玻璃纖維束之間的相對介電常數(shù)。因此，當存在位于玻璃纖維束上的配線以及位于玻璃纖維束之間的配線時， 特性阻抗可能存在不一致，傳播延遲時間可能存在差異。特別地，近年來，高速傳輸頻率已達到3GHz 5GHz的范圍，因此出現(xiàn)了與特性阻抗不一致和傳播延遲時間差異相關聯(lián)的問題。為了解決這種問題，一種技術通過在特定長度處改變配線相對于以格狀方式平面編織的玻璃纖維束的角度，來用之字形(zig-zag)方式設置配線。還有一種技術使用低介電材料作為配線基板材料來傳播高頻信號。此外，為了實現(xiàn)與用之字形(zig-zag)方式設置配線的技術相同的效果，一種技術使配線基板傾斜并層疊多個層。然而，用之字形(zig-zag)方式設置配線的技術使用過多配線，因此制造成本增加。此外，對于使用低介電材料作為配線基板材料來傳播高頻信號的技術，由于低介電材料較昂貴，因此制造成本增加。此外，利用使配線基板傾斜并層疊多個層的技術，材料效率隨著傾斜角度增加而顯著下降，因此制造成本增加。第一實施方式圖3是根據(jù)第一實施方式的配線基板的主要部分的平面透視圖。圖4是根據(jù)第一實施方式的配線基板的主要部分的斷面圖。圖4中示出的一些元件沒有在圖3中示出。圖 4是沿圖3的線B-B截取的斷面圖。如圖3和圖4所示，在配線基板10中，層疊了絕緣層 21A、基準17、絕緣層11A、配線15和16、絕緣層11B、基準18、以及絕緣層21B。將對配線基板10的各組件給出詳細描述。絕緣層IlA包括玻璃纖維束12A和13A、以及絕緣樹脂14A。玻璃纖維束12A和 13A浸入絕緣樹脂14A。絕緣樹脂14A可由諸如環(huán)氧樹脂、聚酰胺樹脂和聚酯樹脂的材料制成。絕緣樹脂14A可包括諸如二氧化硅和氧化鋁的填料。具有寬度W1的玻璃纖維束12A以間隔S1布置在與X軸平行的方向上。具有寬度 W2的玻璃纖維束13A以間隔&布置在與Y軸平行的方向上。玻璃纖維束12A和13A以格狀方式平面編織?？蓪⑵渲胁ＡЮw維束以格狀方式平面編織的部件稱作玻璃布。通過將例如幾微米的多條玻璃纖維捆在一起形成幾百微米的束，來形成各玻璃纖維束12A和13A。在由玻璃纖維束12A和13A形成的空隙部12X(所謂的籃孔)處，不存在玻璃纖維；空隙部12X 填充有絕緣樹脂14A。絕緣層IlB包括玻璃纖維束12B和13B、以及絕緣樹脂14B。玻璃纖維束12B和 1 浸入絕緣樹脂14B。絕緣樹脂14B可由與絕緣樹脂14A相同的材料制成，因此不進一步描述。具有寬度W1的玻璃纖維束12B以間隔S1布置在與X軸平行的方向上。具有寬度 W2的玻璃纖維束13B以間隔&布置在與Y軸平行的方向上。玻璃纖維束12B和13B以格狀方式平面編織。玻璃纖維束12B和13B的細節(jié)與玻璃纖維束12A和13A相同，因此不進一步描述。寬度W1可等于寬度W2，間隔S1可等于間隔&。玻璃纖維束12B和1 分別布置在與玻璃纖維束12A和13A對應的位置處。也就是說，玻璃纖維束12B和13B分別布置在從平面視圖看與玻璃纖維束12A和13A重疊的位置處。平面視圖指的是從圖3和圖4中Z軸的+方向到-方向(或從-方向到+方向)觀看對象。只要玻璃纖維束12A和12B以相同節(jié)距平行布置在同一方向即可，玻璃纖維束12A 和12B的寬度和間隔不必完全相同?？赏ㄟ^將碳纖維、聚酯纖維、特多龍(Tetron)纖維、尼龍纖維、芳綸纖維等捆在一起形成纖維束，而不是將多條玻璃纖維捆在一起形成玻璃纖維束12A。編織玻璃纖維束 12A(或其它纖維束)的方法不限于平面編織；可通過緞紋編織(sateen weaving)、斜紋編織(twill weaving)等編織纖維束。配線15和16選擇性地形成在絕緣層IlA的一側上?；鶞?7大體上形成在絕緣層IlA的另一側的整個表面上。基準18大體上形成在絕緣層IlB的與鄰近配線15和16的一側相對的側的整個表面上。配線15和16是其中流過預定電信號的導體?；鶞?7和18 是用作流過配線15和16的預定電信號的回路的導體。配線15和基準17等的材料不特別受限，只要它們是導體。例如，可使用Cu、Al、Au和Ag。配線15和16平行布置，并且是用于差動傳輸方法的差動配線。差動傳輸方法用于使用特別用于高速傳輸?shù)腜OS信號和通過反轉(zhuǎn)POS信號得到的NEG信號來傳輸信號。例如，POS信號流過配線15，NEG信號流過與配線15平行布置的配線16。只要在配線15和配線16之間不存在特性阻抗不一致和傳播延遲時間差異，就能以高性能執(zhí)行高速傳輸。配線15和16布置在相鄰玻璃纖維束12A之間、從平面視圖看不與玻璃纖維束12A 重疊的位置處，以及相鄰玻璃纖維束13A之間、從平面視圖看不與玻璃纖維束13A重疊的位置處。此外，配線15和16布置在相鄰玻璃纖維束12B之間、從平面視圖看不與玻璃纖維束 12B重疊的位置處，以及相鄰玻璃纖維束1 之間、從平面視圖看不與玻璃纖維束1 重疊的位置處。配線15和16的寬度例如可以為100 μ m 200 μ m。配線15和16之間的節(jié)距例如可以為150 μ m 400 μ m。玻璃纖維束12A的寬度W1 (玻璃纖維束12B的寬度W1)和玻璃纖維束13A的寬度 W2(玻璃纖維束13B的寬度W2)可以是任意值，但是優(yōu)選為比配線15和16的寬度窄。更具體地，常規(guī)玻璃纖維束的寬度約為300 μ m。然而，在本實施方式中，寬度W1和寬度W2優(yōu)選為比配線15和16的寬度窄，例如小于或等于100 μ m。玻璃纖維束12A之間的間隔S1 (玻璃纖維束12B之間的間隔S1)和玻璃纖維束13A 之間的間隔&(玻璃纖維束13B之間的間隔設置為比“配線15的寬度+配線16的寬度 +配線15和16之間的間隔”寬。間隔S1和間隔S2例如可以為500 μ m。如上所述，玻璃纖維束之間的間隔S1和&設置為比“配線15的寬度+配線16的寬度+配線15和16之間的間隔”寬。相應地，配線15和16布置在相鄰玻璃纖維束12A之間、從平面視圖看不與玻璃纖維束12A重疊的位置處，以及相鄰玻璃纖維束13A之間、從平面視圖看不與玻璃纖維束13A重疊的位置處。此外，配線15和16布置在相鄰玻璃纖維束 12B之間、從平面視圖看不與玻璃纖維束12B重疊的位置處，以及相鄰玻璃纖維束1 之間、 從平面視圖看不與玻璃纖維束13B重疊的位置處。因此，配線15和16的大部分沿具有低相對介電常數(shù)和優(yōu)良傳輸特性的絕緣樹脂延伸。配線15和16僅有少部分與玻璃纖維束交叉。因此，與常規(guī)配線基板相比，減輕了玻璃纖維密度差異的影響，減少了特性阻抗不一致和傳播延遲時間差異，從而高性能地執(zhí)行高速傳輸。此外，與使用昂貴的低介電材料形成配線基板、或使配線基板傾斜來層疊多個層的常規(guī)方法相比，防止了制造成本的增加。特別地，通過使玻璃纖維束的寬度W1和W2比配線15和16的寬度窄，配線15和16 的更多部分沿具有低相對介電常數(shù)和優(yōu)良傳輸特性的絕緣樹脂延伸。此外，配線15和16 的更少部分與玻璃纖維束交叉。因此，更大地減輕了玻璃纖維密度差異的影響，更大地減少了特性阻抗不一致和傳播延遲時間差異，從而高性能地執(zhí)行高速傳輸。玻璃纖維束之間的間隔S1和&設置為比“配線15的寬度+配線16的寬度+配線15和16之間的間隔”寬。然而，如果間隔S1和&太寬，絕緣樹脂可能外流，絕緣層的厚度可能不能適當維持。因此，間隔S1和&不能過寬。在配線基板10中，玻璃纖維束的寬度比常規(guī)配線基板中更窄，間隔比常規(guī)配線基板中更寬。因此，與常規(guī)配線基板相比，配線基板10每單位面積包括更少量的玻璃纖維，并且每單位面積包括更大量的絕緣樹脂。相應地，配線基板10的強度可能不夠，并且熱膨脹系數(shù)可能增加。為了避免這些問題，在本實施方式中，在配線基板10中設置絕緣層21A和 21B。下面描述絕緣層21A和21B的作用。圖5示出了絕緣層2IA中的玻璃纖維束示例。參照圖4和圖5，絕緣層2IA包括玻璃纖維束22A和23A、以及絕緣樹脂24A。玻璃纖維束22A和23A浸入絕緣樹脂24A。絕緣樹脂24A的材料與絕緣樹脂14A相同，因此不進一步描述。玻璃纖維束22A具有與玻璃纖維束12A相同的寬帶W1,并且以間隔&布置在與X 軸平行的方向上，間隔&比玻璃纖維束12A的間隔窄。玻璃纖維束23A具有與玻璃纖維束 13A相同的寬帶W2,并且以間隔、布置在與Y軸平行的方向上，間隔、比玻璃纖維束13A的間隔窄。玻璃纖維束22A和玻璃纖維束23A以格狀方式平面編織。玻璃纖維束22A和23A 的細節(jié)與玻璃纖維束12A和13A相同，因此不進一步描述。絕緣層21B包括玻璃纖維束22B和23B、以及絕緣樹脂MB。玻璃纖維束22B和23B 浸入絕緣樹脂MB。絕緣樹脂MB的材料與絕緣樹脂14A等的相同，因此不進一步描述。玻璃纖維束22B具有與玻璃纖維束12B相同的寬度W1,并且以間隔&布置在與X 軸平行的方向上，間隔&比玻璃纖維束12B的間隔窄。玻璃纖維束2 具有與玻璃纖維束 13B相同的寬帶W2,并且以間隔、布置在與Y軸平行的方向上，間隔、比玻璃纖維束13B的間隔窄。玻璃纖維束22B和玻璃纖維束23B以格狀方式平面編織。玻璃纖維束22B和2 的細節(jié)與玻璃纖維束12A和13A相同，因此不進一步描述。寬度W1可等于W2,間隔&可等于間隔、。如上所述，絕緣層21A包括玻璃纖維束22k和玻璃纖維束23A，玻璃纖維束22k具有與玻璃纖維束12A相同的寬帶W1,并且以間隔&布置，間隔&比玻璃纖維束12A之間的間隔S1窄；玻璃纖維束23A具有與玻璃纖維束13A相同的寬帶W2,并且以間隔、布置，間隔、比玻璃纖維束13A之間的間隔&窄。此外，絕緣層21B包括玻璃纖維束22B和玻璃纖維束23B，玻璃纖維束22B具有與玻璃纖維束12B相同的寬帶W1，并且以間隔&布置，間隔 S3比玻璃纖維束12B之間的間隔S1窄；玻璃纖維束2 具有與玻璃纖維束1 相同的寬帶 W2,并且以間隔、布置，間隔\比玻璃纖維束13B之間的間隔&窄。玻璃纖維束22A、23A、 22B、2!3B布置在從平面視圖看與絕緣層IlA和IlB中的空隙部(所謂的籃孔)重疊的區(qū)域中。因此，能夠補償玻璃纖維量的減少、防止配線基板10的強度降低、并且防止熱膨脹系數(shù)增加。
如上所述，在本實施方式中，玻璃纖維束12A和12B的寬度W1以及玻璃纖維束13A 和13B的寬度W2比常規(guī)技術窄。此外，玻璃纖維束12A和12B之間的間隔S1以及玻璃纖維束13A和1 之間的間隔&比常規(guī)技術寬。此外，配線15和16布置在相鄰玻璃纖維束 12A之間、從平面視圖看不與玻璃纖維束12A重疊的位置處，以及相鄰玻璃纖維束13A之間、 從平面視圖看不與玻璃纖維束13A重疊的位置處。此外，配線15和16布置在相鄰玻璃纖維束12B之間、從平面視圖看不與玻璃纖維束12B重疊的位置處，以及相鄰玻璃纖維束1 之間、從平面視圖看不與玻璃纖維束13B重疊的位置處。因此，配線15和16的大部分沿填充有具有低相對介電常數(shù)和優(yōu)良傳輸特性的絕緣樹脂的空隙部(所謂的籃孔)延伸。配線 15和16僅有少部分與玻璃纖維束交叉。因此，與常規(guī)配線基板相比，在配線基板10中，減輕了玻璃纖維密度差異的影響，減少了特性阻抗不一致和傳播延遲時間差異，從而高性能地執(zhí)行高速傳輸。此外，在本實施方式中，比絕緣層IlA和IlB具有更多玻璃纖維的絕緣層21A和 21B分別鄰近絕緣層IlA和IlB而設置。因此，絕緣層21A和21B中的玻璃纖維束位于絕緣層IlA和IlB中的空隙部(所謂的籃孔)上。因此，能夠補償玻璃纖維量的減少、防止配線基板10的強度降低、并且防止熱膨脹系數(shù)增加。此外，測量了根據(jù)本實施方式的配線基板10中的傳播延遲時間差異(配線15的傳播延遲時間和配線16的傳播延遲時間之間的差異)，測量結果是5ps/100mm。同時，測量了常規(guī)配線基板100中的傳播延遲時間差異，測量結果是7ps/100mm。因而，可以發(fā)現(xiàn)在根據(jù)本實施方式的配線基板10中，傳播延遲時間差異與常規(guī)配線基板100相比降低了約 30%。第一實施方式的變型例1圖6是根據(jù)第一實施方式的變型例1的配線基板的主要部分的平面透視圖。圖6 所示的配線基板30與圖3和圖4所示的配線基板10的不同在于，用玻璃纖維束32A代替了玻璃纖維束12A，用玻璃纖維束32B (未示出)代替了玻璃纖維束12B，并且分別用配線35 和36代替配線15和16。下面主要描述配線基板30的不同于配線基板10的特征，不進一步描述其它特征。玻璃纖維束32A和32B的寬度W1與玻璃纖維束12A和12B的相同。此外，玻璃纖維束32A和32B之間的間隔S5比玻璃纖維束12A和12B之間的間隔S1窄。玻璃纖維束 32B (未示出)布置在與玻璃纖維束32A對應的位置處。也就是說，玻璃纖維束32B設置在從平面視圖看與玻璃纖維束32A重疊的位置處。配線35和36僅在Y軸方向上并行延伸， 并且布置在相鄰玻璃纖維束13A之間、從平面視圖看不與玻璃纖維束13A重疊的位置處，以及相鄰玻璃纖維束13B之間、從平面視圖看不與玻璃纖維束1 重疊的位置處。如上所述，當配線35和36 (差動配線)僅在一個方向上并行延伸時，配線基板30 可具有以下構造。即，僅在一個方向上的玻璃纖維束之間的間隔設置為比“配線35的寬度 +配線36的寬度+配線35和36之間的間隔”寬，使得配線35和36布置在相鄰玻璃纖維束13A之間、從平面視圖看不與玻璃纖維束13A重疊的位置處，以及相鄰玻璃纖維束1 之間、從平面視圖看不與玻璃纖維束13B重疊的位置處。因此，配線35和36的大部分沿具有低相對介電常數(shù)和優(yōu)良傳輸特性的絕緣樹脂延伸。配線35和36僅有少部分與玻璃纖維束交叉。因此，與常規(guī)配線基板相比，減輕了玻璃纖維密度差異的影響，減少了特性阻抗不一致和傳播延遲時間差異，從而高性能地執(zhí)行高速傳輸。然而，比圖3所示的配線基板10的情況相比，配線35和36的更多部分與玻璃纖維束交叉。因此，第一實施方式更優(yōu)選地用于進一步減少特性阻抗不一致和玻璃纖維密度差異的影響。第一實施方式的變型例2圖7是根據(jù)第一實施方式的變型例2的配線基板的主要部分的斷面圖。圖7所示的配線基板40與圖3和圖4所示的配線基板10的不同在于，分別用玻璃纖維束42A、43A、 42B、4!3B代替了玻璃纖維束22A、23A、22B、23B。下面主要描述配線基板40的不同于配線基板10的特征，不進一步描述其它特征。玻璃纖維束42A和43A的寬度分別比玻璃纖維束12A和13A的寬度W1和W2窄。 玻璃纖維束42B和43B的寬度分別比玻璃纖維束12B和13B的寬度W1和W2窄。通過使玻璃纖維束42A、43A、42B、4!3B具有窄的寬度，與第一實施方式相比，進一步減少了特性阻抗不一致和傳播延遲時間差異。也就是說，玻璃纖維束42A、43A、42B、43B 比玻璃纖維束12A、13A、12B、13B進一步遠離配線15和16。因此，玻璃纖維束42A、43A、42B、 4 對特性阻抗不一致和傳播延遲時間差異具有相對小的影響。然而，當絕緣層IlA和IlB 較薄時，玻璃纖維束42A、43A、42B、4!3B可能對特性阻抗不一致和傳播延遲時間差異具有影響。在這種情況下，通過使玻璃纖維束42A、43A、42B、4!3B具有更窄的寬度，與第一實施方式的情況相比，進一步減少了特性阻抗不一致和傳播延遲時間差異。即便使玻璃纖維束42A、43A、42B、4!3B具有更窄的寬度時，玻璃纖維束也布置在絕緣層IlA和IlB中的空隙部(所謂的籃孔)上。因此，仍然能夠補償玻璃纖維量的減少、防止配線基板40的強度降低、并且防止熱膨脹系數(shù)增加。第一實施方式的變型例3圖8是根據(jù)第一實施方式的變型例3的配線基板的主要部分的斷面圖。圖8所示的配線基板50與圖3和圖4所示的配線基板10的不同在于，分別用玻璃纖維束52A、53A、 52B.53B代替了玻璃纖維束22A、23A、22B、23B。下面主要描述配線基板50不同于配線基板 10的特征，不進一步描述其它特征。玻璃纖維束52A和53A的寬度分別比玻璃纖維束12A和13A的寬度W1和W2寬。 玻璃纖維束52B和53B的寬度分別比玻璃纖維束12B和13B的寬度W1和W2寬。當絕緣層IlA和IlB較厚時，玻璃纖維束52A、53A、52B、5;3B不可能對特性阻抗不一致和傳播延遲時間差異具有影響。在這種情況下，如圖8所示，玻璃纖維束52A、53A、52B、 5 的寬度可能較寬。通過使玻璃纖維束52A、53A、52B、5;3B具有寬的寬度，可有效防止配線基板10的強度降低、并且可有效防止熱膨脹系數(shù)增加。第二實施方式圖9是根據(jù)第二實施方式的配線基板的主要部分的平面透視圖。圖10是根據(jù)第二實施方式的配線基板的主要部分的斷面圖。圖10中示出的一些元件沒有在圖9中示出。 圖10是沿圖9的線C-C截取的斷面圖。如圖9和圖10所示，基準67、絕緣層61A、配線65 和66、絕緣層61B、以及基準68層疊在配線基板60中。對配線基板60的各組件給出了詳細描述。絕緣層61A包括玻璃纖維束62A、63A和63B，以及絕緣樹脂64A。玻璃纖維束62A、63A和6 浸入絕緣樹脂64A。絕緣樹脂64A的材料與絕緣樹脂14A的相同，因此不進一步描述。具有寬度W3的玻璃纖維束62A以間隔&布置在與X軸平行的方向上。具有寬度 W4的玻璃纖維束63A以間隔S7布置在與Y軸平行的方向上。在相鄰玻璃纖維束63A之間， 具有寬度W5的玻璃纖維束63B以間隔&布置在與Y軸平行的方向上。玻璃纖維束62A、63A 和63B以格狀方式平面編織。通過將例如幾微米的多條玻璃纖維捆在一起形成各玻璃纖維束62A、63A和63B。在由玻璃纖維束62A和玻璃纖維束63A或6 形成的空隙部62X(所謂的籃孔)處，不存在玻璃纖維；空隙部12X填充有絕緣樹脂64A。寬度W4比寬度W5寬，間隔 S7比間隔S8寬。絕緣層61B包括玻璃纖維束62B、63C和63D，以及絕緣樹脂64B。玻璃纖維束62B、 63C和63D浸入絕緣樹脂64B。絕緣樹脂64B的材料與絕緣樹脂14A相同，因此不進一步描述。具有寬度W3的玻璃纖維束62B以間隔&布置在與X軸平行的方向上。具有寬度 W4的玻璃纖維束63C以間隔S7布置在與Y軸平行的方向上。在相鄰玻璃纖維束63C之間， 具有寬度W5的玻璃纖維束63D以間隔&布置在與Y軸平行的方向上。玻璃纖維束62B、63C 和63D以格狀方式平面編織。玻璃纖維束62B、63C和63D的細節(jié)與玻璃纖維束62A、63A和 63B相同，因此不進一步描述。寬度W3可等于寬度W4寬，間隔&可等于間隔S7。玻璃纖維束62B、63C和63D布置在與玻璃纖維束62A、63A和6!3B對應的位置處。 也就是說，玻璃纖維束62B、63C和63D布置在從平面視圖看與玻璃纖維束62A、63A和6!3B 重疊的位置處。配線65和66選擇性地形成在絕緣層6IA的一側上?；鶞?7大體上形成在絕緣層61A的另一側的整個表面上?；鶞?8大體上形成在絕緣層61B的與鄰近配線65和66 的一側相對的側的整個表面上。配線65和66是其中流過預定電信號的導體?；鶞?7和 68是用作流過配線65和66的預定電信號的回路的導體。配線65和66對應于不同信號。 配線65等的材料與配線15等的相同，因此不進一步描述。玻璃纖維束62A的寬度W3(玻璃纖維束62B的寬度W3)和玻璃纖維束63A的寬度 W4(玻璃纖維束63B的寬度W4)可以是任意值，但是優(yōu)選為比配線65和66的寬度窄。更具體地，常規(guī)玻璃纖維束的寬度約為300 μ m。然而，在本實施方式中，寬度W3和寬度W4優(yōu)選為比配線65和66的寬度窄，例如小于或等于100 μ m。玻璃纖維束63A之間的間隔S7 (玻璃纖維束63C之間的間隔S7)設置為比“配線 65的寬度+配線66的寬度+配線65和66之間的間隔”寬。間隔S7例如可以為800 μ m。玻璃纖維束63B的寬度W5 (玻璃纖維束63D的寬度W5)設置為比配線65和66的寬度窄。寬度％例如可以為小于或等于ΙΟΟμπι。玻璃纖維束6 之間的間隔&(玻璃纖維束63D之間的間隔S8)設置為例如使得玻璃纖維束63A之間的間隔S7(玻璃纖維束63C之間的間隔S7)被均勻劃分。玻璃纖維束6 和63D的數(shù)量不限于3，可以是任意數(shù)量。如上所述，玻璃纖維束63A之間的間隔S7設置為比“配線65的寬度+配線66的寬度+配線65和66之間的間隔”寬。相應地，配線65和66布置在相鄰玻璃纖維束63A之間、從平面視圖看不與玻璃纖維束63A重疊的位置處，以及相鄰玻璃纖維束63C之間、從平面視圖看不與玻璃纖維束63C重疊的位置處。
因此，配線65和66的大部分沿填充有具有低相對介電常數(shù)和優(yōu)良傳輸特性的絕緣樹脂的空隙部(所謂的籃孔)延伸。配線65和66僅有少部分與玻璃纖維束交叉。因此，與常規(guī)配線基板相比，在配線基板60中，減輕了玻璃纖維密度差異的影響，減少了特性阻抗不一致和傳播延遲時間差異，從而高性能地執(zhí)行高速傳輸。特別地，通過使玻璃纖維束62A的寬度W3比配線65和66的寬度窄，配線65和66 的更多部分沿具有低相對介電常數(shù)和優(yōu)良傳輸特性的絕緣樹脂延伸。此外，配線65和66 的更少部分與玻璃纖維束交叉。因此，更大地減輕了玻璃纖維密度差異的影響，更大地減少了特性阻抗不一致和傳播延遲時間差異，從而高性能地執(zhí)行高速傳輸。此外，在相鄰玻璃纖維束63A之間布置寬度比玻璃纖維束63A窄的玻璃纖維束 63B，并且在相鄰玻璃纖維束63C之間布置寬度比玻璃纖維束63C窄的玻璃纖維束63D。因此，能夠補償玻璃纖維量的減少、防止配線基板60的強度降低、并且防止熱膨脹系數(shù)增加。 玻璃纖維束6 和63D的寬度W5比配線65和66的寬度窄，因此不影響高速傳輸。如圖11所示，配線基板70包括經(jīng)由其中玻璃纖維束(未示出)以格狀編織的絕緣層7 72n_i層疊的多個配線層 71n。在這種情況下，配線層和絕緣層不必全部具有與第一或第二實施方式相同的構造。例如，如果配線層713是具有差動配線的配線層，則圖4所示的構造僅應用于配線層713和絕緣層7 724。其它絕緣層中玻璃纖維束的寬度和間隔不影響配線層713中差動配線中的高速傳輸。因此，可考慮防止配線基板70的強度降低、并且防止熱膨脹系數(shù)增加，適當?shù)卦O置其它絕緣層中玻璃纖維束的寬度和間隔。當配線層713是具有差動配線的配線層時，圖10所示的構造僅應用于配線層713 和絕緣層722、723。其它絕緣層中玻璃纖維束的寬度和間隔不影響配線層713中差動配線的高速傳輸。因此，可考慮防止配線基板70的強度降低、并且防止熱膨脹系數(shù)增加，適當?shù)卦O置其它絕緣層中玻璃纖維束的寬度和間隔。配線基板的制造方法接下來，參照圖12-圖19給出了對圖3和圖4所示的配線基板10的制造方法的描述。在下面，僅給出了層疊/形成基準17、絕緣層11A、配線15和16、以及絕緣層IlB的描述?？赏ㄟ^同樣的方法制造其它元件。首先，如圖12和圖13所示，通過在絕緣層IlA的兩側上形成固體銅箔17和81作為配線層，來制備芯層82。然后，在芯層82中形成基準孔82X。例如，在相對的角落中形成兩個基準孔82X。圖12是平面透視圖，圖13是沿圖12的線C-C截取的斷面圖。圖13中所示的元件的一些沒有在圖12中示出。固體銅箔17對應于上面描述的基準17。具體地，例如，向芯層82上照射X射線，以識別玻璃纖維束12A和13A的位置，并且確定原點位置R。原點位置R可以是任意位置；但在本例中，將由玻璃纖維束12A和13A 形成的空隙部12X的頂點中的一個確定為原點位置R。接下來，利用確定的原點位置R作為基準，在預定位置處形成穿過芯層82的基準孔82X。預先識別作為設計信息的與玻璃纖維束12A和13A的寬度和間隔有關的信息。因此，能夠計算玻璃纖維束12A和13A相對于基準孔82X所在區(qū)域的坐標。接下來，形成配線15和16，配線15和16是差動配線。具體地，如圖14所示，在作為配線層的固體銅箔81上形成光刻膠層83。然后，如圖15所示，在光刻膠層83上定位掩模84。掩模84包括對應于芯層82的基準孔82X的定位孔84X(基準標記)，以及對應于配線15和16的開口 15X和16X。定位孔84X以及開口 15X和16X預先形成。如上所述， 預先計算璃纖維束12A和13A相對于基準孔82X所在區(qū)域的坐標。因此，制作掩模84使得當將定位孔84X定位為與基準孔82X的位置對準時，開口 15X和16X位于相鄰玻璃纖維束 12A之間或相鄰玻璃纖維束13A之間。接下來，經(jīng)由掩模84曝光并顯影光刻膠層83。相應地，如圖16所示，部分去除光刻膠層83，使得僅在與配線15和16形成在固體銅箔81上的位置相對應的位置處余留光刻膠層83。然后，如圖17所示，使用光刻膠層83作為掩模，在固體銅箔81上進行蝕刻。隨后，去除光刻膠層83，從而形成配線15和16。接下來，制備絕緣層11B，在與圖12和圖13所示的芯層82的基準孔82X相同的位置處形成基準孔ιιχ(在兩個位置處)。也就是說，基準孔Iix的位置被形成為使得當基準孔Iix被定位為與基準孔82X的位置對準時，玻璃纖維束12A的中心位置和玻璃纖維束 12B的中心位置互相對準，并且玻璃纖維束13A的中心位置和玻璃纖維束1 的中心位置互相對準。然后，通過銷釘層疊(pin lamination)，芯層82和絕緣層IlB的位置對準。具體地，如圖18所示，使用設置有定位銷88的安裝部89來定位芯層82和絕緣層11B，從而絕緣層IlB固定在芯層82上。安裝部89設置有兩個定位銷88，這兩個定位銷88設置在與圖 12和圖13所示的絕緣層IlA的兩個基準孔82X相對應的并且與絕緣層IlB的兩個基準孔 IlX相對應的位置處。隨后，從設置有定位銷88的安裝部89去除芯層82和絕緣層11B，從而如圖19所示，形成包括固定在芯層82上的絕緣層IlB的層疊體。如上所述，向絕緣層上照射X射線，以識別玻璃纖維束的位置，并且確定原點位置 R0利用確定出的原點位置R作為基準，在預定位置處形成穿過絕緣膜的基準孔。能夠識別玻璃纖維束相對于基準孔的位置，因此在相鄰玻璃纖維束之間形成差動配線。然后，執(zhí)行相同的方法，在另一絕緣層上形成基準孔。然后，另一絕緣層通過銷釘層疊定位到具有差動配線的絕緣層上，并且另一絕緣層層疊到具有差動配線的絕緣層上。因此，在具有差動配線的絕緣層上，差動配線布置在兩個相鄰玻璃纖維束之間、從平面視圖看不與玻璃纖維束重疊的位置處。此外，差動配線布置在其他絕緣層的兩個相鄰玻璃纖維束之間、從平面視圖看不與另一絕緣層的玻璃纖維束重疊的位置處。此外，當在其中絕緣層IlB固定在芯層82上的層疊體上層疊絕緣層21A時，玻璃纖維束12A和13A以及玻璃纖維束22A和23A之間的位置關系不是很重要。玻璃纖維束 22A和23A用于加固空隙部12X。只要玻璃纖維束22A和23A位于空隙部12X之上，它們的目的就能實現(xiàn)。這同樣適用于層疊絕緣層21B時。配線基板10的制造方法同樣適用于根據(jù)第一實施方式的變型例1的配線基板30、 根據(jù)第一實施方式的變型例2的配線基板40、根據(jù)第一實施方式的變型例3的配線基板 50、以及根據(jù)第二實施方式的配線基板60。本發(fā)明不限于這里描述的具體實施方式
，在不脫離本發(fā)明的范圍的情況下，可作出變型和修改。例如，在第二實施方式中，在相鄰的玻璃纖維束62A或相鄰的玻璃纖維束62B之間，可在與X軸平行的方向上設置比玻璃纖維束62A和62B窄的玻璃纖維束。根據(jù)本發(fā)明的一種實施方式，提供了具有低制造成本的配線基板，其中玻璃纖維密度差異對配線的影響得以最小化。
這里列舉的所有示例和條件性語言旨在以教義目的幫助讀者理解本發(fā)明和發(fā)明人為促進現(xiàn)有技術而貢獻的概念，并且將被構造為不限于這里具體列舉的示例和條件，說明書中這些示例的組織也不涉及顯示本發(fā)明的優(yōu)勢和劣勢。盡管已經(jīng)詳細描述了本發(fā)明的實施方式，但是應該理解，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可以對此作出各種改變、替換和變化。
權利要求
1.一種配線基板，所述配線基板包括 一對差動配線；鄰近該對差動配線的一側設置的第一絕緣層，所述第一絕緣層包括與該對差動配線的延伸方向平行布置的第一纖維束；鄰近該對差動配線的另一側設置的第二絕緣層，所述第二絕緣層包括與該對差動配線的延伸方向平行布置的第二纖維束，所述第二纖維束以與所述第一纖維束相同的節(jié)距布置；設置在所述第一絕緣層的與所述第一絕緣層鄰近該對差動配線的一側相對的一側上的第三絕緣層，所述第三絕緣層包括與該對差動配線的延伸方向平行布置的第三纖維束； 以及設置在所述第二絕緣層的與所述第二絕緣層鄰近該對差動配線的一側相對的一側上的第四絕緣層，所述第四絕緣層包括與該對差動配線的延伸方向平行布置的第四纖維束，其中所述第三纖維束之間的間隔和所述第四纖維束之間的間隔分別比所述第一纖維束之間的間隔和所述第二纖維束之間的間隔窄，并且該對差動配線布置在相鄰的所述第一纖維束之間、從平面視圖看不與所述第一纖維束重疊的位置處，并且布置在相鄰的所述第二纖維束之間、從平面視圖看不與所述第二纖維束重疊的位置處。
2.根據(jù)權利要求1所述的配線基板，其中該對差動配線的配線寬度比所述第一纖維束的寬度和所述第二纖維束的寬度寬。
3.根據(jù)權利要求1所述的配線基板，其中所述第三纖維束的寬度和所述第四纖維束的寬度比該對差動配線的配線寬度窄。
4.根據(jù)權利要求1所述的配線基板，其中所述第一絕緣層還包括與所述多個第一纖維束相交的多個第五纖維束， 所述第二絕緣層還包括與所述多個第二纖維束相交的多個第六纖維束，并且所述第五纖維束的節(jié)距和所述第六纖維束的節(jié)距比所述第一纖維束和所述第二纖維束的節(jié)距窄。
5.一種配線基板，所述配線基板包括 一對差動配線；鄰近該對差動配線的一側設置的第一絕緣層，所述第一絕緣層包括與該對差動配線的延伸方向平行布置的多個第一纖維束、以及在相鄰的所述第一纖維束之間并且在與所述第一纖維束相同方向上布置的多個第三纖維束；以及鄰近該對差動配線的另一側設置的第二絕緣層，所述第二絕緣層包括與該對差動配線的延伸方向平行布置的多個第二纖維束，所述第二纖維束以與所述第一纖維束相同的節(jié)距布置，所述第二絕緣層還包括在相鄰的所述第二纖維束之間并且在與所述第二纖維束相同方向上布置的多個第四纖維束，其中所述第三纖維束的寬度和所述第四纖維束的寬度分別比所述第一纖維束的寬度和所述第二纖維束的寬度窄，并且該對差動配線布置在相鄰的所述第一纖維束之間、從平面視圖看不與所述第一纖維束重疊的位置處，并且布置在相鄰的所述第二纖維束之間、從平面視圖看不與所述第二纖維束重疊的位置處。
6.根據(jù)權利要求5所述的配線基板，其中該對差動配線的配線寬度比所述第一纖維束的寬度和所述第二纖維束的寬度寬。
7.根據(jù)權利要求5所述的配線基板，其中所述第三纖維束的寬度和所述第四纖維束的寬度比該對差動配線的配線寬度窄。
8.根據(jù)權利要求5所述的配線基板，其中所述第一絕緣層還包括與所述第一纖維束相交的第五纖維束， 所述第二絕緣層還包括與所述第二纖維束相交的第六纖維束，并且所述第五纖維束的節(jié)距和所述第六纖維束的節(jié)距比所述第一纖維束和所述第二纖維束的節(jié)距窄。
9.=一種配線基板的制造方法，所述制造方法包括以下步驟信息獲取步驟，獲得與第一絕緣層中的多個第一纖維束的寬度和間隔有關、以及與第二絕緣層中的多個第二纖維束的寬度和間隔有關的信息，所述第一纖維束平行布置在所述第一絕緣層中，所述第二纖維束以與所述第一纖維束相同的節(jié)距并以與所述第一纖維束相同的方向布置在所述第二絕緣層中；基準孔位置確定步驟，確定將分別形成在所述第一絕緣層和所述第二絕緣層中的第一基準孔和第二基準孔的位置；計算步驟，基于所述信息計算所述第一纖維束所在區(qū)域相對于所述第一基準孔的坐標以及所述第二纖維束所在區(qū)域相對于所述第二基準孔的坐標； 層疊步驟，在所述第一絕緣層上層疊配線層；基準孔形成步驟，在所述基準孔位置確定步驟中確定的各個位置處，在所述第一絕緣層和所述配線層中形成所述第一基準孔，并在所述第二絕緣層中形成所述第二基準孔；差動配線形成步驟，通過基于計算步驟中計算出的坐標去除所述配線層的一部分，在所述第一絕緣層上在相鄰的所述第一纖維束之間、從平面視圖看不與所述第一纖維束重疊的位置處形成差動配線；對準步驟，使所述第一基準孔與所述第二基準孔對準；第二絕緣層層疊步驟，以覆蓋所述差動配線的方式在所述第一絕緣層上層疊所述第二絕緣層；第三絕緣層層疊步驟，在所述第一絕緣層上層疊第三絕緣層，所述第三絕緣層包括以比所述第一纖維束的間隔窄的間隔布置、并且在與所述第一纖維束相同的方向上布置的第三纖維束；以及第四絕緣層層疊步驟，在所述第二絕緣層上層疊第四絕緣層，所述第四絕緣層包括以比所述第二纖維束的間隔窄的間隔布置、并且在與所述第二纖維束相同的方向上布置的第四纖維束，其中將所述第一基準孔的位置和所述第二基準孔的位置確定為使所述第一基準孔和所述第二基準孔對準時，所述第一纖維束的中心位置與所述第二纖維束的中心位置對準。
10.根據(jù)權利要求9所述的制造方法，其中該對差動配線的配線寬度比所述第一纖維束的寬度和所述第二纖維束的寬度寬。
11.根據(jù)權利要求9所述的制造方法，其中所述第三纖維束的寬度和所述第四纖維束的寬度比該對差動配線的配線寬度窄。
12.根據(jù)權利要求9所述的制造方法，其中所述第一絕緣層還包括與所述第一纖維束相交的第五纖維束，所述第二絕緣層還包括與所述第二纖維束相交的第六纖維束，并且所述第五纖維束的節(jié)距和所述第六纖維束的節(jié)距比所述第一纖維束和所述第二纖維束的節(jié)距窄。
13.根據(jù)權利要求9所述的制造方法，所述制造方法還包括制作第一掩模，所述第一掩模包括對應于所述第一基準孔的位置的基準標記，還包括對應于所述差動配線的開口部，所述基準標記和所述開口部基于所述計算步驟中計算出的坐標形成在所述第一掩模中，所述開口部被形成為當所述第一基準孔和所述基準標記對準時，在所述第一絕緣層上布置在相鄰的所述第一纖維束之間、從平面視圖看不與所述第一纖維束重疊的位置處；在所述配線層上形成光刻膠層；以使所述第一基準孔和所述基準標記對準的方式隔著所述光刻膠層在所述配線層上放置所述第一掩模；經(jīng)由所述第一掩模對所述光刻膠層進行曝光并顯影，使所述光刻膠層的對應于將要形成所述差動配線的位置的部分余留在所述配線層上，并使所述光刻膠層的其它部分被去除；利用所述光刻膠層的余留在所述配線層上的部分作為第二掩模蝕刻所述配線層；以及去除所述光刻膠層的余留在所述配線層上的部分，以形成所述差動配線。
全文摘要
一種配線基板，所述配線基板包括差動配線；鄰近差動配線一側的第一絕緣層，第一絕緣層包括與差動配線平行的第一纖維束；鄰近差動配線另一側的第二絕緣層，第二絕緣層包括與差動配線平行的第二纖維束，第二纖維束以與第一纖維束相同的節(jié)距布置；在第一絕緣層的與所述差動配線相對的側上的第三絕緣層，所述第三絕緣層包括與差動配線平行的第三纖維束；以及在第二絕緣層的與差動配線相對的側上的第四絕緣層，第四絕緣層包括與差動配線平行的第四纖維束。第三纖維束的間隔和第四纖維束的間隔分別比第一纖維束的間隔和第二纖維束的間隔窄。差動配線布置在相鄰的第一纖維束之間、并且布置在相鄰的第二纖維束之間。
文檔編號H05K1/02GK102291926SQ201110078660
公開日2011年12月21日 申請日期2011年3月30日 優(yōu)先權日2010年6月17日
發(fā)明者向山考英, 大井譽裕, 山田哲郎, 松井亞紀子, 森田義裕, 菅根光彥 申請人:富士通株式會社