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      一種單晶爐旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的軸密封結(jié)構(gòu)的制作方法

      文檔序號:8045460閱讀:244來源:國知局
      專利名稱:一種單晶爐旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的軸密封結(jié)構(gòu)的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本發(fā)明涉及一種單晶爐旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的軸密封裝置,屬于軸密封技術(shù)領(lǐng)域。
      背景技術(shù)
      目前,通常使用單晶爐制取單晶硅,一般采用如下方法制造將多晶硅裝進(jìn)石英坩 堝內(nèi),加熱熔化,然后,將熔硅略做降溫,給予一定的過冷度,把籽晶裝入硅籽晶夾持器中, 將籽晶夾持器的上端通過連接件與籽晶軸連接,籽晶固定于夾持器的下端,并且使籽晶與 硅熔體接觸,通過調(diào)整熔體的溫度和籽晶向上的提升速度,使籽晶體長大。在生產(chǎn)過程中,單晶爐爐體內(nèi)需要保持一定的真空度,旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的軸穿過頂蓋必 須實現(xiàn)密封,目前多采用填料密封,填料密封的特點是如果填料壓得過緊,將加快軸的磨 損,過松則密封性能不好。往往在使用初期,填料壓緊到合適的程度,密封效果較好,隨著使 用時間的延長,其密封性能下降。由于單晶爐旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)位置比較高,操作人員爬到高位檢查 不太方便,泄漏產(chǎn)生時不易察覺。

      發(fā)明內(nèi)容
      本發(fā)明的目的在于,克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題,提供一種單晶爐旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的軸 密封裝置,自身具備一定彈性,長時間運(yùn)轉(zhuǎn)后,仍然能保持良好的密封。為解決以上技術(shù)問題,本發(fā)明所提供的一種單晶爐旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的軸密封裝置,包括 密封面相互配合的石墨靜環(huán)及石墨動環(huán);所述石墨靜環(huán)安裝在頂蓋的臺階孔中,石墨靜環(huán) 的下端面與所述臺階孔之間通過靜環(huán)密封圈實現(xiàn)密封,所述石墨靜環(huán)的下端面上設(shè)有靜環(huán) 固定槽,臺階孔上設(shè)有插入所述靜環(huán)固定槽中且與靜環(huán)固定槽相適配的靜環(huán)銷釘;所述石 墨動環(huán)安裝在密封環(huán)座的下端面上,所述密封環(huán)座的上端面連接在彈簧活動座上,所述彈 簧活動座與所述密封環(huán)座的相向端面之間通過動環(huán)密封圈實現(xiàn)密封,所述密封環(huán)座的上端 面上設(shè)有密封環(huán)座銷釘孔,所述彈簧活動座的下端面上設(shè)有與所述密封環(huán)座銷釘孔相適配 的彈簧活動座銷釘,所述彈簧活動座銷釘插入所述密封環(huán)座銷釘孔中;所述彈簧活動座與 彈簧固定座之間設(shè)有彈簧,所述彈簧固定座上設(shè)有螺釘孔,緊定螺釘擰入所述螺釘孔將彈 簧固定座鎖緊在旋轉(zhuǎn)軸上。相對于現(xiàn)有技術(shù),本發(fā)明取得了以下有益效果密封通過石墨動環(huán)和石墨靜環(huán)的 相向端面實現(xiàn)的,石墨比較耐磨且具有自潤滑功能,運(yùn)轉(zhuǎn)一段時間后,石墨動環(huán)和石墨靜環(huán) 的密封面微量磨損,彈簧的推力仍然可以保持兩密封環(huán)之間良好的密封。作為本發(fā)明的優(yōu)選方案,所述靜環(huán)密封圈設(shè)有相互嵌套的兩個。作為本發(fā)明的優(yōu)選方案,所述動環(huán)密封圈設(shè)有相互嵌套的兩個。


      圖1為本發(fā)明單晶爐旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的軸密封裝置的分解示意圖。圖2為圖1中石墨靜環(huán)沿A-A的下端面視圖。
      圖3為本發(fā)明單晶爐旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的軸密封裝置的安裝示意圖。圖4為圖3中軸套的放大圖。圖5為圖4的B向視圖。圖中1彈簧固定座、Ia螺釘孔、Ib緊定螺釘、2彈簧、3彈簧活動座、3a彈簧活動座 銷釘、4第一動環(huán)密封圈、5第二動環(huán)密封圈、6密封環(huán)座、6a密封環(huán)座銷釘孔、6b石墨動環(huán)、 7石墨靜環(huán)、7a靜環(huán)固定槽、8第一靜環(huán)密封圈、9第二靜環(huán)密封圈、10旋轉(zhuǎn)軸、11軸套、Ila 鍵槽、1 Ib軸套端面密封槽、12頂蓋、12a靜環(huán)銷釘、13鍵、14軸套端面密封圈。
      具體實施例方式如圖1、圖2及圖3所示,本發(fā)明的單晶爐旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的軸密封裝置包括密封面相互 配合的石墨靜環(huán)7及石墨動環(huán)6b。石墨靜環(huán)7安裝在頂蓋12的臺階孔中,石墨靜環(huán)7的下端面與臺階孔之間通過靜 環(huán)密封圈實現(xiàn)密封,靜環(huán)密封圈包括相互嵌套的第一靜環(huán)密封圈8和第二靜環(huán)密封圈9。石 墨靜環(huán)7的下端面上設(shè)有靜環(huán)固定槽7a,臺階孔上設(shè)有靜環(huán)固定槽7a相適配的靜環(huán)銷釘 12a,靜環(huán)銷釘1 插入靜環(huán)固定槽7a中使靜環(huán)不能轉(zhuǎn)動。石墨動環(huán)6b安裝在密封環(huán)座6的下端面上且兩者連為一體,密封環(huán)座6的上端面 連接在彈簧活動座3上,彈簧活動座3與密封環(huán)座6的相向端面之間通過動環(huán)密封圈實現(xiàn) 密封,動環(huán)密封圈包括相互嵌套的第一動環(huán)密封圈4和第二動環(huán)密封圈5。密封環(huán)座6的上 端面上設(shè)有密封環(huán)座銷釘孔6a,彈簧活動座3的下端面上設(shè)有與密封環(huán)座銷釘孔6a相適配 的彈簧活動座銷釘3a,彈簧活動座銷釘3a插入密封環(huán)座銷釘孔6a中;彈簧活動座3與彈 簧固定座1之間設(shè)有彈簧2,彈簧固定座1上設(shè)有螺釘孔la,緊定螺釘Ib擰入螺釘孔Ia將 彈簧固定座1鎖緊在旋轉(zhuǎn)軸10上。如圖3、圖4及圖5所示,為了保護(hù)旋轉(zhuǎn)軸10,在旋轉(zhuǎn)軸10上套裝有軸套11,軸套 11內(nèi)壁設(shè)有鍵槽Ila并通過鍵13與旋轉(zhuǎn)軸10連接,彈簧固定座1鎖緊在軸套11的外壁, 軸套11的下端面上設(shè)有軸套端面密封槽11b,軸套端面密封槽lib中安裝有軸套端面密封 圈14。除上述實施例外,本發(fā)明還可以有其它實施方式,凡采用等同替換或等效變換形 成的技術(shù)方案,均落在本發(fā)明要求的保護(hù)范圍內(nèi)。
      權(quán)利要求
      1.一種單晶爐旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的軸密封裝置,其特征是包括密封面相互配合的石墨靜環(huán)及 石墨動環(huán);所述石墨靜環(huán)安裝在頂蓋的臺階孔中,石墨靜環(huán)的下端面與所述臺階孔之間通 過靜環(huán)密封圈實現(xiàn)密封,所述石墨靜環(huán)的下端面上設(shè)有靜環(huán)固定槽,臺階孔上設(shè)有插入所 述靜環(huán)固定槽中且與靜環(huán)固定槽相適配的靜環(huán)銷釘;所述石墨動環(huán)安裝在密封環(huán)座的下端 面上,所述密封環(huán)座的上端面連接在彈簧活動座上,所述彈簧活動座與所述密封環(huán)座的相 向端面之間通過動環(huán)密封圈實現(xiàn)密封,所述密封環(huán)座的上端面上設(shè)有密封環(huán)座銷釘孔,所 述彈簧活動座的下端面上設(shè)有與所述密封環(huán)座銷釘孔相適配的彈簧活動座銷釘,所述彈簧 活動座銷釘插入所述密封環(huán)座銷釘孔中;所述彈簧活動座與彈簧固定座之間設(shè)有彈簧,所 述彈簧固定座上設(shè)有螺釘孔,緊定螺釘擰入所述螺釘孔將彈簧固定座鎖緊在旋轉(zhuǎn)軸上。
      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的軸密封裝置,其特征是,所述靜環(huán)密封圈 設(shè)有相互嵌套的兩個。
      3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的單晶爐旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的軸密封裝置,其特征是,所述動環(huán)密封 圈設(shè)有相互嵌套的兩個。
      全文摘要
      本發(fā)明公開了一種單晶爐旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的軸密封裝置,屬于軸密封技術(shù)領(lǐng)域。該單晶爐旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的軸密封裝置包括相互配合的石墨靜環(huán)及石墨動環(huán),石墨靜環(huán)通過靜環(huán)密封圈安裝在頂蓋上;石墨動環(huán)安裝在密封環(huán)座的下端面,密封環(huán)座的上端面連接在彈簧活動座上,彈簧活動座與密封環(huán)座的相向端面之間通過動環(huán)密封圈實現(xiàn)密封,彈簧活動座與彈簧固定座之間設(shè)有彈簧,彈簧固定座上設(shè)有螺釘孔,緊頂螺釘擰入螺釘孔將彈簧固定座鎖緊在旋轉(zhuǎn)軸上。靜環(huán)密封圈設(shè)有相互嵌套的兩個,動環(huán)密封圈設(shè)有相互嵌套的兩個。該軸密封裝置運(yùn)轉(zhuǎn)一段時間后,石墨動環(huán)和石墨靜環(huán)的密封面微量磨損,彈簧的推力仍然可以保持兩密封環(huán)之間良好的密封。
      文檔編號C30B15/30GK102140677SQ20111008876
      公開日2011年8月3日 申請日期2011年4月11日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月11日
      發(fā)明者夏偉, 朱仲寶 申請人:江蘇寶佳太陽能發(fā)展有限公司
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