專利名稱：晶體生長(zhǎng)用坩堝移動(dòng)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于晶體生長(zhǎng)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種晶體生長(zhǎng)用坩堝移動(dòng)裝置。
背景技術(shù)：
在藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)技術(shù)中，坩堝移動(dòng)機(jī)構(gòu)承擔(dān)著坩堝的支撐固定、位置調(diào)整、跟蹤運(yùn)動(dòng)等作用，而坩堝中則承載著高溫熔溶的藍(lán)寶石原料，由于熔溶的藍(lán)寶石原料粘度大，其中的氣泡往往不能完全排除，在晶體生長(zhǎng)時(shí)就會(huì)進(jìn)入所生長(zhǎng)的晶體中，從而影響晶體的質(zhì)量。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種晶體生長(zhǎng)用坩堝移動(dòng)裝置，解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在氣泡往往不能完全排除，在晶體生長(zhǎng)時(shí)就會(huì)進(jìn)入所生長(zhǎng)的晶體中，從而影響晶體的質(zhì)量的問(wèn)題。本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是，一種晶體生長(zhǎng)用坩堝移動(dòng)裝置，在支座上設(shè)置有傳動(dòng)連接的電動(dòng)機(jī)和直線運(yùn)動(dòng)總成，直線運(yùn)動(dòng)總成中設(shè)置有沿豎直方向移動(dòng)的滑座；滑座上固定有豎直方向的空心坩堝桿，在滑座上還固定安裝有激振器和溫度傳感器，溫度傳感器處于空心坩堝桿的軸心孔正下方；空心坩堝桿的下端外圓周上套裝有旋轉(zhuǎn)水套，旋轉(zhuǎn)水套連通有進(jìn)、出水管，旋轉(zhuǎn)水套的下端設(shè)置有玻璃視窗組件；空心坩堝桿的上端安放有坩堝，坩堝的周圍設(shè)置有加熱器， 坩堝之上設(shè)置有移動(dòng)籽晶，坩堝、加熱器、移動(dòng)籽晶均位于真空腔之內(nèi)，真空腔設(shè)置有抽真空裝置，所述的電動(dòng)機(jī)通過(guò)皮帶、減速機(jī)與直線運(yùn)動(dòng)總成傳動(dòng)連接。本實(shí)用新型的有益效果是，通過(guò)固定于滑座上激振器的震動(dòng)作用排出溶液中的氣泡，減少晶體缺陷，提高晶體質(zhì)量；另外，通過(guò)坩堝底部的溫度傳感器實(shí)現(xiàn)對(duì)坩堝溫度的測(cè)量；結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制造容易，使用效果明顯。

圖1為本實(shí)用新型裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中，1.支座，2.電動(dòng)機(jī)，3.皮帶，4.減速機(jī)，5.直線運(yùn)動(dòng)總成，6.滑座，7.空心坩堝桿，8.激振器，9.旋轉(zhuǎn)水套，10.玻璃視窗組件，11.支架，12.溫度傳感器，13.真空腔， 14.坩堝，15.液態(tài)原料，16.氣泡，17.加熱器，18.籽晶。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。如圖1，在支座1上設(shè)置有電動(dòng)機(jī)2和直線運(yùn)動(dòng)總成5，直線運(yùn)動(dòng)總成5中設(shè)置有沿豎直方向移動(dòng)的滑座6，電動(dòng)機(jī)2通過(guò)皮帶3和減速機(jī)4與直線運(yùn)動(dòng)總成5傳動(dòng)連接，以控制滑座6的上下移動(dòng)；滑座6上固定有豎直方向的空心坩堝桿7，在滑座6上還固定安裝有激振器8，在滑座6上通過(guò)支架11固定安裝有溫度傳感器12，溫度傳感器12處于空心坩堝桿7的軸心孔正下方；空心坩堝桿7的下端外圓周上套裝有旋轉(zhuǎn)水套9，旋轉(zhuǎn)水套9連通有進(jìn)、出水管，旋轉(zhuǎn)水套9的下端設(shè)置有玻璃視窗組件10 ；空心坩堝桿7的上端安放有坩堝 14，坩堝14的周圍設(shè)置有加熱器17，坩堝14之上設(shè)置有移動(dòng)籽晶18，坩堝14、加熱器17、 移動(dòng)籽晶18均位于真空腔13之內(nèi)，真空腔13設(shè)置有抽真空裝置。上述的電動(dòng)機(jī)2、激振器8、溫度傳感器12、加熱器17、移動(dòng)籽晶18、抽真空裝置均與控制器連接，接受統(tǒng)一控制?？招嫩釄鍡U7底部通過(guò)玻璃視窗組件10進(jìn)行密封，保證真空腔13內(nèi)的原料、零部件在高溫環(huán)境下不被氧化，同時(shí)保證所生長(zhǎng)晶體的純度。固定在滑座6上的空心坩堝桿7通過(guò)旋轉(zhuǎn)水套9實(shí)現(xiàn)冷卻，使得坩堝桿7處于常溫狀態(tài)，以保證與坩堝桿7相接觸的軸承、橡膠密封件的正常工作；還包括玻璃視窗組件10 的密封需要；溫度傳感器12通過(guò)空心坩堝桿7的軸心孔實(shí)現(xiàn)對(duì)坩堝14的溫度測(cè)量。溫度傳感器12選用紅外溫度傳感器或熱電偶。本實(shí)用新型裝置的工作原理是，坩堝14內(nèi)部的固態(tài)原料被加熱器17熔化成液態(tài)原料15，熔化過(guò)程中激振器8 —直保持震動(dòng)，直到固態(tài)原料全部熔化結(jié)束，液態(tài)原料15內(nèi)部的氣泡16受到震動(dòng)溢出液面，在抽真空裝置的抽吸作用下氣泡16被徹底排除；然后通過(guò)電動(dòng)機(jī)2、皮帶3和減速機(jī)4實(shí)現(xiàn)滑座6的上下移動(dòng)，始終保持坩堝14的液面與移動(dòng)籽晶18 配合接觸，移動(dòng)籽晶18進(jìn)行晶體生長(zhǎng)，從而生長(zhǎng)出優(yōu)質(zhì)晶體。本實(shí)用新型的晶體生長(zhǎng)用坩堝移動(dòng)裝置，通過(guò)在滑座上安裝的激振器的振動(dòng)作用將坩堝內(nèi)原料溶液中的氣泡排除，提高生長(zhǎng)晶體的質(zhì)量；同時(shí)，通過(guò)安裝在空心坩堝桿底部的溫度傳感器對(duì)坩堝的溫度進(jìn)行測(cè)量，以達(dá)到晶體的穩(wěn)定生長(zhǎng)；本實(shí)用新型裝置的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制造容易，成本低、使用效果明顯，能夠廣泛應(yīng)用在藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)、激光晶體生長(zhǎng)及其它晶體生長(zhǎng)系統(tǒng)中。
權(quán)利要求1.一種晶體生長(zhǎng)用坩堝移動(dòng)裝置，其特點(diǎn)在于在支座(1)上設(shè)置有傳動(dòng)連接的電動(dòng)機(jī)( 和直線運(yùn)動(dòng)總成(5)，直線運(yùn)動(dòng)總成(5)中設(shè)置有沿豎直方向移動(dòng)的滑座(6)；滑座(6)上固定有豎直方向的空心坩堝桿(7)，在滑座(6)上還固定安裝有激振器(8) 和溫度傳感器(12)，溫度傳感器(12)處于空心坩堝桿(7)的軸心孔正下方；空心坩堝桿(7)的下端外圓周上套裝有旋轉(zhuǎn)水套(9)，旋轉(zhuǎn)水套(9)連通有進(jìn)、出水管， 旋轉(zhuǎn)水套(9)的下端設(shè)置有玻璃視窗組件(10)；空心坩堝桿(7)的上端安放有坩堝(14)， 坩堝(14)的周圍設(shè)置有加熱器(17)，坩堝(14)之上設(shè)置有移動(dòng)籽晶(18)，坩堝(14)、加熱器(17)、移動(dòng)籽晶(18)均位于真空腔(13)之內(nèi)，真空腔(13)設(shè)置有抽真空裝置，所述的電動(dòng)機(jī)( 通過(guò)皮帶(3)、減速機(jī)(4)與直線運(yùn)動(dòng)總成( 傳動(dòng)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體生長(zhǎng)用坩堝移動(dòng)裝置，其特點(diǎn)在于所述的溫度傳感器 (12)選用紅外溫度傳感器或熱電偶。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種晶體生長(zhǎng)用坩堝移動(dòng)裝置，在支座上設(shè)置有傳動(dòng)連接的電動(dòng)機(jī)和直線運(yùn)動(dòng)總成，直線運(yùn)動(dòng)總成中設(shè)置有滑座；滑座上固定有空心坩堝桿、激振器、溫度傳感器，溫度傳感器處于空心坩堝桿的軸心孔正下方；空心坩堝桿的下端套裝有旋轉(zhuǎn)水套，旋轉(zhuǎn)水套的下端設(shè)置有玻璃視窗組件；空心坩堝桿的上端安放有坩堝，坩堝的周圍設(shè)置有加熱器，坩堝之上設(shè)置有移動(dòng)籽晶，坩堝、加熱器、移動(dòng)籽晶均位于真空腔之內(nèi)。本實(shí)用新型的裝置，通過(guò)在滑座上安裝的激振器的振動(dòng)作用將坩堝內(nèi)原料溶液中的氣泡排除，提高生長(zhǎng)晶體的質(zhì)量；通過(guò)安裝在空心坩堝桿底部的溫度傳感器對(duì)坩堝的溫度進(jìn)行測(cè)量，以達(dá)到晶體的穩(wěn)定生長(zhǎng)。
文檔編號(hào)C30B15/30GK202226964SQ20112034483
公開日2012年5月23日 申請(qǐng)日期2011年9月15日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月15日
發(fā)明者馮金生, 李留臣 申請(qǐng)人:江蘇華盛天龍光電設(shè)備股份有限公司