專利名稱：一種單晶爐內(nèi)的除塵筒的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及太陽能電池制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及ー種單晶爐內(nèi)的除塵筒。
背景技術(shù)：
太陽能電池，也稱光伏電池，是ー種將太陽的光能直接轉(zhuǎn)化為電能的半導(dǎo)體器件。由于它是緑色環(huán)保產(chǎn)品，不會引起環(huán)境污染，而且是可再生資源，所以在當(dāng)今能源短缺的情形下，太陽能電池是ー種有廣闊發(fā)展前途的新型能源。目前，80%以上的太陽電池是由晶體硅(單晶硅和多晶硅)材料制備而成，因此，制備高質(zhì)量的晶體硅對于大規(guī)模利用太陽能發(fā)電有著十分重要的意義。 在制備單晶硅的過程中需要用到的設(shè)備是單晶爐。單晶爐是ー種在惰性氣體(氬氣)環(huán)境中，用石墨電阻加熱器將硅半導(dǎo)體材料溶化，并采用直拉法生長無位錯單晶硅的設(shè)備。而除塵筒是單晶爐的重要組成部分之一，其內(nèi)部設(shè)有濾芯，安裝在單晶爐爐體和真空泵之間，用于過濾單晶爐內(nèi)所排出的氣體中的雜質(zhì)，以防止真空泵發(fā)生卡死的現(xiàn)象。但是現(xiàn)有技術(shù)中單晶爐內(nèi)的除塵筒，在生長單晶硅時，其內(nèi)部的濾芯吸附雜質(zhì)較多，容易造成濾芯堵塞，影響單晶硅的生長。此外，毎次單晶硅出爐后，都需要將濾芯取出進(jìn)行清理，導(dǎo)致清洗工作量大，而且濾芯的頻繁清洗，容易造成濾芯表面破損，影響濾芯的使用壽命。

實用新型內(nèi)容為解決上述技術(shù)問題，本實用新型實施例提供了ー種單晶爐內(nèi)的除塵筒，在單晶爐運(yùn)行時，除塵筒內(nèi)的濾芯不易吸附單晶爐排氣中的雜質(zhì)，避免了濾芯堵塞現(xiàn)象，而且減少了清洗工作量，減緩了濾芯由于頻繁清洗而造成的表面破損，延長了濾芯的使用壽命。為解決上述問題，本實用新型實施例提供了如下技術(shù)方案—種單晶爐內(nèi)的除塵筒，其內(nèi)部具有濾芯，所述濾芯包括濾芯本體以及敷設(shè)于所述濾芯本體表面的特氟龍薄膜；其中，所述特氟龍薄膜為不吸附性薄膜。優(yōu)選的，所述除塵筒還包括設(shè)置在所述除塵筒側(cè)壁下端的排污ロ。優(yōu)選的，所述除塵筒還包括設(shè)置在所述除塵筒的進(jìn)氣管路上的燃燒閥，所述燃燒閥當(dāng)單晶爐的功率降為零時打開，使濾芯上的雜質(zhì)緩慢氧化。優(yōu)選的，所述除塵筒還包括提升裝置，所述提升裝置包括設(shè)置于除塵筒筒蓋上的提手，鉤住所述提手用于將除塵筒筒蓋提起的掛鉤。優(yōu)選的，所述提升裝置還包括固定筒和提升桿；所述固定筒固定于所述除塵筒的側(cè)壁上，所述提升桿包括相連的豎直臂和水平臂，所述豎直臂與所述固定筒活動連接，所述水平臂與所述掛鉤的上端連接。優(yōu)選的，所述固定筒通過支撐桿固定于所述除塵筒的側(cè)壁上。優(yōu)選的，所述掛鉤包括相連的豎直部和鉤部；所述鉤部鉤住所述提手，所述豎直部上設(shè)置有螺紋，且所述豎直部通過水平臂上的一通孔穿過所述水平臂，并通過ー螺母與所述水平臂固定相連。優(yōu)選的，所述豎直臂與所述固定筒套接。與現(xiàn)有技術(shù)相比，上述技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn)本實用新型實施例所提供的技術(shù)方案，所述除塵筒內(nèi)部裝有的濾芯由兩部分組成濾芯本體以及敷設(shè)于所述濾芯本體表面的特氟龍薄膜；其中，所述特氟龍薄膜為不吸附性薄膜。在單晶爐運(yùn)行時，本實用新型實施例所提供的除塵筒內(nèi)的濾芯表面由于敷設(shè)了ー層不具有吸附性的特氟龍薄膜，因此該濾芯不易吸附單晶爐排氣中的雜質(zhì)，這不僅使得所述濾芯不易造成堵塞現(xiàn)象，而且不用毎次單晶硅出爐后，都將濾芯取出進(jìn)行清理，而是可以在運(yùn)行多爐次后才將濾芯取出清洗一次，從而減少了清洗的工作量，同時減緩了由于濾芯頻繁清洗而給濾芯造成的表面破損，延長了濾芯的使用壽命。

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖I為本實用新型實施例所提供的ー種單晶爐內(nèi)的除塵筒的結(jié)構(gòu)剖視圖；圖2為本實用新型實施例所提供的單晶爐內(nèi)的除塵筒的另ー種結(jié)構(gòu)主視圖。圖I和圖2中示出了 濾芯I、排污ロ 2、出氣管路3、進(jìn)氣管路4、燃燒閥5、提手6、掛鉤7、固定筒8、提升桿的豎直臂9、提升桿的水平臂10、螺母11、支撐桿12。
具體實施方式
下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護(hù)的范圍。在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本實用新型，但是本實用新型還可以采用其他不同于在此描述的其它方式來實施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本實用新型內(nèi)涵的情況下做類似推廣，因此本實用新型不受下面公開的具體實施例的限制。其次，本實用新型結(jié)合示意圖進(jìn)行詳細(xì)描述，在詳述本實用新型實施例吋，為便于說明，表示器件結(jié)構(gòu)的剖面圖會不依一般比例作局部放大，而且所述示意圖只是示例，其在此不應(yīng)限制本實用新型保護(hù)的范圍。此外，在實際制作中應(yīng)包含長度、寬度及深度的三維空間尺寸。正如背景技術(shù)部分所述，現(xiàn)有技術(shù)中單晶爐內(nèi)的除塵筒，由于除塵筒內(nèi)部的濾芯吸附雜質(zhì)較多，不易清理干凈，使其在單晶爐運(yùn)行時，濾芯容易造成堵塞，進(jìn)而影響單晶硅的生長。而且由于濾芯吸附雜質(zhì)較多，毎次單晶硅出爐后都要將濾芯取出進(jìn)行清理，導(dǎo)致清洗工作量大，影響單晶爐的準(zhǔn)備時間，而濾芯的頻繁清洗，又容易造成濾芯表面破損，影響濾芯的使用壽命。有鑒于此，本實用新型實施例提供了ー種單晶爐內(nèi)的除塵筒，參考圖I和圖2，所述單晶爐內(nèi)的除塵筒內(nèi)部設(shè)置有濾芯1，所述濾芯I包括濾芯本體以及敷設(shè)于所述濾芯本體表面的特氟龍薄膜；其中，所述特氟龍薄膜為不吸附性薄膜。由于本實用新型所提供的除塵筒內(nèi)部的濾芯表面敷設(shè)有ー層具有不吸附性的特氟龍薄膜，使得在單晶爐運(yùn)行時，所述除塵筒內(nèi)的濾芯I不易吸附單晶爐排氣中的雜質(zhì)，從而避免了現(xiàn)有技術(shù)中由于濾芯吸附雜質(zhì)較多而容易造成的濾芯堵塞現(xiàn)象，進(jìn)而不會影響單晶硅的生長。而且由于所述濾芯I不易吸附單晶爐排氣中的雜質(zhì)，從而不需要?dú)按螁尉Ч璩鰻t后都將濾芯I取出進(jìn)行清理，而是可以在運(yùn)行多爐次后再將濾芯I取出清理一次即可，從而減少了濾芯I清洗的次數(shù)，這樣不僅在減少了清洗工作量的同時減少了單晶爐的準(zhǔn)備時間，而且濾芯I清洗的次數(shù)的減少，減緩了由于濾芯I頻繁清洗而給濾芯I造成的表面破損，延長了濾芯I的使用壽命，進(jìn)而降低了生產(chǎn)成本。 此外，本實用新型所公開的單晶爐內(nèi)的除塵筒內(nèi)濾芯I表面的特氟龍薄膜還具有耐高溫的性能，以避免單晶爐內(nèi)的排氣溫度過高，將濾芯I燒壞。由于本實用新型所提供的單晶爐除塵筒內(nèi)的濾芯I不易吸附單晶爐排氣中的雜質(zhì)，單晶爐排氣中的雜質(zhì)就會掉落到除塵筒的底部，而本實用新型中的除塵筒在單晶爐運(yùn)行多次后，才打開筒蓋將除塵筒清理一次，因此，單晶爐排氣中的雜質(zhì)會在除塵筒的底部積聚，有鑒于此，本實用新型實施例所提供的單晶爐除塵筒還包括設(shè)置在所述除塵筒側(cè)壁下端的排污ロ 2，從而在毎次單晶爐運(yùn)行完后，都可以打開排污ロ 2，對除塵筒內(nèi)的雜質(zhì)進(jìn)行清理。當(dāng)單晶爐運(yùn)行多次后，在我們打開除塵筒的筒蓋將濾芯I取出進(jìn)行清理時，除塵筒內(nèi)會涌入大量的空氣，由于濾芯I上的雜質(zhì)具有自燃性，當(dāng)大量的空氣進(jìn)入除塵筒時，濾芯I上的雜質(zhì)容易發(fā)生自燃現(xiàn)象。為了防止這種自燃現(xiàn)象的發(fā)生，本實用新型實施例所提供的單晶爐除塵筒還包括設(shè)置在所述除塵筒的進(jìn)氣管路4上的燃燒閥5，所述燃燒閥5當(dāng)單晶爐的功率降為零時打開，使濾芯I上的雜質(zhì)緩慢氧化。當(dāng)單晶爐的功率降為零時，在我們打開除塵筒的筒蓋將濾芯I取出進(jìn)行清理前，先把燃燒閥5打開，使空氣緩慢進(jìn)入除塵筒內(nèi)，而且每次進(jìn)入除塵筒內(nèi)的空氣有限，從而使得濾芯I上的雜質(zhì)緩慢氧化，待濾芯I上的雜質(zhì)氧化后，再將除塵筒的筒蓋打開，將濾芯I取出進(jìn)行清理，從而避免了打開除塵筒的筒蓋時，濾芯I上的雜質(zhì)發(fā)生自燃的現(xiàn)象。在我們打開除塵筒的筒蓋時，由于除塵筒的筒蓋的重量比較大，通常需要幾個人同時將力作用于筒蓋邊緣，才能將除塵筒的筒蓋打開。由于筒蓋的邊緣不易使力，本實用新型實施例所提供的單晶爐除塵筒還包括提升裝置，所述提升裝置包括掛鉤7以及設(shè)置于除塵筒筒蓋上的提手6。在將除塵筒筒蓋打開吋，將掛鉤7掛在設(shè)置于所述筒蓋上的提手6上，再利用一定的借力裝置即可將除塵筒的筒蓋打開，從而避免了筒蓋的邊緣不易使力的弊病。需要說明的是，所述借カ裝置可以借助人力，也可以利用一定的機(jī)械裝置。本實用新型實施例中的所述提升裝置還包括固定筒8和提升桿；所述固定筒8固定于所述除塵筒的側(cè)壁上，所述提升桿包括相連的豎直臂9和水平臂10，所述豎直臂9與所述固定筒8活動連接，所述水平臂10與所述掛鉤7的上端連接。其中，所述固定筒8固定于所述除塵筒的側(cè)壁上，可以為將所述固定筒8直接焊接在所述除塵筒的側(cè)壁上，如圖I所示，也可以是將所述固定筒8通過ー支撐桿12固定于所述除塵筒的側(cè)壁上，如圖2所示；所述豎直臂9與所述固定筒8的活動連接可以為所述豎直臂9與所述固定筒8套接，包括將所述豎直臂9套接在所述固定筒8內(nèi)的內(nèi)套接，如圖I和圖2所示，和將所述豎直臂9套接在所述固定筒8外的外套接兩種方式。在所述固定筒8直接焊接在所述除塵筒的側(cè)壁上，且所述豎直臂9與所述固定筒8的連接方式為外套接時，所述固定筒8的側(cè)壁并非完全焊接在所述除塵筒的側(cè)壁上，而是所述固定筒8的側(cè)壁下端部分焊接在所述除塵筒的側(cè)壁上，而所述固定筒8的側(cè)壁上端沒有焊接在所述除塵筒的側(cè)壁上的部分，用來供所述提升桿的豎直壁與所述固定筒8活動連接。所述掛鉤7包括相連的豎直部和鉤部，所述豎直部與所述提升桿水平臂10連接，可以為將所述豎直部直接焊接在所述提升桿的水平臂10上；也可以在所述掛鉤7的豎直部上設(shè)置螺紋，在提升桿水平臂10上設(shè)置一通孔，使掛鉤7的豎直部穿過所述提升桿水平臂10的通孔，并通過螺母11將掛鉤7的豎直部固定于所述水平臂10上。利用本實用新型實施例所提供的提升裝置將所述除塵筒的筒蓋打開時，只需將所述掛鉤7掛在所述筒蓋中心位置的提手6內(nèi)，并將外力作用在所述提升桿的水平臂10上，將所述提升桿的水平臂10豎直上移，從而帶動所述提升桿的豎直臂以及通過所述掛鉤7連接于所述提升桿的水平臂10上的除塵筒筒蓋豎直上移，待所述除塵筒的筒蓋豎直上移到所述筒蓋的下表面脫離所述除塵筒的筒ロ邊沿時，所述提升桿在外力的作用下以所述提升桿的豎直臂為軸水平轉(zhuǎn)動，將所述除塵筒的筒蓋移出所述除塵筒的上方，完成所述除塵筒筒蓋的打開過程，從而避免了在打開筒蓋清理濾芯I吋，由于筒蓋過重所帯來的不便。綜上所述，本實用新型所提供的單晶爐內(nèi)的除塵筒，其內(nèi)的濾芯表面設(shè)置有特氟龍薄膜，因此所述濾芯不易吸附雜質(zhì)，從而避免了單晶爐工作時濾芯容易發(fā)生堵塞的現(xiàn)象；而且由于濾芯不易吸附雜質(zhì)，因此不用毎次單晶硅出爐后將濾芯取出進(jìn)行清洗，而是可以在運(yùn)行多爐次后才將濾芯取出清洗一次，這不僅減少了清洗的工作量，而且減緩了由于濾芯頻繁清洗而造成的濾芯表面破損，從而可延長濾芯的使用壽命。其次，本實用新型通過在除塵筒側(cè)壁下端設(shè)置排污ロ，可在毎次單晶硅出爐后通過所述排污ロ將除塵筒內(nèi)的雜質(zhì)清洗干凈，從而可使除塵筒內(nèi)的雜質(zhì)含量符合要求。再有，本實用新型通過在除塵筒的進(jìn)氣管路上設(shè)置燃燒閥，可在單晶爐降為零吋，打開燃燒閥，使濾芯上的雜質(zhì)緩慢氧化后，再打開除塵筒的筒蓋取出濾芯進(jìn)行清理，從而避免了打開除塵筒的筒蓋時，濾芯上的雜質(zhì)發(fā)生自燃的現(xiàn)象此外，本實用新型通過提升裝置在需要打開除塵筒筒蓋時將所述筒蓋打開，可避免筒蓋過重不易打開的弊端。本說明書中各個部分采用遞進(jìn)的方式描述，每個部分重點(diǎn)說明的都是與其他部分的不同之處，各個部分之間相同相似部分互相參見即可。對所公開的實施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實用新型。對這些實施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或范圍的情況下，在其它實施例中實現(xiàn)。因此，本實用新型將不會被限制于本文所示的實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。權(quán)利要求1.ー種單晶爐內(nèi)的除塵筒，其內(nèi)部具有濾芯，其特征在于，所述濾芯包括 濾芯本體以及敷設(shè)于所述濾芯本體表面的特氟龍薄膜；其中，所述特氟龍薄膜為不吸附性薄膜。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的除塵筒，其特征在于，還包括 設(shè)置在所述除塵筒側(cè)壁下端的排污ロ。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的除塵筒，其特征在于，還包括 設(shè)置在所述除塵筒的進(jìn)氣管路上的燃燒閥，所述燃燒閥當(dāng)單晶爐的功率降為零時打開，使濾芯上的雜質(zhì)緩慢氧化。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的除塵筒，其特征在于，還包括 提升裝置，所述提升裝置包括設(shè)置于除塵筒筒蓋上的提手，鉤住所述提手用于將除塵筒筒蓋提起的掛鉤。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的除塵筒，其特征在于，所述提升裝置還包括固定筒和提升桿；所述固定筒固定于所述除塵筒的側(cè)壁上，所述提升桿包括相連的豎直臂和水平臂，所述豎直臂與所述固定筒活動連接，所述水平臂與所述掛鉤的上端連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的除塵筒，其特征在于，所述固定筒通過支撐桿固定于所述除塵筒的側(cè)壁上。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的除塵筒，其特征在于，所述掛鉤包括相連的豎直部和鉤部；所述鉤部鉤住所述提手，所述豎直部上設(shè)置有螺紋，且所述豎直部通過水平臂上的一通孔穿過所述水平臂，并通過ー螺母與所述水平臂固定相連。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的除塵筒，其特征在于，所述豎直臂與所述固定筒套接。
專利摘要本實用新型實施例公開了一種單晶爐內(nèi)的除塵筒，其內(nèi)部具有濾芯，所述濾芯包括濾芯本體以及敷設(shè)于所述濾芯本體表面的特氟龍薄膜；其中，所述特氟龍薄膜為不吸附性薄膜。在單晶爐運(yùn)行時，本實用新型所提供的除塵筒內(nèi)的濾芯表面由于敷設(shè)了一層不具有吸附性的特氟龍薄膜，因此，該濾芯不易吸附單晶爐排氣中的雜質(zhì)，這不僅使得所述濾芯不易造成堵塞現(xiàn)象，而且不用每次單晶硅出爐后，都將濾芯取出進(jìn)行清理，而是可以在運(yùn)行多爐次后才將濾芯取出清洗一次，從而減少了清洗的工作量，同時減緩了由于濾芯頻繁清洗而給濾芯造成的表面破損，延長了濾芯的使用壽命。
文檔編號C30B15/00GK202415731SQ20112057448
公開日2012年9月5日 申請日期2011年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月31日
發(fā)明者楊樂, 白劍銘, 郭有亮, 靳啟忠 申請人:英利能源(中國)有限公司