專利名稱：兆聲波換能器的連接蓋的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體工藝技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種兆聲波換能器的連接蓋。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體清洗工藝面對集成電路線寬越變越小，影響硅片不良率的粒子越來越小，而顆粒越小越難清洗的挑戰(zhàn)時(shí)，兆聲波清洗越來越受到人們的重視，兆聲波清洗的機(jī)理是由高能頻振效應(yīng)并結(jié)合化學(xué)清洗劑的化學(xué)反應(yīng)對硅片進(jìn)行清洗的。在清洗時(shí)，由換能器發(fā)出波長為Iym頻率為O. 8兆赫的高能聲波，溶液分子在這種聲波的推動下作加速運(yùn)動，最大瞬時(shí)速度可達(dá)到30cm/s。因此，形成不了超聲波清洗那樣的氣泡，而只能以高速的流體波連續(xù)沖擊晶片表面，使硅片表面附著的污染物的細(xì)小微粒被強(qiáng)制除去并進(jìn)入到清洗液中。但是在產(chǎn)生高能聲波的同時(shí)由于往復(fù)和高頻振動不可避免的會釋放出一些熱量，當(dāng)熱量長時(shí)間堆積并且得不到釋放將嚴(yán)重影響換能器產(chǎn)生高能波的能力和相應(yīng)元件的使用時(shí)間后
壽命，所以為了更好的保證兆聲波清洗的效果和換能器的使用壽命，與其相配套的冷卻是非常有必要的。

發(fā)明內(nèi)容
(一)要解決的技術(shù)問題本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是，針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種兆聲波換能器的連接蓋，具有能夠冷卻壓電晶體以及將氣液隔離的密封結(jié)構(gòu)，使壓電晶體頻繁振動產(chǎn)生的熱量迅速散掉不積累。(二)技術(shù)方案本發(fā)明提供一種兆聲波換能器的連接蓋，包括連接蓋本體、環(huán)形內(nèi)腔、凹槽、冷卻氣進(jìn)氣通道和冷卻氣出氣通道，所述環(huán)形內(nèi)腔外側(cè)壁與連接蓋本體內(nèi)側(cè)壁連接，所述凹槽至少為一個(gè)，其均勻設(shè)置在環(huán)形內(nèi)腔內(nèi)側(cè)壁上，所述冷卻氣進(jìn)氣通道一端的進(jìn)氣口設(shè)置于連接蓋本體上，另一端氣口設(shè)置于環(huán)形內(nèi)腔內(nèi)側(cè)壁上，所述冷卻氣出氣通道一端的出氣口設(shè)置于連接蓋本體上，另一端氣口設(shè)置于環(huán)形內(nèi)腔外側(cè)壁上。其中，兆聲波換能器的連接蓋還包括位于連接蓋本體與兆聲波換能器接觸端面上的連接螺紋孔以及連接蓋本體頂端開設(shè)的電纜固定孔。其中，所述連接蓋本體材料為非金屬材料，其外形為任意一個(gè)幾何形狀。其中，所述連接蓋本體外形為圓柱形、長方柱形或三角柱形。其中，所述連接蓋本體材料為聚四氟乙烯、聚四氟乙烯烷氧基樹脂、聚偏氟乙烯或聚醚醚酮樹脂。其中，所述設(shè)置在所述連接蓋本體上的冷卻氣進(jìn)氣通道一端的進(jìn)氣口和冷卻氣出氣通道一端的出氣口不在同一水平線上。其中，所述凹槽為任意一個(gè)幾何形狀。其中，所述凹槽為半圓形、長方形或正方形。
(三)有益效果本發(fā)明提供的兆聲波換能器的連接蓋，在實(shí)現(xiàn)連接功能的前提下，具有能夠冷卻壓電晶體以及將氣液隔離的密封結(jié)構(gòu)，使壓電晶體頻繁振動產(chǎn)生的熱量迅速散掉不積累，并且保證了相對獨(dú)立的環(huán)境，提高了壓電晶體的連續(xù)工作時(shí)間和使用壽命。


圖I為本發(fā)明兆聲波換能器的連接蓋內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明兆聲波換能器的連接蓋外部結(jié)構(gòu)示意圖；圖3a_圖3b為本發(fā)明兆聲波換能器的連接蓋工作原理圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對本發(fā)明的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說明本發(fā)明，但不用來限制本發(fā)明的范圍。如圖I所示，本發(fā)明提供的兆聲波換能器的連接蓋，包括連接蓋本體I、環(huán)形內(nèi)腔4、凹槽5、冷卻氣進(jìn)口 6和冷卻氣出口 7，所述環(huán)形內(nèi)腔4外側(cè)壁與連接蓋本體I內(nèi)側(cè)壁連接，所述凹槽5至少為一個(gè)，其均勻設(shè)置在環(huán)形內(nèi)腔4內(nèi)側(cè)壁上，所述凹槽5為任意一個(gè)幾何形狀，如半圓形、長方形或正方形；所述冷卻氣進(jìn)氣通道一端的進(jìn)氣口 6設(shè)置于連接蓋本體I上，另一端氣口設(shè)置于環(huán)形內(nèi)腔4內(nèi)側(cè)壁上，所述冷卻氣出氣通道一端的出氣口 7設(shè)置于連接蓋本體I上，另一端氣口設(shè)置于環(huán)形內(nèi)腔4外側(cè)壁上。兆聲波換能器的連接蓋還包括位于連接蓋本體I與兆聲波換能器12接觸端面上的連接螺紋孔3以及連接蓋本體I頂端開設(shè)的電纜固定孔2 ;所述連接蓋本體I通過所述連接螺紋孔3與兆聲波換能器12連接固定，所述電纜固定孔2用來固定連接壓電晶體9和功率放大器的同軸電纜接頭8的，通過電纜接頭8上的密封圈安裝后形成密封環(huán)境。所述連接蓋本體I材料為非金屬材料，具體地，所述連接蓋本體I材料為聚四氟乙烯(PTFE)或其他防腐蝕性好，且機(jī)械加工性能和強(qiáng)度高的非金屬材料，其外形為任意一個(gè)幾何形狀，如圓柱形、長方柱形或三角柱形。如圖2所示，所述設(shè)置在所述連接蓋本體I上的冷卻氣進(jìn)氣通道一端的進(jìn)氣口 6和冷卻氣出氣通道一端的出氣口 7不在同一水平線上。另外所述冷卻氣進(jìn)氣通道比所述冷卻氣出氣通道長度略長。如圖3a-圖3b所示，工作時(shí)，當(dāng)壓電晶體9工作時(shí)會產(chǎn)生高頻的振動，產(chǎn)生熱量，通過冷卻氣進(jìn)氣通道一端的進(jìn)氣口 6通入冷卻氣體，并且冷卻氣體直接連通到清洗壓電晶體(PZT)腔內(nèi)，冷卻氣體經(jīng)過工藝腔室后由凹槽5均勻流到環(huán)形內(nèi)腔4內(nèi)，然后經(jīng)由與環(huán)形內(nèi)腔4連接的冷卻氣出氣通道一端的出氣口 7及接頭10排除，經(jīng)過冷卻氣體這樣反復(fù)的循環(huán)流動，將PZT振動產(chǎn)生的熱量帶走，從而實(shí)現(xiàn)冷卻的目的。在壓電晶體載體下面設(shè)置有密封圈10，以實(shí)現(xiàn)密封的作用，將兆聲波換能器12腔內(nèi)的液體與上層氣體區(qū)隔離開來。起到了密封和冷卻的作用。以上實(shí)施方式僅用于說明本發(fā)明，而并非對本發(fā)明的限制，有關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有等同的技術(shù)方案也屬于本發(fā)明的范疇，本發(fā)明的專利保護(hù)范圍應(yīng)由權(quán)利要求限定。
權(quán)利要求
1.一種兆聲波換能器的連接蓋，其特征在于，包括連接蓋本體、環(huán)形內(nèi)腔、凹槽、冷卻氣進(jìn)氣通道和冷卻氣出氣通道，所述環(huán)形內(nèi)腔外側(cè)壁與連接蓋本體內(nèi)側(cè)壁連接，所述凹槽至少為一個(gè)，其均勻設(shè)置在環(huán)形內(nèi)腔內(nèi)側(cè)壁上，所述冷卻氣進(jìn)氣通道一端的進(jìn)氣口設(shè)置于連接蓋本體上，另一端氣口設(shè)置于環(huán)形內(nèi)腔內(nèi)側(cè)壁上，所述冷卻氣出氣通道一端的出氣口設(shè)置于連接蓋本體上，另一端氣口設(shè)置于環(huán)形內(nèi)腔外側(cè)壁上。
2.如權(quán)利要求I所述的連接蓋，其特征在于，兆聲波換能器的連接蓋還包括位于連接蓋本體與兆聲波換能器接觸端面上的連接螺紋孔以及連接蓋本體頂端開設(shè)的電纜固定孔。
3.如權(quán)利要求I所述的連接蓋，其特征在于，所述連接蓋本體材料為非金屬材料，其外形為任意一個(gè)幾何形狀。
4.如權(quán)利要求3所述的連接蓋，其特征在于，所述連接蓋本體外形為圓柱形、長方柱形或三角柱形。
5.如權(quán)利要求3所述的連接蓋，其特征在于，所述連接蓋本體材料為聚四氟乙烯、聚四氟乙烯烷氧基樹脂、聚偏氟乙烯或聚醚醚酮樹脂。
6.如權(quán)利要求I所述的連接蓋，其特征在于，所述設(shè)置在所述連接蓋本體上的冷卻氣進(jìn)氣通道一端的進(jìn)氣口和冷卻氣出氣通道一端的出氣口不在同一水平線上。
7.如權(quán)利要求I所述的連接蓋，其特征在于，所述凹槽為任意一個(gè)幾何形狀。
8.如權(quán)利要求7所述的連接蓋，其特征在于，所述凹槽為半圓形、長方形或正方形。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種兆聲波換能器的連接蓋，包括連接蓋本體、環(huán)形內(nèi)腔、凹槽、冷卻氣進(jìn)氣通道和冷卻氣出氣通道，所述環(huán)形內(nèi)腔外側(cè)壁與連接蓋本體內(nèi)側(cè)壁連接，所述凹槽至少為一個(gè)，其均勻設(shè)置在環(huán)形內(nèi)腔內(nèi)側(cè)壁上，所述冷卻氣進(jìn)氣通道一端的進(jìn)氣口設(shè)置于連接蓋本體上，另一端氣口設(shè)置于環(huán)形內(nèi)腔內(nèi)側(cè)壁上，所述冷卻氣出氣通道一端的出氣口設(shè)置于連接蓋本體上，另一端氣口設(shè)置于環(huán)形內(nèi)腔外側(cè)壁上。本發(fā)明提供的兆聲波換能器的連接蓋，在實(shí)現(xiàn)連接功能的前提下，具有能夠冷卻壓電晶體以及將氣液隔離的密封結(jié)構(gòu)，使壓電晶體頻繁振動產(chǎn)生的熱量迅速散掉不積累，并且保證了相對獨(dú)立的環(huán)境，提高了壓電晶體的連續(xù)工作時(shí)間和使用壽命。
文檔編號B06B1/06GK102873020SQ20121038857
公開日2013年1月16日 申請日期2012年10月12日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月12日
發(fā)明者初國超, 吳儀, 王銳廷 申請人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司