專(zhuān)利名稱(chēng)：一種區(qū)熔爐上軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種非金屬晶體的制造設(shè)備，尤其涉及一種區(qū)熔爐上軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
區(qū)熔爐是一種新型的單晶硅生長(zhǎng)爐，它利用通電線圈將原料硅棒局部加熱熔化，熔區(qū)依靠熔硅的表面張力和加熱線圈提供的磁托浮力而處于懸浮態(tài)，然后從熔區(qū)下方利用旋轉(zhuǎn)著的籽晶將熔硅拉制成單晶硅。區(qū)熔爐生長(zhǎng)的單晶硅產(chǎn)品純度高，各項(xiàng)性能好。單晶硅作為現(xiàn)代信息社會(huì)的關(guān)鍵支持材料，是目前世界上最重要的單晶材料之一，它不僅是發(fā)展計(jì)算機(jī)與集成電路的主要功能材料，也是光伏發(fā)電和半導(dǎo)體行業(yè)中的主要功能材料。單晶爐上軸旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的作用如下在多晶硅棒料熔化過(guò)程中，旋轉(zhuǎn)使硅棒受熱均勻，增加熔區(qū)的各向穩(wěn)定性，是成功拉制出優(yōu)質(zhì)單晶的必要條件。通常所用的區(qū)熔爐上軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)為其電機(jī)安裝與驅(qū)動(dòng)托盤(pán)上，通過(guò)電機(jī)、減速機(jī)、帶輪，直接與中心軸相連，帶動(dòng)其旋轉(zhuǎn)，其缺點(diǎn)是電機(jī)等自身的重量使驅(qū)動(dòng)托盤(pán)單側(cè)受較大的壓力，不利于中心軸的平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)，且電機(jī)會(huì)隨驅(qū)動(dòng)托盤(pán)移動(dòng)，增加了意外因素，操作不便，整體不美觀。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是，克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、安裝方便的區(qū)熔爐上軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，通過(guò)該旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可以穩(wěn)定、準(zhǔn)確地帶動(dòng)上軸旋轉(zhuǎn)。本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的提供一種區(qū)熔爐上軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括旋轉(zhuǎn)伺服電機(jī)，以及晶轉(zhuǎn)減速器、上軸支撐框、花鍵軸、下驅(qū)動(dòng)帶輪、花鍵軸套、上驅(qū)動(dòng)帶輪、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)頂板、驅(qū)動(dòng)托盤(pán)；所述旋轉(zhuǎn)伺服電機(jī)與晶轉(zhuǎn)減速器固定于上軸支撐框的底板上，花鍵軸與晶轉(zhuǎn)減速器用鍵連接，花鍵軸下端與下驅(qū)動(dòng)帶輪以緊定螺釘連接在一起轉(zhuǎn)動(dòng)，花鍵軸中部以花鍵軸套與上驅(qū)動(dòng)帶輪連接，花鍵軸上端固定于驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)頂板；作為一種改進(jìn)，所述上驅(qū)動(dòng)帶輪固定于驅(qū)動(dòng)托盤(pán)上，并能隨驅(qū)動(dòng)托盤(pán)上下運(yùn)動(dòng)。作為一種改進(jìn)，還包括花鍵軸端面固定套、花鍵軸端面帶座軸承；花鍵軸上端通過(guò)花鍵軸端面固定套與花鍵軸端面帶座軸承連接，花鍵軸端面帶座軸承固定于驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)頂板。作為一種改進(jìn)，所述旋轉(zhuǎn)伺服電機(jī)沿水平方向安裝于上軸支撐框底板上，電機(jī)輸出端與晶轉(zhuǎn)減速器的蝸桿相連，帶動(dòng)晶轉(zhuǎn)減速器的渦輪，晶轉(zhuǎn)減速器的渦輪與花鍵軸用鍵相連，帶動(dòng)花鍵軸轉(zhuǎn)動(dòng)。作為一種改進(jìn)，所述花鍵軸為高精密軸，其最下端的直徑小于其余部位，用于與晶轉(zhuǎn)減速器連接。作為一種改進(jìn)，還包括上驅(qū)動(dòng)帶輪蓋板、下驅(qū)動(dòng)帶輪蓋板。[0013]本實(shí)用新型中，旋轉(zhuǎn)伺服電機(jī)與花鍵軸的傳動(dòng)特征是旋轉(zhuǎn)伺服電機(jī)沿水平方向安裝于上軸支撐框底板上，電機(jī)輸出端通過(guò)聯(lián)軸器與晶轉(zhuǎn)減速器蝸桿相連，帶動(dòng)晶轉(zhuǎn)減速器渦輪，晶轉(zhuǎn)減速器渦輪與花鍵軸 用鍵相連，帶動(dòng)花鍵軸轉(zhuǎn)動(dòng)。相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型的有益效果在于I、本實(shí)用新型的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)采用雙層驅(qū)動(dòng)，上軸支撐框底板上和驅(qū)動(dòng)托盤(pán)下平面上各有一個(gè)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)帶輪，并用同一根花鍵軸驅(qū)動(dòng)，使上軸轉(zhuǎn)動(dòng)更加穩(wěn)定與準(zhǔn)確。2、驅(qū)動(dòng)帶輪上安裝有旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)帶輪蓋板，可以防止帶輪意外滑出。3、花鍵軸最下端加工出一小段直徑較小部分，與晶轉(zhuǎn)減速器連接，達(dá)到花鍵軸下端限位的作用。4、花鍵軸上端安裝了花鍵軸端面固定套和花鍵軸端面帶座軸承，花鍵軸端面固定套軸向剖面為倒Y字型，花鍵軸插入軸套中，軸套上端與帶座軸承連接，此結(jié)構(gòu)使花鍵軸安裝更方便，運(yùn)動(dòng)更穩(wěn)定。

圖I為本實(shí)用新型單晶爐上軸旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為圖I的俯視示意圖； 圖3為圖2的A-A向剖視圖；圖4為圖I的B-B向剖視圖。圖中1旋轉(zhuǎn)伺服電機(jī)、2上軸支撐框、3驅(qū)動(dòng)托盤(pán)、4驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)頂板、5花鍵軸端面帶座軸承、6花鍵軸端面軸套、7花鍵軸、8花鍵軸套、9上驅(qū)動(dòng)帶輪、10上驅(qū)動(dòng)帶輪蓋板、11下驅(qū)動(dòng)帶輪、12下驅(qū)動(dòng)帶輪蓋板、13晶轉(zhuǎn)減速器。
具體實(shí)施方式
參見(jiàn)圖I、圖3，單晶爐上軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)伺服電機(jī)I、上軸支撐框2、驅(qū)動(dòng)托盤(pán)3、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)頂板4、花鍵軸端面帶座軸承5、花鍵軸端面軸套6、花鍵軸7、花鍵軸套8、上驅(qū)動(dòng)帶輪9、上驅(qū)動(dòng)帶輪蓋板10、下驅(qū)動(dòng)帶輪蓋板12、下驅(qū)動(dòng)帶輪11、晶轉(zhuǎn)減速器13。旋轉(zhuǎn)伺服電機(jī)I與晶轉(zhuǎn)減速器13固定于上軸支撐框2的底板上，花鍵軸7與晶轉(zhuǎn)減速器13用鍵連接，花鍵軸7下端與下驅(qū)動(dòng)帶輪11用緊定螺釘連接在一起轉(zhuǎn)動(dòng)，花鍵軸7中部用花鍵軸套8與上驅(qū)動(dòng)帶輪9連接，上驅(qū)動(dòng)帶輪9固定于驅(qū)動(dòng)托盤(pán)3上，并可上下運(yùn)動(dòng)，花鍵軸7上端通過(guò)花鍵軸端面固定套6與花鍵軸端面帶座軸承5連接，花鍵軸端面帶座軸承5固定于驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)頂板4。本實(shí)用新型工作方式旋轉(zhuǎn)伺服電機(jī)I沿水平方向安裝于上軸支撐框2側(cè)板上，電機(jī)輸出端通過(guò)聯(lián)軸器與晶轉(zhuǎn)減速器13的蝸桿相連，帶動(dòng)晶轉(zhuǎn)減速器13渦輪轉(zhuǎn)動(dòng)，晶轉(zhuǎn)減速器13渦輪與花鍵軸7用鍵相連，帶動(dòng)花鍵軸7轉(zhuǎn)動(dòng)，下驅(qū)動(dòng)帶輪11通過(guò)緊定螺釘與花鍵軸7同步轉(zhuǎn)動(dòng)，花鍵軸7驅(qū)動(dòng)花鍵軸套8轉(zhuǎn)動(dòng)，花鍵軸套8與上驅(qū)動(dòng)帶輪9通過(guò)螺釘連接在一起，從而實(shí)現(xiàn)上驅(qū)動(dòng)帶輪9與下驅(qū)動(dòng)帶輪11同步轉(zhuǎn)動(dòng)，最終通過(guò)同步帶驅(qū)動(dòng)上軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
權(quán)利要求1.一種區(qū)熔爐上軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括旋轉(zhuǎn)伺服電機(jī)，其特征在于，還包括晶轉(zhuǎn)減速器、上軸支撐框、花鍵軸、下驅(qū)動(dòng)帶輪、花鍵軸套、上驅(qū)動(dòng)帶輪、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)頂板、驅(qū)動(dòng)托盤(pán)；所述旋轉(zhuǎn)伺服電機(jī)與晶轉(zhuǎn)減速器固定于上軸支撐框的底板上，花鍵軸與晶轉(zhuǎn)減速器用鍵連接，花鍵軸下端與下驅(qū)動(dòng)帶輪以緊定螺釘連接在一起轉(zhuǎn)動(dòng)，花鍵軸中部以花鍵軸套與上驅(qū)動(dòng)帶輪連接，花鍵軸上端固定于驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)頂板。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述上驅(qū)動(dòng)帶輪固定于驅(qū)動(dòng)托盤(pán)上，并能隨驅(qū)動(dòng)托盤(pán)上下運(yùn)動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，還包括花鍵軸端面固定套、花鍵軸端面帶座軸承；花鍵軸上端通過(guò)花鍵軸端面固定套與花鍵軸端面帶座軸承連接，花鍵軸端面帶座軸承固定于驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)頂板。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)伺服電機(jī)沿水平方向安裝于上軸支撐框底板上，電機(jī)輸出端與晶轉(zhuǎn)減速器的蝸桿相連，帶動(dòng)晶轉(zhuǎn)減速器的渦輪，晶轉(zhuǎn)減速器的渦輪與花鍵軸用鍵相連，帶動(dòng)花鍵軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求I至4任意一項(xiàng)中所述的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述花鍵軸為高精密軸，其最下端的直徑小于其余部位，用于與晶轉(zhuǎn)減速器連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求I至4任意一項(xiàng)中所述的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，還包括上驅(qū)動(dòng)帶輪蓋板、下驅(qū)動(dòng)帶輪蓋板。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及非金屬晶體的制造設(shè)備，旨在提供一種區(qū)熔爐上軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。包括旋轉(zhuǎn)伺服電機(jī)、晶轉(zhuǎn)減速器、上軸支撐框、花鍵軸、下驅(qū)動(dòng)帶輪、花鍵軸套、上驅(qū)動(dòng)帶輪、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)頂板、驅(qū)動(dòng)托盤(pán)；旋轉(zhuǎn)伺服電機(jī)與晶轉(zhuǎn)減速器固定于上軸支撐框的底板上，花鍵軸與晶轉(zhuǎn)減速器用鍵連接，花鍵軸下端與下驅(qū)動(dòng)帶輪以緊定螺釘連接在一起轉(zhuǎn)動(dòng)，花鍵軸中部以花鍵軸套與上驅(qū)動(dòng)帶輪連接，花鍵軸上端固定于驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)頂板。本實(shí)用新型的上軸轉(zhuǎn)動(dòng)更加穩(wěn)定與準(zhǔn)確；可以防止帶輪意外滑出；花鍵軸下端具備限位的作用；花鍵軸安裝更方便，運(yùn)動(dòng)更穩(wěn)定。
文檔編號(hào)C30B13/32GK202643883SQ20122004052
公開(kāi)日2013年1月2日 申請(qǐng)日期2012年2月8日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月8日
發(fā)明者歐陽(yáng)鵬根, 石剛, 傅林堅(jiān), 曹建偉, 陳明杰, 王丹濤, 邱敏秀, 蔣慶良 申請(qǐng)人:浙江晶盛機(jī)電股份有限公司