專(zhuān)利名稱(chēng)：多晶硅鑄錠爐的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及多晶硅鑄錠爐技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種多晶硅鑄錠爐的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
多晶硅在生長(zhǎng)過(guò)程中，由于熱場(chǎng)的不穩(wěn)定，會(huì)在晶體內(nèi)部產(chǎn)生微晶，這樣就會(huì)使多晶硅生產(chǎn)的可利用率大大降低；現(xiàn)有技術(shù)中大多是通過(guò)改善生產(chǎn)來(lái)提高成晶率，但是因?yàn)槎嗑Ч璧纳L(zhǎng)工藝較為復(fù)雜，從而增加了生產(chǎn)成本。
發(fā)明
實(shí)用新型內(nèi)容為了克服上述缺陷，本實(shí)用新型提供了一種多晶硅鑄錠爐的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)，該熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可罪，有利于提聞成晶率。本實(shí)用新型為了解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是一種多晶硅鑄錠爐的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)，包括鑄錠爐爐體，在該鑄錠爐爐體內(nèi)設(shè)置有支撐板、放置在所述支撐板上的石墨坩堝、及加熱硅材料的加熱器；所述加熱器為由多塊等靜壓石墨電阻圍攏而成的罩體結(jié)構(gòu)，該加熱器定位罩設(shè)在所述石墨坩堝的外圍。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述加熱器包括有多個(gè)連接件、第一加熱器組件和設(shè)置在該第一加熱器組件下方的第二加熱器組件，其中，所述第一加熱器組件由多塊呈N型和U型的電阻拼接而成，所述第二加熱器組件由四塊呈波浪型的電阻依次首尾相連而成，且所述第一加熱器組件通過(guò)該多個(gè)連接件與所述第二加熱器組件連接為一體。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述每個(gè)連接件皆由第一、二連接段組成，所述第一連接段的一端與第二連接段的一端垂直連接，所述第一連接段的另一端與第一加熱器組件鎖固連接，所述第二連接段的另一端與第二加熱器組件鎖固連接。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述第一連接段的長(zhǎng)度為12-16厘米，所述第二連接段的長(zhǎng)度為18-26厘米。本實(shí)用新型的有益效果是通過(guò)將該鑄錠爐爐體內(nèi)用于加熱硅材料的加熱器分為第一、二加熱器組件兩個(gè)部分，其中，第一加熱器組件由多塊呈N型和U型的電阻拼接而成，第二加熱器組件由四塊呈波浪型的電阻依次首尾相連而成，且第一加熱器組件通過(guò)多個(gè)連接件與第二加熱器組件連接為一體。該加熱器的結(jié)構(gòu)既合理利用了鑄錠爐爐體內(nèi)的空間，又滿足了鑄錠爐需要的輻射面積，從而得到了穩(wěn)定高效可靠的熱場(chǎng)。

圖I為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)剖面圖；圖2為本實(shí)用新型所述加熱器俯視圖。
具體實(shí)施方式
[0011]下面參照附圖對(duì)本實(shí)用新型的多晶硅鑄錠爐的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)的實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。本實(shí)用新型所述的一種多晶硅鑄錠爐的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)，包括鑄錠爐爐體，在該鑄錠爐爐體內(nèi)設(shè)置有支撐板I、放置在所述支撐板上的石墨坩堝2、及加熱硅材料的加熱器3 ;所述加熱器3為由多塊等靜壓石墨電阻圍攏而成的罩體結(jié)構(gòu)，該加熱器定位罩設(shè)在所述石墨坩堝2的外圍。等靜壓石墨電阻的性能穩(wěn)定，能夠提高熱場(chǎng)能源的使用效率。在本實(shí)施例中，所述加熱器3包括有多個(gè)連接件30、第一加熱器組件31和設(shè)置在該第一加熱器組件下方的第二加熱器組件32，其中，所述第一加熱器組件31由多塊呈N型和U型的電阻拼接而成，所述第二加熱器組件32由四塊呈波浪型的電阻依次首尾相連而成，且所述第一加熱器組件通過(guò)該多個(gè)連接件與所述第二加熱器組件連接為一體。該加熱器的結(jié)構(gòu)，既合理利用了鑄錠爐爐體內(nèi)的空間，又滿足了鑄錠爐需要的輻射面積，從而得到了穩(wěn)定高效可靠的熱場(chǎng)。在本實(shí)施例中，所述每個(gè)連接件皆由第一、二連接段組成，所述第一連接段的一端與第二連接段的一端垂直連接，所述第一連接段的另一端與第一加熱器組件鎖固連接，所述第二連接段的另一端與第二加熱器組件鎖固連接。其中，所述第一連接段的長(zhǎng)度為12-16厘米，所述第二連接段的長(zhǎng)度為18-26厘米。
權(quán)利要求1.一種多晶硅鑄錠爐的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)，包括鑄錠爐爐體，在該鑄錠爐爐體內(nèi)設(shè)置有支撐板(I)、放置在所述支撐板上的石墨坩堝(2)、及加熱硅材料的加熱器(3);其特征在于所述加熱器(3)為由多塊等靜壓石墨電阻圍攏而成的罩體結(jié)構(gòu)，該加熱器定位罩設(shè)在所述石墨 甘禍(2)的外圍。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的多晶硅鑄錠爐的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)，其特征在于所述加熱器(3)包括有多個(gè)連接件(30)、第一加熱器組件(31)和設(shè)置在該第一加熱器組件下方的第二加熱器組件(32)，其中，所述第一加熱器組件(31)由多塊呈N型和U型的電阻拼接而成，所述第二加熱器組件(32)由四塊呈波浪型的電阻依次首尾相連而成，且所述第一加熱器組件通過(guò)該多個(gè)連接件與所述第二加熱器組件連接為一體。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多晶硅鑄錠爐的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)，其特征在于每個(gè)所述連接件皆由第一、二連接段組成，所述第一連接段的一端與第二連接段的一端垂直連接，所述第一連接段的另一端與第一加熱器組件鎖固連接，所述第二連接段的另一端與第二加熱器組件鎖固連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多晶硅鑄錠爐的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)，其特征在于所述第一連接段的長(zhǎng)度為12-16厘米，所述第二連接段的長(zhǎng)度為18-26厘米。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種多晶硅鑄錠爐的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)，包括鑄錠爐爐體，在該鑄錠爐爐體內(nèi)設(shè)置有支撐板、放置在所述支撐板上的石墨坩堝、及加熱硅材料的加熱器；所述加熱器為由多塊等靜壓石墨電阻圍攏而成的罩體結(jié)構(gòu)，該加熱器定位罩設(shè)在所述石墨坩堝的外圍。本實(shí)用新型通過(guò)將該加熱器分為第一、二加熱器組件兩個(gè)部分，其中，第一加熱器組件由多塊呈N型和U型的電阻拼接而成，第二加熱器組件由四塊呈波浪型的電阻依次首尾相連而成，且第一加熱器組件通過(guò)多個(gè)連接件與第二加熱器組件連接為一體。該加熱器的結(jié)構(gòu)既合理利用了鑄錠爐爐體內(nèi)的空間，又滿足了鑄錠爐需要的輻射面積，從而得到了穩(wěn)定高效可靠的熱場(chǎng)。
文檔編號(hào)C30B28/06GK202730302SQ20122045125
公開(kāi)日2013年2月13日 申請(qǐng)日期2012年9月6日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月6日
發(fā)明者方定盛 申請(qǐng)人:美爾森先進(jìn)石墨(昆山)有限公司