專利名稱:一種用于藍寶石單晶爐的籽晶裝置的制作方法
技術領域:
本實用新型涉及一種晶體生長用的籽晶裝置,尤其是一種用于泡生法藍寶石單晶爐晶體生長用的籽晶裝置。
背景技術:
藍寶石單晶爐是LED產(chǎn)業(yè)鏈中重要的晶體生長設備。目前,世界上用于藍寶石單晶體生長的主流方法有以下幾種:導模法、提拉法、熱交換法和泡生法。泡生法在引晶、擴肩生長后的晶錠直徑較大,有利于生長出大尺寸、低缺陷密度、高品質的藍寶石單晶體,因此具有更大的優(yōu)勢。泡生法是將一根受冷的籽晶與三氧化二鋁熔液接觸后熔化。當界面的溫度低于凝固點,則籽晶開始生長,為了使籽晶晶體不斷長大,需逐漸降低熔體的溫度,同時旋轉籽晶裝置,以改善熔體的溫度分布。當晶體生長到一定階段時,須緩慢上提籽晶裝置,以擴大散熱面。因此,泡生法藍寶石單晶爐內的籽晶裝置的可靠性與穩(wěn)定性至關重要。目前,用于泡生法晶體生長的籽晶裝置結構多樣,采用整體式金屬鎢制成的籽晶桿的結構,因鎢材料的脆性而很不利于加工;采用分體銷軸式金屬鎢制成的籽晶夾頭,未設置燕尾槽結構,而是通過鎢銷將籽晶裝配于籽晶夾頭上,不利于拆裝,且使用過程中安全可靠性不高。目前,在泡生法藍寶石單晶爐中采用螺紋裝配式籽晶裝置,并在籽晶夾頭上設置與籽晶端部相吻合的燕尾槽,并通過捆扎鎢絲固定以預防籽晶使用過程中側滑的設計未見諸報道。
發(fā)明內容本實用新型的目的在于:針對現(xiàn)有泡生法藍寶石長晶爐的籽晶裝置采用整體式籽晶桿不利于加工,分體銷軸式金屬鎢制成的籽晶夾頭,不利于拆裝,且使用過程中安全可靠性不高等問題,提供一種新型可靠的用于泡生法藍寶石單晶爐的籽晶裝置。本實用新型的目的是這樣實現(xiàn)的:一種用于藍寶石單晶爐的籽晶裝置,包括鎢桿、籽晶夾頭和籽晶,其特征在于:a)鎢桿與籽晶夾頭設有對應的定位孔,鎢桿下端通過螺紋與籽晶夾頭連接后,通過貫穿于定位孔中的固定鎢絲定位;b)籽晶夾頭中的籽晶裝配區(qū)一面為開口面,籽晶夾頭內部為梯形燕尾槽,籽晶上端為梯形結構,籽晶上端由開口面嵌入籽晶夾頭的梯形燕尾槽中,并通過捆扎鎢絲將它們固定連接。在本實用新型方案中:籽晶夾頭外圍沿截面至少設有一道用于捆扎鎢絲的凹槽,所述的捆扎鎢絲置于凹槽中。在本實用新型方案中:所述的鎢桿、籽晶夾頭均為金屬鎢材料的鍛造件,所述的固定鎢絲為鎢錸絲,所述的捆扎鎢絲為鎢鋁絲。在本實用新型方案中:所述的籽晶的材料成分為高純三氧化二鋁單晶體。[0012]本實用新型的優(yōu)點在于:由于籽晶桿采用螺紋裝配結構,便于實現(xiàn),提高了鎢桿及籽晶夾頭的可加工性能;由于籽晶夾頭采用燕尾槽結構與籽晶裝配,并用鎢鋁絲捆扎,易于拆裝和配合,且提高了籽晶裝置的安全可靠性。
圖1是本實用新型涉及的一種實施例結構示意圖;圖2是圖1中實施例的側視圖。圖中:1、鶴桿,2、桿晶夾頭,3、固定鶴絲,4、桿晶,5、擁扎鶴絲。
具體實施方式
附圖非限制性地公開了本實用新型涉及的一種實施例的具體結構,
以下結合附圖對本發(fā)明的這一實施例作進一步地描述。由圖1和圖2可見,鎢桿I與籽晶夾頭2設有對應的定位孔,鎢桿I下端通過螺紋與籽晶夾頭2連接后,通過貫穿于定位孔中的固定鎢絲3定位。籽晶夾頭2中的籽晶4裝配區(qū)一面為開口面,籽晶夾頭2內部為梯形燕尾槽,籽晶4上端為梯形結構,籽晶4上端由開口面嵌入籽晶夾頭2的梯形燕尾槽中,并通過捆扎鎢5絲將它們固定連接。在本實施例中:籽晶夾頭2外圍沿截面至少設有一道用于捆扎鎢絲5的凹槽,所述的捆扎鎢絲5置于凹槽中。所述的鎢桿1、籽晶夾頭2均為金屬鎢材料的鍛造件,所述的固定鎢絲3為鎢錸絲,所述的捆扎鎢絲5為鎢鋁絲。所述的籽晶4的材料成分為高純三氧化二鋁單晶體。
權利要求1.一種用于藍寶石單晶爐的籽晶裝置,包括鎢桿、籽晶夾頭和籽晶,其特征在于:a)鎢桿與籽晶夾頭設有對應的定位孔,鎢桿下端通過螺紋與籽晶夾頭連接后,通過貫穿于定位孔中的固定鎢絲定位;b)籽晶夾頭中的籽晶裝配區(qū)一面為開口面,籽晶夾頭內部為梯形燕尾槽,籽晶上端為梯形結構,籽晶上端由開口面嵌入籽晶夾頭的梯形燕尾槽中,并通過捆扎鎢絲將它們固定連接。
2.根據(jù)權利要求1所述的用于藍寶石單晶爐的籽晶裝置,其特征在于:籽晶夾頭外圍沿截面至少設有一道用于捆扎鎢絲的凹槽,所述的捆扎鎢絲置于凹槽中。
3.根據(jù)權利要求1或2所述的用于藍寶石單晶爐的籽晶裝置,其特征在于:所述的鎢桿、籽晶夾頭均為金屬鎢材料的鍛造件,所述的固定鎢絲為鎢錸絲,所述的捆扎鎢絲為鎢鋁絲。
4.根據(jù)權利要求1或2所述的用于藍寶石單晶爐的籽晶裝置,其特征在于:所述的籽晶的材料成分為高純三氧化二鋁單晶體。
專利摘要本實用新型涉及一種用于藍寶石單晶爐的籽晶裝置,包括鎢桿、籽晶夾頭和籽晶,其中鎢桿與籽晶夾頭設有對應的定位孔,鎢桿下端通過螺紋與籽晶夾頭連接后,通過貫穿鎢桿和籽晶夾頭定位孔的固定鎢絲定位;籽晶夾頭與籽晶裝配區(qū)的一面為開口面,籽晶夾頭內部為梯形燕尾槽,籽晶上端為梯形結構,籽晶上端由開口面嵌入籽晶夾頭梯形燕尾槽中,并通過捆扎鎢絲將它們固定連接。
文檔編號C30B17/00GK202945367SQ20122049398
公開日2013年5月22日 申請日期2012年9月26日 優(yōu)先權日2012年9月26日
發(fā)明者閆杰, 李輝, 毛洪英, 姜宏偉 申請人:南京晶升能源設備有限公司