專利名稱：一種藍(lán)寶石晶體退火工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種藍(lán)寶石晶體退火工藝，屬于人工藍(lán)寶石生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
藍(lán)寶石晶體的生長(zhǎng)環(huán)境溫度在2000°C以上，在生長(zhǎng)完成后，需對(duì)藍(lán)寶石晶體進(jìn)行退火冷卻，傳統(tǒng)退火工藝需要6-7天左右，而且傳統(tǒng)的退火工藝中，退火溫度控制模糊，溫降過程不受控制，極易出現(xiàn)因爐內(nèi)降溫速度過快而造成晶體應(yīng)力開裂；或爐內(nèi)降溫速度過慢而導(dǎo)致退火時(shí)間延長(zhǎng)，生產(chǎn)效率底下且成本增加。階段性的退火，使得晶體在高溫區(qū)時(shí)緩慢退火，降低了晶體缺陷，而且在低溫區(qū)對(duì)晶體影響不大的情況下，快速退火降低生產(chǎn)成本
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明目的就在于克服上述不足，提供一種藍(lán)寶石晶體退火工藝。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)
一種藍(lán)寶石晶體退火工藝，所述的藍(lán)寶石晶體退火工藝包括以下步驟
第一步高溫階段，爐內(nèi)溫度采用每小時(shí)下降15°C -40°C速度降溫，直至爐內(nèi)溫度降至1600 0C ；
第二步中溫階段，爐內(nèi)溫度采用每小時(shí)下降60°C -80°C速度降溫，直至爐內(nèi)溫度降至500 0C ；
第三步低溫階段，關(guān)閉爐內(nèi)加熱設(shè)備，同時(shí)向爐內(nèi)充入惰性氣體冷卻至室溫即可。藍(lán)寶石單晶生長(zhǎng)結(jié)束后即藍(lán)寶石單晶生長(zhǎng)爐內(nèi)進(jìn)行退火。惰性氣體壓力值為1-L 5個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓。本發(fā)明的有益效果是1、退火時(shí)間短，耗能低，較傳統(tǒng)退火方法可節(jié)省10%左右時(shí)間且耗能減少10%提高了生產(chǎn)效率。2、降溫均勻迅速，避免藍(lán)寶石晶體應(yīng)力開裂，提升了產(chǎn)品質(zhì)量及成品率。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說明
實(shí)施例1:
藍(lán)寶石單晶生長(zhǎng)結(jié)束后即在藍(lán)寶石單晶生長(zhǎng)爐內(nèi)進(jìn)行退火。第一步高溫階段，對(duì)藍(lán)寶石爐溫度采用每小時(shí)下降40°C速度進(jìn)行降溫，經(jīng)10小時(shí)左右的降溫后，爐內(nèi)溫度由2000°C降至1600°C ；
第二步中溫階段，對(duì)藍(lán)寶石爐采用每小時(shí)下降80°C速度降溫，經(jīng)13小時(shí)左右的降溫后，直至爐內(nèi)溫度降至500°C ；
第三步低溫階段，關(guān)閉爐內(nèi)加熱設(shè)備，同時(shí)向爐內(nèi)充入惰性氣體冷卻至室溫即可，其中惰性氣體壓力值為I個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓。實(shí)施例2:
藍(lán)寶石單晶生長(zhǎng)結(jié)束后即在藍(lán)寶石單晶生長(zhǎng)爐內(nèi)進(jìn)行退火。第一步高溫階段，對(duì)藍(lán)寶石爐溫度采用每小時(shí)下降30°C速度進(jìn)行降溫，經(jīng)13小時(shí)左右的降溫后，爐內(nèi)溫度由2000°C降至1600°C ；
第二步中溫階段，對(duì)藍(lán)寶石爐采用每小時(shí)下降70°C速度降溫，經(jīng)16小時(shí)左右的降溫后，直至爐內(nèi)溫度降至500°C ； 第三步低溫階段，關(guān)閉爐內(nèi)加熱設(shè)備，同時(shí)向爐內(nèi)充入惰性氣體冷卻至室溫即可，其中惰性氣體壓力值為I個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓。實(shí)施例3:
藍(lán)寶石單晶生長(zhǎng)結(jié)束后即在藍(lán)寶石單晶生長(zhǎng)爐內(nèi)進(jìn)行退火。第一步高溫階段，對(duì)藍(lán)寶石爐溫度采用每小時(shí)下降15°C速度進(jìn)行降溫，經(jīng)26小時(shí)左右的降溫后，爐內(nèi)溫度由2000°C降至1600°C ；
第二步中溫階段，對(duì)藍(lán)寶石爐采用每小時(shí)下降80°C速度降溫，經(jīng)13小時(shí)左右的降溫后，直至爐內(nèi)溫度降至500°C ；
第三步低溫階段，關(guān)閉爐內(nèi)加熱設(shè)備，同時(shí)向爐內(nèi)充入惰性氣體冷卻至室溫即可，其中惰性氣體壓力值為1. 5個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓。
權(quán)利要求
1.一種藍(lán)寶石晶體退火工藝，其特征在于所述的藍(lán)寶石晶體退火工藝包括以下步驟 第一步高溫階段，爐內(nèi)溫度采用每小時(shí)下降15°c -40°c速度降溫，直至爐內(nèi)溫度降至1600 0C ； 第二步中溫階段，爐內(nèi)溫度采用每小時(shí)下降60°C -80°C速度降溫，直至爐內(nèi)溫度降至500 0C ； 第三步低溫階段，關(guān)閉爐內(nèi)加熱設(shè)備，同時(shí)向爐內(nèi)充入惰性氣體冷卻至室溫即可。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種藍(lán)寶石晶體退火工藝，其特征在于所述的藍(lán)寶石單晶生長(zhǎng)結(jié)束后即藍(lán)寶石單晶生長(zhǎng)爐內(nèi)進(jìn)行退火。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種藍(lán)寶石晶體退火工藝，其特征在于所述的惰性氣體壓力值為1-1. 5個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種藍(lán)寶石晶體退火工藝，所述的藍(lán)寶石晶體退火工藝包括以下步驟高溫階段降溫、中溫階段降溫及低溫階段降溫，且在低溫階段降溫中使用惰性氣體降溫并進(jìn)行保護(hù)。本發(fā)明的有益效果是退火時(shí)間短，耗能低，較傳統(tǒng)退火方法可節(jié)省10%左右時(shí)間且耗能減少10%提高了生產(chǎn)效率，同事降溫均勻迅速，避免藍(lán)寶石晶體應(yīng)力開裂，提升了產(chǎn)品質(zhì)量及成品率。
文檔編號(hào)C30B33/02GK103014874SQ201310009720
公開日2013年4月3日 申請(qǐng)日期2013年1月11日 優(yōu)先權(quán)日2013年1月11日
發(fā)明者劉書強(qiáng), 任多奇, 樊國(guó)岑, 于超, 魏國(guó)濤 申請(qǐng)人:焦作市光源晶電科技有限公司