一種基于柔順結(jié)構(gòu)六自由度的精密定位平臺的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種基于柔順結(jié)構(gòu)六自由度的精密定位平臺，包括運動平臺和測量機構(gòu)，基座、輸出平臺、3個位移放大器；所述基座上設(shè)有3個第一驅(qū)動器，3個所述位移放大器的上端均固定于輸出平臺的下面，下端均與基座連接；3個所述位移放大器中均設(shè)有第二驅(qū)動器。本基于柔順結(jié)構(gòu)六自由度的精密定位平臺的尺寸小、工作空間小，且定位精度高和穩(wěn)定性高。
【專利說明】一種基于柔順結(jié)構(gòu)六自由度的精密定位平臺
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及定位平臺，具體涉及一種基于柔順結(jié)構(gòu)六自由度的精密定位平臺。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，精密定位平臺的傳動副較多采用的是傳統(tǒng)的機械結(jié)構(gòu)，如常采用的伺服電機和精密絲桿傳動方案，由于不可避免地存在著間隙、摩擦，定位精度一般只能達到微米級，很難提升到亞微米級甚至納米級別。近年來，采用壓電元件作為驅(qū)動裝置，柔性鉸鏈機構(gòu)作為傳動裝置的柔順精密定位平臺成為實現(xiàn)亞微米級、納米級別定位的研究熱點?，F(xiàn)有的柔順精密定位平臺大都是尺寸大、工作空間小，且操作定位精度低，同時柔順精密定位平臺難于在六個自由度方向進行移動。
實用新型內(nèi)容
[0003]本實用新型的目的是為了克服以上現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，提供了一種結(jié)構(gòu)簡單、合理，工作空間小、精度高的基于柔順結(jié)構(gòu)六自由度的精密定位平臺。
[0004]本實用新型的目的通過以下的技術(shù)方案實現(xiàn):本基于柔順結(jié)構(gòu)六自由度的精密定位平臺，包括基座、輸出平臺、3個位移放大器；所述基座上設(shè)有3個第一驅(qū)動器，且3個所述第一驅(qū)動器相對于基座的中心線的圓周均勻分布；3個所述位移放大器的上端均安裝于輸出平臺的下面，下端均與基座連接；3個所述位移放大器中均設(shè)有第二驅(qū)動器。具體的，3個第一驅(qū)動器于基座的中心線的圓周均勻分布，即相鄰2個第一驅(qū)動器之間的圓弧大小為120。。
[0005]所述基座包括主體和3個移動塊，所述主體設(shè)有通孔，3個移動塊均勻分布于通孔內(nèi)；所述移動塊的中部彎曲，且所述移動塊內(nèi)設(shè)有與移動塊外形匹配的安裝槽，所述移動塊的一端設(shè)有與安裝槽連通的開口 ；同時所述移動塊的一端的兩側(cè)均設(shè)有第一柔順部，中部的兩側(cè)均設(shè)有第二柔順部，而另一端的兩側(cè)均設(shè)有第三柔順部；所述移動塊通過第一柔順部與主體的內(nèi)壁連接，所述移動塊的另一端與主體的內(nèi)壁之間具有間隙，相鄰2個所述移動塊之間具有間隙；所述第一驅(qū)動器的一端與移動塊的中部連接，另一端與主體的內(nèi)壁連接，且所述第一驅(qū)動器位于安裝槽內(nèi)。具體點，第一柔順部、第二柔順部和第三柔順部相對于移動塊的其他部分較薄一些，則當?shù)谝蝗犴槻?、第二柔順部和第三柔順部受到第一?qū)動器的作用力時，容易發(fā)生變形，從而改變輸出平臺的空間位置。由于每個移動塊具有2個第一柔順部、2個第二柔順部和2個第三柔順部，同時2個第一柔順部、2個第二柔順部和2個第三柔順部均可使用轉(zhuǎn)動副來表示，即每個移動塊中具有6個轉(zhuǎn)動副。而移動塊在通孔內(nèi)是均勻分布，移動塊相對于基座的中心線均勻圓周分布。則通過移動塊的作用，這可令輸出平臺實現(xiàn)在空間中沿X軸、Y軸的平動和繞Z軸的轉(zhuǎn)動，即輸出平臺可以進行三個自由度方向的運動。由于移動塊具有第一柔順部、第二柔順部和第三柔順部，利用柔順部代替?zhèn)鹘y(tǒng)的機械傳動連接，從而避免地存在著間隙、摩擦，故具有高精度和高穩(wěn)定性，同時令整個定位平臺尺寸小，占用空間小。
[0006]所述位移放大器包括第一萬能副、移動副和第二萬能副；所述第一萬能副的上端固定于輸出平臺，所述第一萬能副的下端設(shè)有第四柔順部和第五柔順部，第四柔順部位于第五柔順部的上方，且所述第四柔順部和第五柔順部互相垂直，所述第一萬能副通過第五柔順部與移動副的上端連接；所述第二萬能副的上端設(shè)有第六柔順部和第七柔順部，且所述第六柔順部位于第七柔順部的下方，且所述第六柔順部與第七柔順部互相垂直；所述第二萬能副通過第七柔順部與移動副的下端連接；所述第二萬能副的下端與基座連接；所述第二驅(qū)動器安裝于移動副內(nèi)。具體的，第一萬能副和第二萬能副均具2個互相垂直的柔順部，而移動副采用雙排橋式放大結(jié)構(gòu)。這令位移放大器的結(jié)構(gòu)更緊湊，工作空間小。同時，這種位移放大器可令輸出平臺可實現(xiàn)在空間中沿Z軸的平動和繞X軸、Y軸的轉(zhuǎn)動。故本實用新型中的基座和位移放大器的配合可令輸出平臺實現(xiàn)6個自由度方向的運動，且精密性高，定位精準。
[0007]為提高輸出平臺移動的精準度，所述基座下面設(shè)有6個位移傳感器，所述位移傳感器以2個為一組，3組所述位移傳感器分別位于相鄰的位移放大器之間，且每一組中的2個位移傳感器相互垂直設(shè)置。
[0008]為提高輸出平臺移動的穩(wěn)定性，同時也為進一步提高輸出平臺移動的精準度，所述的基于柔順結(jié)構(gòu)六自由度的精密定位平臺還包括測量支架和支撐平臺，所述支撐平臺安裝于基座的下面；所述測量支架的上端與輸出平臺連接，下端穿過基座且與支撐平臺連接；所述位移傳感器通過測試支架安裝于輸出平臺的下面。
[0009]具體的，所述測量支架包括第一連接桿、轉(zhuǎn)動桿和第二連接桿，所述第一連接桿的上端與輸出平臺連接，所述第一連接桿的下端設(shè)有槽孔，所述轉(zhuǎn)動桿的一端安裝于槽孔，所述轉(zhuǎn)動桿的另一端與第二連接桿的上端鉸接，所述第二連接桿的下端穿過基座且與支撐平臺連接。
[0010]為提高輸出平臺移動的穩(wěn)定性，同時也為進一步提高輸出平臺移動的精準度，所述的基于柔順結(jié)構(gòu)六自由度的精密定位平臺還包括3個測量支架和3個調(diào)節(jié)桿，所述測量支架的上端與輸出平臺連接，下端與基座連接；3個所述測量支架分別位于相鄰兩個位移放大器之間；3個所述調(diào)節(jié)桿分別安裝于3個測量支架的下端；所述位移傳感器通過測量支架安裝于輸出平臺的下面。
[0011]具體的，所述測量支架包括第一連接件、第二連接件和第三連接件，所述第二連接件呈倒L型，所述第二連接桿的上端設(shè)有第一調(diào)節(jié)槽，所述第一連接件的上端與輸出平臺連接，下端安裝于第一調(diào)節(jié)槽；所述第三連接件安裝于基座上，且第三連接件的一端與第二連接件的下端連接，所述第三連接件的另一端設(shè)有第二調(diào)節(jié)槽，所述調(diào)節(jié)桿的一端安裝于第二調(diào)節(jié)槽。
[0012]為提高自動化程度，所述的基于柔順結(jié)構(gòu)六自由度的精密定位平臺還包括控制器，所述第一驅(qū)動器和第二驅(qū)動器均與控制器的輸出端連接，所述控制器的輸入端與位移傳感器連接。
[0013]本實用新型相對于現(xiàn)有技術(shù)具有如下的優(yōu)點:本基于柔順結(jié)構(gòu)六自由度的精密定位平臺中的基座通過位移放大器與輸出平臺緊湊連接，這令整個定位平臺尺寸小、工作空間小；本基于柔順結(jié)構(gòu)六自由度的精密定位平臺中的基座具有3個移動塊，且每個移動塊均設(shè)有2個第一柔順部、2個第二柔順部和2個第三柔順部，這讓移動塊的運動具有地間隙、無摩擦和免潤滑等特點，故整個定位平臺可以具有尺寸小，工作空間小等特點，且保證輸出平臺移動具有高精度和高穩(wěn)定性，即操作精度高；本基于柔順結(jié)構(gòu)六自由度的精密定位平臺中的位移放大器具有第一萬能副、移動副和第二萬能副，且第一萬能副和第二萬能副分別通過第五柔順部和第七柔順部與移動副的上端和下端連接，這避免使用傳統(tǒng)的機械傳動，提高了輸出平臺移動具有高精度和高穩(wěn)定性同時還令整個定位平臺的尺寸小、工作空間小；本基于柔順結(jié)構(gòu)六自由度的精密定位平臺通過基座和位移放大器的配合，可以讓輸出平臺在6個自由度的方向里均可移動。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1是實施例1的基于柔順結(jié)構(gòu)六自由度的精密定位平臺的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]圖2是實施例1的基于柔順結(jié)構(gòu)六自由度的精密定位平臺正視圖。
[0016]圖3是實施例1的基座的俯視圖。
[0017]圖4是實施例1的基座的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]圖5是實施例1的位移放大器的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]圖6是實施例1的過渡支架的俯視圖。
[0020]圖7是實施例1的控制流程圖。
[0021]圖8是實施例2的基于柔順結(jié)構(gòu)六自由度的精密定位平臺的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0022]下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作進一步說明。
[0023]實施例1
[0024]如圖1和圖2所示的一種基于柔順結(jié)構(gòu)六自由度的精密定位平臺，包括基座1、輸出平臺2、3個位移放大器3 ;所述基座I上設(shè)有3個第一驅(qū)動器4，且3個所述第一驅(qū)動器4相對于基座I的中心線的圓周均勻分布；3個所述位移放大器3的上端均安裝于輸出平臺2的下面，下端均與基座I連接；3個所述位移放大器3中均設(shè)有第二驅(qū)動器5。具體的，3個第一驅(qū)動器4于基座I的中心線的圓周均勻分布，即相鄰2個第一驅(qū)動器4之間的圓弧大小為120°。本實施例中，第一驅(qū)動器4和第二驅(qū)動器5均選用裸壓電陶瓷驅(qū)動器。因為裸壓電陶瓷驅(qū)動器具有高精度運動輸出和快速響應(yīng)的特點。
[0025]如圖3和圖4所示，所述基座I包括主體11和3個移動塊12，所述主體11設(shè)有通孔111，3個移動塊12均勻分布于通孔111內(nèi)；所述移動塊12的中部彎曲，且所述移動塊12內(nèi)設(shè)有與移動塊12外形匹配的安裝槽13，所述移動塊12的一端設(shè)有與安裝槽13連通的開口 ；同時所述移動塊12的一端的兩側(cè)均設(shè)有第一柔順部121，中部的兩側(cè)均設(shè)有第二柔順部122，而另一端的兩側(cè)均設(shè)有第三柔順部123 ;所述移動塊12通過第一柔順部121與主體11的內(nèi)壁連接，所述移動塊12的另一端與主體11的內(nèi)壁之間具有間隙，相鄰2個所述移動塊12之間具有間隙；所述第一驅(qū)動器4的一端與移動塊12的中部連接，另一端與主體11的內(nèi)壁連接，且所述第一驅(qū)動器4位于安裝槽13內(nèi)。具體點，第一柔順部121、第二柔順部122和第三柔順部123相對于移動塊12的其他部分較薄一些，則當?shù)谝蝗犴槻?21、第二柔順部122和第三柔順部123受到第一驅(qū)動器4的作用力時，容易發(fā)生變形，從而改變輸出平臺2的空間位置。由于每個移動塊12具有2個第一柔順部121、2個第二柔順部122和2個第三柔順部123，同時2個第一柔順部121、2個第二柔順部122和2個第三柔順部123均可使用轉(zhuǎn)動副來表示，即每個移動塊12中具有6個轉(zhuǎn)動副。而移動塊12在通孔111內(nèi)是均勻分布，移動塊12相對于基座I的中心線均勻圓周分布。則通過移動塊12的作用，這可令輸出平臺2實現(xiàn)在空間中沿X軸、Y軸的平動和繞Z軸的轉(zhuǎn)動，即輸出平臺2可以進行三個自由度方向的運動。由于移動塊12具有第一柔順部121、第二柔順部122和第三柔順部123，利用柔順部代替?zhèn)鹘y(tǒng)的機械傳動連接，從而避免地存在著間隙、摩擦，故具有高精度和高穩(wěn)定性，同時令整個定位平臺尺寸小，占用空間小。
[0026]如圖5所示，所述位移放大器3包括第一萬能副31、移動副32和第二萬能副33 ；所述第一萬能副31的上端固定于輸出平臺2，所述第一萬能副31的下端設(shè)有第四柔順部311和第五柔順部312，第四柔順部311位于第五柔順部312的上方，且所述第四柔順部311和第五柔順部312互相垂直，所述第一萬能副31通過第五柔順部311與移動副32的上端連接；所述第二萬能副33的上端設(shè)有第六柔順部331和第七柔順部332，且所述第六柔順部331位于第七柔順部332的下方，且所述第六柔順部331與第七柔順部332互相垂直；所述第二萬能副33通過第七柔順部332與移動副32的下端連接；所述第二萬能副33的下端與基座I連接；所述第二驅(qū)動器5安裝于移動副32內(nèi)。具體的，第一萬能副31和第二萬能副33均具2個互相垂直的柔順部，而移動副32采用雙排橋式放大結(jié)構(gòu)。這令位移放大器3的結(jié)構(gòu)更緊湊，工作空間小。同時，這種位移放大器3可令輸出平臺2可實現(xiàn)在空間中沿Z軸的平動和繞X軸、Y軸的轉(zhuǎn)動。故本實用新型中的基座I和位移放大器3的配合可令輸出平臺實現(xiàn)6個自由度方向的運動，且精密性高，定位精準。
[0027]如圖6所示,所述基座I上面設(shè)有過渡支架6,所述過渡支架6呈三角架狀；所述移動塊12另一端設(shè)有安裝部14，且安裝部14位于2個第三柔順部123之間；所述過渡支架6的3個支腳61分別安裝于3個移動塊12的安裝部14 ;所述第二萬能副33的下端通過過渡支架6與基座I連接。
[0028]為提高輸出平臺2移動的精準度，所述基座I下面設(shè)有6個位移傳感器，所述位移傳感器以2個為一組，3組所述位移傳感器分別位于相鄰的位移放大器3之間，且每一組中的2個位移傳感器相互垂直設(shè)置。為了進一步提高位移傳感器的檢測精確度，所述輸出平臺2和過渡支架6設(shè)有定位件。其中設(shè)置于輸出平臺2的定位件9有3個，而設(shè)置于過渡支架6的定位件也有3個，即定位件9的數(shù)量與位移傳感器數(shù)量相等，從而定位件9與位移傳感器可以一一對應(yīng)，每一個定位件9為與其對應(yīng)的位移傳感器提供參照位置。本實施例中，位移傳感器選用電容式位移傳感器，而定位件9采用不銹鋼片。
[0029]為提高輸出平臺移動的穩(wěn)定性，同時也為進一步提高輸出平臺2移動的精準度，所述的基于柔順結(jié)構(gòu)六自由度的精密定位平臺還包括測量支架7和支撐平臺8，所述支撐平臺8安裝于基座I的下面；所述測量支架7的上端與輸出平臺2連接，下端穿過基座I且與支撐平臺8連接；所述位移傳感器通過測試支架7安裝于輸出平臺2的下面。
[0030]具體的，所述測量支架7包括第一連接桿71、轉(zhuǎn)動桿73和第二連接桿72，所述第一連接桿71的上端與輸出平臺2連接，所述第一連接桿71的下端設(shè)有槽孔，所述轉(zhuǎn)動桿73的一端安裝于槽孔，所述轉(zhuǎn)動桿73的另一端與第二連接桿72的上端鉸接，所述第二連接桿72的下端穿過基座I且與支撐平臺8連接。[0031]為提高自動化程度，所述的基于柔順結(jié)構(gòu)六自由度的精密定位平臺還包括控制器，所述第一驅(qū)動器4和第二驅(qū)動器5均與控制器的輸出端連接，所述控制器的輸入端與位移傳感器連接。如圖7所示，控制器的輸出端與第一驅(qū)動器4、第二驅(qū)動器5連接，而控制器的輸入端與位移傳感器連接，同時，第一驅(qū)動器4和第二驅(qū)動器5均為輸出平臺2的運動提供動力，而位稱傳感器將對輸出平臺2的進行檢測，故控制器、第一驅(qū)動器4、第二驅(qū)動器5、輸出平臺2和位移傳感器形成一個閉環(huán)反饋結(jié)構(gòu)。即，控制器自輸出端發(fā)出控制信息，第一驅(qū)動器4和第二驅(qū)動器5收到控制信息號，根據(jù)控制信息做出相應(yīng)的動作，而輸出平臺受到第一驅(qū)動器4和第二驅(qū)動器5的作用而發(fā)生運動，輸出平臺2的運動被位移傳感器檢測到，位移傳感器將檢測信息傳遞給控制器，而此時控制器根據(jù)位移傳感器檢測到的信息再將對第一驅(qū)動器4和第二驅(qū)動器5發(fā)出控制信息，對輸出平臺2的運動進行調(diào)整。這種閉環(huán)反饋結(jié)構(gòu)保證了輸出平臺2運動的準確性，從而令輸出平臺2定位時具有更高的精度和更高的穩(wěn)定性。
[0032]實施例2
[0033]本基于柔順結(jié)構(gòu)六自由度的精密定位平臺除以下技術(shù)特征外同實施例1:為提高輸出平臺移動的穩(wěn)定性，同時也為進一步提高輸出平臺移動的精準度，如圖8所示，所述的基于柔順結(jié)構(gòu)六自由度的精密定位平臺還包括3個測量支架7和3個調(diào)節(jié)桿10，所述測量支架7的上端與輸出平臺2連接，下端與基座I連接；3個所述測量支架7分別位于相鄰兩個位移放大器之間；3個所述調(diào)節(jié)桿10分別安裝于3個測量支架7的下端；所述位移傳感器通過測量支架7安裝于輸出平臺2的下面。
[0034]具體的，所述測量支架7包括第一連接件74、第二連接件75和第三連接件76，所述第二連接75件呈倒L型，所述第二連接桿75的上端設(shè)有第一調(diào)節(jié)槽，所述第一連接件74的上端與輸出平臺連接，下端安裝于第一調(diào)節(jié)槽；所述第三連接件76安裝于基座I上，且第三連接件76的一端與第二連接件75的下端連接，所述第三連接件76的另一端設(shè)有第二調(diào)節(jié)槽75，所述調(diào)節(jié)桿10的一端安裝于第二調(diào)節(jié)槽。
[0035]上述【具體實施方式】為本實用新型的優(yōu)選實施例，并不能對本實用新型進行限定，其他的任何未背離本實用新型的技術(shù)方案而所做的改變或其它等效的置換方式，都包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種基于柔順結(jié)構(gòu)六自由度的精密定位平臺，其特征在于:包括基座、輸出平臺、3個位移放大器；所述基座上設(shè)有3個第一驅(qū)動器，且3個所述第一驅(qū)動器相對于基座的中心線的圓周均勻分布；3個所述位移放大器的上端均安裝于輸出平臺的下面，下端均與基座連接；3個所述位移放大器中均設(shè)有第二驅(qū)動器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于柔順結(jié)構(gòu)六自由度的精密定位平臺，其特征在于:所述基座包括主體和3個移動塊，所述主體設(shè)有通孔，3個移動塊均勻分布于通孔內(nèi)；所述移動塊的中部彎曲，且所述移動塊內(nèi)設(shè)有與移動塊外形匹配的安裝槽，所述移動塊的一端設(shè)有與安裝槽連通的開口 ；同時所述移動塊的一端的兩側(cè)均設(shè)有第一柔順部，中部的兩側(cè)均設(shè)有第二柔順部，而另一端的兩側(cè)均設(shè)有第三柔順部；所述移動塊通過第一柔順部與主體的內(nèi)壁連接，所述移動塊的另一端與主體的內(nèi)壁之間具有間隙，相鄰2個所述移動塊之間具有間隙；所述第一驅(qū)動器的一端與移動塊的中部連接，另一端與主體的內(nèi)壁連接，且所述第一驅(qū)動器位于安裝槽內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于柔順結(jié)構(gòu)六自由度的精密定位平臺，其特征在于:所述位移放大器包括第一萬能副、移動副和第二萬能副；所述第一萬能副的上端固定于輸出平臺，所述第一萬能副的下端設(shè)有第四柔順部和第五柔順部，第四柔順部位于第五柔順部的上方，且所述第四柔順部和第五柔順部互相垂直，所述第一萬能副通過第五柔順部與移動副的上端連接；所述第二萬能副的上端設(shè)有第六柔順部和第七柔順部，且所述第六柔順部位于第七柔順部的下方，且所述第六柔順部與第七柔順部互相垂直；所述第二萬能副通過第七柔順部與移動副的下端連接；所述第二萬能副的下端與基座連接；所述第二驅(qū)動器安裝于移動副內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于柔順結(jié)構(gòu)六自由度的精密定位平臺，其特征在于:所述基座上面設(shè)有過渡支架，所述過渡支架呈三角架狀；所述移動塊另一端設(shè)有安裝部，且安裝部位于2個第三柔順部之間 ；所述過渡支架的3個支腳分別安裝于3個移動塊的安裝部；所述第二萬能副的下端通過過渡支架與基座連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于柔順結(jié)構(gòu)六自由度的精密定位平臺，其特征在于:所述基座下面設(shè)有6個位移傳感器，所述位移傳感器以2個為一組，3組所述位移傳感器分別位于相鄰的位移放大器之間，且每一組中的2個位移傳感器相互垂直設(shè)置。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基于柔順結(jié)構(gòu)六自由度的精密定位平臺，其特征在于:還包括測量支架和支撐平臺，所述支撐平臺安裝于基座的下面；所述測量支架的上端與輸出平臺連接，下端穿過基座且與支撐平臺連接；所述位移傳感器通過測試支架安裝于輸出平臺的下面。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基于柔順結(jié)構(gòu)六自由度的精密定位平臺，其特征在于:所述測量支架包括第一連接桿、轉(zhuǎn)動桿和第二連接桿，所述第一連接桿的上端與輸出平臺連接，所述第一連接桿的下端設(shè)有槽孔，所述轉(zhuǎn)動桿的一端安裝于槽孔，所述轉(zhuǎn)動桿的另一端與第二連接桿的上端鉸接，所述第二連接桿的下端穿過基座且與支撐平臺連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基于柔順結(jié)構(gòu)六自由度的精密定位平臺，其特征在于:還包括3個測量支架和3個調(diào)節(jié)桿，所述測量支架的上端與輸出平臺連接，下端與基座連接；3個所述測量支架分別位于相鄰兩個位移放大器之間；3個所述調(diào)節(jié)桿分別安裝于3個測量支架的下端；所述位移傳感器通過測量支架安裝于輸出平臺的下面。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基于柔順結(jié)構(gòu)六自由度的精密定位平臺，其特征在于:所述測量支架包括第一連接件、第二連接件和第三連接件，所述第二連接件呈倒L型，所述第二連接桿的上端設(shè)有第一調(diào)節(jié)槽，所述第一連接件的上端與輸出平臺連接，下端安裝于第一調(diào)節(jié)槽；所述第三連接件安裝于基座上，且第三連接件的一端與第二連接件的下端連接，所述第三連接件的另一端設(shè)有第二調(diào)節(jié)槽，所述調(diào)節(jié)桿的一端安裝于第二調(diào)節(jié)槽。
10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基于柔順結(jié)構(gòu)六自由度的精密定位平臺，其特征在于:還包括控制器，所述第一驅(qū)動器和第二驅(qū)動器均與控制器的輸出端連接，所述控制器的輸入端與位移傳感器 連接。
【文檔編號】G12B5/00GK203644399SQ201320800668
【公開日】2014年6月11日 申請日期:2013年12月6日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月6日
【發(fā)明者】陳忠, 張憲民, 張續(xù)沖, 李翔宇 申請人:華南理工大學