濕法設(shè)備水汽分離裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種水汽分離裝置，具體地涉及一種濕法設(shè)備水汽分離裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，在平板顯示、半導(dǎo)體，光伏等行業(yè)中，濕法制程中關(guān)于抽風(fēng)的要求是比較特殊的，原因在于濕法制程中的水汽會(huì)帶有酸堿性等腐蝕性質(zhì)，因此對(duì)水汽分離要求相對(duì)較尚O
[0003]目前，傳統(tǒng)下抽風(fēng)中的水汽分離系統(tǒng)是在抽風(fēng)管路接口處增加一個(gè)海藻棉填充盒，用以吸附水汽，而在實(shí)際應(yīng)用中，海藻棉會(huì)產(chǎn)生滴液，盡管可以定期更換海藻棉，但是無(wú)法避免出現(xiàn)滴液腐蝕抽風(fēng)管路的情況。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足而一種濕法設(shè)備水汽分離裝置。
[0005]為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種濕法設(shè)備水汽分離裝置，它包括管路本體、設(shè)置在所述管路本體一端的抽風(fēng)入口、安裝在所述管路本體內(nèi)且與其內(nèi)壁形成縫隙的承托臺(tái)、設(shè)置在所述管路本體另一端且延伸至所述承托臺(tái)下方的出氣口、設(shè)置在所述承托臺(tái)上且與所述管路本體內(nèi)壁相接觸的填料以及設(shè)置在所述出氣口外且與所述管路本體相連通的出液口，所述承托臺(tái)由抽風(fēng)入口向出氣口方向延伸形成錐形結(jié)構(gòu)。
[0006]優(yōu)化地，所述管路本體和所述出氣口之間設(shè)置導(dǎo)流板，所述出液口與所述導(dǎo)流板相連通。
[0007]優(yōu)化地，所述承托臺(tái)與所述管路本體內(nèi)壁的間距小于所述出氣口與所述管路本體內(nèi)壁的間距，所述承托臺(tái)的下端矮于所述出氣口的上端。
[0008]由于上述技術(shù)方案運(yùn)用，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn):本實(shí)用新型濕法設(shè)備水汽分離裝置，一方面在管路本體內(nèi)設(shè)置與其內(nèi)壁形成縫隙的承托臺(tái)，并且該承托臺(tái)由抽風(fēng)入口向出氣口方向延伸形成錐形結(jié)構(gòu)，這樣能夠使得水汽流經(jīng)此處形成的縫隙，即使產(chǎn)生液滴也能順著錐形結(jié)構(gòu)流下；另一方面在出氣口外側(cè)設(shè)置與管路本體相連通的出液口，通過(guò)出液口流出液體，而氣體則經(jīng)由出氣口流出，實(shí)現(xiàn)了氣液分離。
【附圖說(shuō)明】
[0009]附圖1為本實(shí)用新型濕法設(shè)備水汽分離裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0010]其中，10、管路本體；11、抽風(fēng)入口 ；12、承托臺(tái)；13、出氣口 ；14、填料；15、導(dǎo)流板；16、出液口。
【具體實(shí)施方式】
[0011]下面將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施方案進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明:
[0012]以下關(guān)于方向的定義中，均是按照?qǐng)D1中所觀察到的方向予以定義的。
[0013]如圖1所示的濕法設(shè)備水汽分離裝置，主要包括管路本體10、承托臺(tái)12以及填料14。、
[0014]其中，管路本體10的上端設(shè)置有與其相連通的抽風(fēng)入口 11 ;下端設(shè)置有與其相連通的出氣口 13，出氣口 13向上延伸至管路本體10內(nèi)。承托臺(tái)12安裝在管路本體10內(nèi)，并安裝在出氣口 13的上方，它由抽風(fēng)入口 11向出氣口 13方向延伸形成錐形結(jié)構(gòu)(即承托臺(tái)12的直徑由上向下逐漸增加)，其下端與管路本體10的內(nèi)壁之間形成一定的間隔，這樣能夠使得水汽通過(guò)縫隙流經(jīng)此處，即使產(chǎn)生了液滴也能順著錐形結(jié)構(gòu)流下。填料14為海藻棉，它設(shè)置在承托臺(tái)12上并與管路本體10內(nèi)壁相接觸，用于吸附水汽。出液口 16位于管路本體10的下端并與其相連通，它位于出氣口 13和管路本體10內(nèi)壁之間，用于承接在承托臺(tái)12上形成的液滴。利用出氣口 13導(dǎo)出氣體，利用出液口 16導(dǎo)出液體，從而實(shí)現(xiàn)了氣液分離。
[0015]在本實(shí)施例中，管路本體10和出氣口 13之間設(shè)置導(dǎo)流板15，在導(dǎo)流板15上設(shè)置至少一個(gè)開(kāi)口使其與出液口 16相連通，導(dǎo)流板15根據(jù)需要可以設(shè)置成傾斜狀態(tài)的使得形成的液體能夠自動(dòng)匯聚并經(jīng)由出液口 16導(dǎo)出。承托臺(tái)12與管路本體10內(nèi)壁的間距小于出氣口 13與管路本體10內(nèi)壁的間距，這樣是為了確保形成的液滴不會(huì)經(jīng)由出氣口 13導(dǎo)出；而承托臺(tái)12的下端矮于出氣口 13的上端，這樣是為了避免經(jīng)出氣口 13導(dǎo)出的氣體攜帶液滴。
[0016]上述實(shí)施例只為說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn)，其目的在于讓熟悉此項(xiàng)技術(shù)的人士能夠了解本實(shí)用新型的內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，并不能以此限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍，凡根據(jù)本實(shí)用新型精神實(shí)質(zhì)所作的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種濕法設(shè)備水汽分離裝置，其特征在于:它包括管路本體(10)、設(shè)置在所述管路本體(10) —端的抽風(fēng)入口(11)、安裝在所述管路本體(10)內(nèi)且與其內(nèi)壁形成縫隙的承托臺(tái)(12)、設(shè)置在所述管路本體(10)另一端且延伸至所述承托臺(tái)(12)下方的出氣口(13)、設(shè)置在所述承托臺(tái)(12)上且與所述管路本體(10)內(nèi)壁相接觸的填料(14)以及設(shè)置在所述出氣口(13)外且與所述管路本體(10)相連通的出液口(16)，所述承托臺(tái)(12)由抽風(fēng)入口(11)向出氣口(13)方向延伸形成錐形結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濕法設(shè)備水汽分離裝置，其特征在于:所述管路本體(10)和所述出氣口(13)之間設(shè)置導(dǎo)流板(15)，所述出液口(16)與所述導(dǎo)流板(15)相連通。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濕法設(shè)備水汽分離裝置，其特征在于:所述承托臺(tái)(12)與所述管路本體(10)內(nèi)壁的間距小于所述出氣口(13)與所述管路本體(10)內(nèi)壁的間距，所述承托臺(tái)(12)的下端矮于所述出氣口(13)的上端。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種濕法設(shè)備水汽分離裝置，它包括管路本體、抽風(fēng)入口、安裝在所述管路本體內(nèi)且與其內(nèi)壁形成縫隙的承托臺(tái)、設(shè)置在所述管路本體另一端且延伸至所述承托臺(tái)下方的出氣口、設(shè)置在所述承托臺(tái)上且與所述管路本體內(nèi)壁相接觸的填料以及設(shè)置在所述出氣口外且與所述管路本體相連通的出液口，所述承托臺(tái)由抽風(fēng)入口向出氣口方向延伸形成錐形結(jié)構(gòu)。一方面在管路本體內(nèi)設(shè)置與其內(nèi)壁形成縫隙的承托臺(tái)，并且該承托臺(tái)由抽風(fēng)入口向出氣口方向延伸形成錐形結(jié)構(gòu)，這樣能夠使得水汽流經(jīng)此處形成的縫隙，即使產(chǎn)生液滴也能順著錐形結(jié)構(gòu)流下；另一方面通過(guò)出液口流出液體，而氣體則經(jīng)由出氣口流出，實(shí)現(xiàn)了氣液分離。
【IPC分類】B01D46-30
【公開(kāi)號(hào)】CN204337931
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201420846793
【發(fā)明人】施利君, 徐鴿
【申請(qǐng)人】蘇州晶洲裝備科技有限公司
【公開(kāi)日】2015年5月20日
【申請(qǐng)日】2014年12月26日