技術(shù)編號：10009289
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。微電路是指具有高密度等效電路元件和(或)部件，并可作為獨立件的微電子器件。微機電系統(tǒng)(MEMS)是指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級，是一個獨立的智能系統(tǒng)。主要由傳感器、作動器(執(zhí)行器)和微能源三大部分組成。具有微型化、智能化、多功能、高集成度和適于大批量生產(chǎn)這幾個特點。在電子、醫(yī)學、工業(yè)、汽車和航空航天系統(tǒng)方面有著廣泛的應用前景。電化學沉積、特別是精密電鑄技術(shù)在表面微細結(jié)構(gòu)的制備中得到了非常成功的應用。鄭曉虎等人(鄭曉虎...
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