技術(shù)編號(hào)：100759
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及的是緊靠多晶硅電極層加上一個(gè)自對(duì)準(zhǔn)的電接觸的方法。由DE-Al-3243059已知該種方法，它在超高頻雙極型晶體管集成電路中具有特殊意義。按照上述德國(guó)公開的文件中提到的方法電極層和電接觸使用的都是多晶硅，根據(jù)上述公開文件的基本思想，不僅發(fā)射區(qū)電極層，而且基區(qū)電接觸使用的都是多晶硅;多晶硅的摻雜類型與要做接觸區(qū)域的導(dǎo)電類型一致，它不僅用作擴(kuò)散源也用作電接觸材料。當(dāng)然，在這種情況下，發(fā)射區(qū)電極層對(duì)準(zhǔn)著發(fā)射區(qū)，基區(qū)電接觸對(duì)準(zhǔn)著外部無源基區(qū)。所以，每個(gè)電接觸與相應(yīng)的要做接觸區(qū)域的相互對(duì)準(zhǔn)不受光刻工藝對(duì)準(zhǔn)精度的支配...
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