技術(shù)編號(hào)：10210369
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)氣體傳感器是基于MEMS技術(shù)和半導(dǎo)體氣體敏感原理制作的傳感器件。用于檢測(cè)各種氣體，如氫氣、氮?dú)狻⒓淄?、一氧化碳、酒精或揮發(fā)性有機(jī)物質(zhì)(V0C)等。可大批量生產(chǎn)，具有體積小，功耗低的特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于工業(yè)、家居、環(huán)境檢測(cè)和消費(fèi)電子領(lǐng)域。目前，基于MEMS技術(shù)的傳感器一般通過在加熱薄膜上制作氣敏電阻，薄膜不同的加熱溫度決定了氣體傳感器能檢測(cè)的氣體類別。加熱薄膜和氣敏電阻通過支撐梁固定在支撐基座上，該支撐基座為中間鏤空結(jié)構(gòu)，支撐梁上分布有金屬...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。