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      濕式顯影輔助晃動(dòng)機(jī)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):10282302

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      ] 在Lm)制程中,顯影是不可或缺的技術(shù)。目前常用的顯影方式有①整盒娃片浸沒(méi) 式顯影(Batch Development),該方式顯影液消耗很大,顯影均勻性差;②連續(xù)噴霧顯影 (Continuous Spray Development)/自動(dòng)方定牽專(zhuān)顯影(Auto-rotation Development),該方式 通過(guò)一個(gè)或多個(gè)噴嘴噴灑顯影液在娃片表面,同時(shí)娃片低速旋轉(zhuǎn)(100~50化pm),噴嘴噴霧 模式和娃片旋轉(zhuǎn)速度是實(shí)現(xiàn)娃片間溶解率和均勻性的可重復(fù)...
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