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      一種小型化壓阻式壓力傳感器的制造方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:10298239

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      沿著半導(dǎo)體的某一軸向施加力的作用,半導(dǎo)體的電阻率會發(fā)生顯著的變化,這種 現(xiàn)象稱為半導(dǎo)體的壓阻效應(yīng)。利用半導(dǎo)體的壓阻效應(yīng)制成的壓力傳感器即為壓阻式壓力傳 感器。 壓阻式壓力傳感器在軍事和航空航天領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,許多應(yīng)用場合對傳感器的可 靠性和溫度誤差都有嚴(yán)格的要求,而應(yīng)用于航天型號的產(chǎn)品對產(chǎn)品的質(zhì)量和尺寸又有嚴(yán)格 的要求。目前研制的高可靠性壓力傳感器中,硅-藍(lán)寶石結(jié)構(gòu)的壓力傳感器因具有絕佳的結(jié) 構(gòu)強(qiáng)度和溫度特性而占有大量市場,但是該傳感器價(jià)格昂貴,質(zhì)量大且結(jié)...
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