技術(shù)編號：10431392
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。現(xiàn)今在半導體行業(yè)內(nèi)，利用潔凈機器手傳輸晶圓片體類產(chǎn)品的做法非常廣泛，作為機器手執(zhí)行機構(gòu)的末端執(zhí)行器則用量更為龐大。而現(xiàn)在使用的末端執(zhí)行器多為較薄的陶瓷、金屬等板材制造。由于板材自有的特性，其在受到應(yīng)力時各方向的表現(xiàn)并不一致，按照手指的形狀區(qū)分方向，在一定條件下，手指長方向與寬方向具有良好的耐沖擊和耐壓性，但厚度方向在耐沖擊和耐壓性方面卻較為薄弱。撞碎末端執(zhí)行器的力也是沖擊力與壓力共同作用的結(jié)果。而且末端執(zhí)行器本身成本并不低廉，一旦在生產(chǎn)時發(fā)生問題，會對整個...
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