国产精品1024永久观看,大尺度欧美暖暖视频在线观看,亚洲宅男精品一区在线观看,欧美日韩一区二区三区视频,2021中文字幕在线观看

  • <option id="fbvk0"></option>
    1. <rt id="fbvk0"><tr id="fbvk0"></tr></rt>
      <center id="fbvk0"><optgroup id="fbvk0"></optgroup></center>
      <center id="fbvk0"></center>

      <li id="fbvk0"><abbr id="fbvk0"><dl id="fbvk0"></dl></abbr></li>
      具有旋轉(zhuǎn)氣體噴頭的旋轉(zhuǎn)卡盤(pán)的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):10513878

      提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。

      半導(dǎo)體晶片經(jīng)歷各種表面處理工藝,例如蝕刻、清潔、拋光和材料沉積。為了適應(yīng)這樣的工藝,單個(gè)晶片可以通過(guò)與可旋轉(zhuǎn)的載體相關(guān)聯(lián)的卡盤(pán)相對(duì)于一個(gè)或更多個(gè)處理流體噴嘴被支撐,如在美國(guó)專(zhuān)利N0.4903717和5513668中所述。替代地,適于支撐晶片的環(huán)狀轉(zhuǎn)子形式的卡盤(pán)可位于封閉的處理室中,并通過(guò)主動(dòng)磁軸承在沒(méi)有物理接觸的情況下被驅(qū)動(dòng),如例如在國(guó)際公開(kāi)N0.WO 2007/101764和美國(guó)專(zhuān)利N0.6485531中所描述的。已知的是,給這種卡盤(pán)裝備氣體噴頭以便引入...
      注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
      該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

      詳細(xì)技術(shù)文檔下載地址↓↓

      提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。
      該分類(lèi)下的技術(shù)專(zhuān)家--如需求助專(zhuān)家,請(qǐng)聯(lián)系客服
      • 賀老師:氮化物陶瓷、光功能晶體材料及燃燒合成制備科學(xué)及工程應(yīng)用
      • 楊老師:工程電磁場(chǎng)與磁技術(shù),無(wú)線(xiàn)電能傳輸技術(shù)
      • 許老師:1.氣動(dòng)光學(xué)成像用于精確制導(dǎo) 2.人工智能方法用于數(shù)據(jù)處理、預(yù)測(cè) 3.故障診斷和健康管理
      • 王老師:智能控制理論及應(yīng)用;機(jī)器人控制技術(shù)
      • 李老師:1.自旋電子學(xué) 2.鐵磁共振、電磁場(chǎng)理論
      • 寧老師:1.固體物理 2.半導(dǎo)體照明光源光學(xué)設(shè)計(jì)實(shí)踐 3.半導(dǎo)體器件封裝實(shí)踐
      • 楊老師:1.大型電力變壓器內(nèi)絕緣老化機(jī)理及壽命預(yù)測(cè) 2.局部放電在線(xiàn)監(jiān)測(cè)及模式識(shí)別 3.電力設(shè)備在線(xiàn)監(jiān)測(cè)及故障診斷 4.絕緣材料的改性技術(shù)及新型絕緣材料的研究
      • 王老師:1.無(wú)線(xiàn)電能傳輸技術(shù) 2.大功率電力電子變換及其控制技術(shù)