技術(shù)編號：10522276
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。 在單晶硅的制造工藝中，最常使用的是直拉法(Czochralski，縮寫CZ)，在直拉法 中，多晶硅是填充在石英玻璃坩堝(也稱石英坩堝）中，然后加熱熔融形成硅熔液，然后，將 熔硅略做降溫，給予一定的過冷度，把一支特定晶向的硅單晶體(稱做籽晶）與熔體硅接觸， 通過調(diào)整熔體的溫度和籽晶向上提升速度，使籽晶體長大至近目標直徑時，提高提升速度， 使單晶體近恒直徑生長。在生長過程的尾期，此時堝內(nèi)的硅熔體尚未完全消失，通過增加晶 體的提升速度和調(diào)整向堝的供熱量將晶體直...
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