技術(shù)編號(hào)：10539903
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。首先隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，離子注入機(jī)作為其產(chǎn)業(yè)的重要一環(huán)，在市場(chǎng)的地位越來越大。同時(shí)對(duì)工藝提出了更高的要求，不僅需要技術(shù)更先進(jìn)，精度更高的設(shè)備，還需要更加人性化、更加方便實(shí)用的離子注入機(jī)。其次，能源問題已經(jīng)是二十一世紀(jì)經(jīng)濟(jì)發(fā)展的首要問題。任何設(shè)備的投入使用都有著嚴(yán)格的耗能指標(biāo)。離子注入機(jī)作為國家重點(diǎn)的高科技裝備，更應(yīng)該在節(jié)能的方面起到表率作用。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題而提出的一種用于離子注入機(jī)的照明連鎖裝置。本發(fā)明通過以下技術(shù)方案實(shí)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。
該類技術(shù)注重原理思路，無完整電路圖，適合研究學(xué)習(xí)。