技術編號:10605471
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。 高介電常數(shù)為電容性器件的體積微型化提供了可能性。隨著電子器件微型化的發(fā) 展,高介電常數(shù)材料在微電子技術中起著越來越重要的作用。鈦酸銅鈣(CaCu 3Ti4012,簡稱 CCT0)陶瓷是其中一種最具代表性的高介電常數(shù)材料。CCT0陶瓷不論單晶還是多晶形態(tài)都 呈現(xiàn)出異常高的介電常數(shù),近年受到越來越多的關注。CCT0陶瓷具有很多優(yōu)點,例如介電常 數(shù)非常大(e r為1〇4)、在比較寬的頻率范圍和相當廣的溫度范圍內介電常數(shù)隨頻率和溫度的 變化很小、制備工藝也相當簡...
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