技術(shù)編號(hào)：10621370
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。隨著技術(shù)的不斷發(fā)展，對(duì)芯片的集成化程度要求越來越高。MEMS傳感器已經(jīng)在汽車電子、工業(yè)控制、環(huán)境監(jiān)測(cè)、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。傳感器的物理量變化需要通過控制電路轉(zhuǎn)化成電信號(hào)的變化。傳統(tǒng)的做法是把獨(dú)立的傳感器和控制電路通過封裝的形式集成在一起。這種封裝體的體積相對(duì)很大，而且整體的可靠性也相對(duì)較差。目前一些新的做法是在IC控制電路完成后繼續(xù)在晶片上制作傳感器，這種垂直整合的傳感器相對(duì)于封裝形式的傳感器來說擁有更小的體積和更高的可靠性。但通常的多功能組合C...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。