技術(shù)編號：10658214
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。 集成電路已演進成復雜組件，其可在單個芯片上包含數(shù)百萬個部件（諸如，晶體 管、電容、電阻及諸如此類者）。芯片設(shè)計的演進持續(xù)要求更快的電路及更大的電路密度。要 求更大的電路密度需要縮減集成電路部件的尺寸。這種組件的特征結(jié)構(gòu)的最小尺寸在技術(shù) 中通常稱為關(guān)鍵尺寸。該關(guān)鍵尺寸一般包含該特征結(jié)構(gòu)的最小寬度，例如導線、柱體 (co lumn)、開口、導線間的間距及諸如此類者。 隨著這些關(guān)鍵尺寸縮小，襯底上的處理均勻性對于維持高產(chǎn)量而言變得最為重 要。集成電路制造中所使...
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