技術(shù)編號：10658233
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。金屬氧化物半導(dǎo)體薄膜晶體管以其良好的器件性能，較低的工藝成本，被認(rèn)為是下一代平板顯示中的關(guān)鍵技術(shù)。然而，隨著顯示器性能的提高，要求金屬氧化物半導(dǎo)體薄膜晶體管中的溝道具有更大的寬長比，而溝道的寬長比決定了該金屬氧化物半導(dǎo)體薄膜晶體管的功能特性，在溝道的寬度W—定的條件下，縮短溝道的長度L能夠使該金屬氧化物半導(dǎo)體薄膜晶體管具有更大的寬長比W/L，從而具有更大的開態(tài)電流。然而，傳統(tǒng)的金屬氧化物半導(dǎo)體薄膜晶體管在制作過程中，溝道的長度L直接受光刻工藝的限制，因此實...
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