技術(shù)編號:10673240
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 在光器件制造工藝中,在藍(lán)寶石(Al2O3)基板、碳化硅(SiC)基板、氮化鎵(GaN)基板 的表面上層疊由η型氮化物半導(dǎo)體層和p型氮化物半導(dǎo)體層構(gòu)成的光器件層且在由形成為 格子狀的多條分割預(yù)定線劃分出的多個區(qū)域中形成發(fā)光二極管、激光二極管等光器件而構(gòu) 成光器件晶片。并且,通過沿著分割預(yù)定線照射激光光線來切斷光器件晶片而對形成有光 器件的區(qū)域進(jìn)行分割從而制造出各個光器件。并且,對于在鉭酸鋰(LiT aO3)基板、鈮酸鋰 (LiNbO3)基板、碳化硅(SiC...
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