技術(shù)編號：10688891
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。半導(dǎo)體器件用于各種電子應(yīng)用中，諸如個人計算機、手機、數(shù)碼相機和其他電子設(shè)備。通常通過在半導(dǎo)體襯底上方依次沉積絕緣或介電層、導(dǎo)電層和半導(dǎo)體材料層以及使用光刻圖案化各個材料層以在材料層上形成集成電路(IC)和元件來制造半導(dǎo)體器件。IC材料和設(shè)計中的技術(shù)進步已經(jīng)產(chǎn)生了多代1C，其中，每一代IC都比上一代具有更小和更復(fù)雜的電路。然而，這些進步已經(jīng)增大了處理和制造IC的復(fù)雜性，并且為了實現(xiàn)這些進步，需要IC處理和制造中的類似的發(fā)展。在半導(dǎo)體器件的制造期間，各種處理步...
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