技術(shù)編號(hào)：10690560
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。壓電粘滑直線電機(jī)是一種基于壓電元件的逆壓電效應(yīng)，在非對(duì)稱電信號(hào)激勵(lì)下激發(fā)定子(或稱振子)產(chǎn)生微幅高頻振動(dòng)，利用定子與動(dòng)子間的摩擦耦合實(shí)現(xiàn)機(jī)械能輸出的微納精密壓電粘滑直線電機(jī)。按照驅(qū)動(dòng)原理的不同，壓電粘滑直線電機(jī)主要分為共振型壓電電機(jī)(也稱超聲波電機(jī))與非共振型壓電電機(jī)(也稱壓電粘滑電機(jī))兩大類。與共振型壓電電機(jī)相比，壓電粘滑直線電機(jī)具有結(jié)構(gòu)簡單緊湊、控制方便、定位精度高及行程大等優(yōu)點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體加工、精密光學(xué)儀器等微納精密驅(qū)動(dòng)與定位。壓電粘滑驅(qū)動(dòng)主...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。