技術(shù)編號(hào)：10889785
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。真空熱蒸發(fā)鍍膜在有機(jī)EL(Electro Luminescence)電致發(fā)光，有機(jī)太陽(yáng)能電池，金屬電極，食品包裝等行業(yè)被廣泛應(yīng)用，以及相應(yīng)薄膜器件的產(chǎn)業(yè)化中應(yīng)用也非常廣泛，其基本原理是利用加熱的手段使源受熱蒸發(fā)，由固相/液相變成氣相，然后氣體分子或原子在蒸發(fā)源與基板(襯底)之間輸運(yùn)，最后蒸發(fā)的分子或原子在基板(襯底)上沉積，形成所需要的薄膜。傳統(tǒng)的真空熱蒸發(fā)鍍膜裝置采用金屬片作為金屬蒸發(fā)源，耗能大，加熱慢，且金屬片與蒸發(fā)材料存在接觸，降低了真空熱蒸發(fā)鍍膜裝...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。