技術(shù)編號：11062847
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種測溫工裝，尤其是一種用于PECVD設(shè)備中加熱盤的測溫工裝，屬于半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)傳統(tǒng)PECVD設(shè)備中加熱盤的測溫方法通常只能測試固定的幾個點，測試點的數(shù)量有限導(dǎo)致無法準確判斷加熱盤中各個點的溫度數(shù)值，且傳統(tǒng)測溫方法易受溫度影響，發(fā)生翹曲致使測試數(shù)值不能準確體現(xiàn)。發(fā)明內(nèi)容針對上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種用于PECVD設(shè)備中加熱盤的測溫工裝。為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：一種用于PECVD設(shè)備中加熱盤的測溫工裝，包括測溫頭，基板和固定件?；迤叫兄糜诔练e加熱...
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