技術(shù)編號(hào)：11118367
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及集成電路的生產(chǎn)車間相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及集成電路生產(chǎn)車間的除塵系統(tǒng)。背景技術(shù)集成電路的生產(chǎn)車間，必須保證無(wú)塵、無(wú)菌環(huán)境?，F(xiàn)有的車間中，采用墻壁及頂部抽塵、換氣系統(tǒng)，由于灰塵主要產(chǎn)生于人體腳部及靠近地面的位置，這種抽塵換氣方式，對(duì)保證車間的無(wú)塵環(huán)境的效果不佳。發(fā)明內(nèi)容針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的上述問題，申請(qǐng)人進(jìn)行研究及改進(jìn)，提供一種集成電路生產(chǎn)車間用低位除塵控制系統(tǒng)，采用地面抽吸灰塵的方式，提高灰塵的抽吸效果。為了解決上述問題，本發(fā)明采用如下方案：一種集成電路生產(chǎn)車間用低位除塵控制系統(tǒng)，包括設(shè)置...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。