技術編號：11126690
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及生產(chǎn)型磁控濺射系統(tǒng)，尤其涉及一種用于生產(chǎn)型磁控濺射系統(tǒng)的基片裝載掃描機構。背景技術隨著研制高端微波器件的薄膜混合電路基板尺寸增大、產(chǎn)能增長和性能提升，傳統(tǒng)圓筒立式結構批產(chǎn)磁控濺射系統(tǒng)已逐漸滿足不了產(chǎn)品的提升需求，急需向平板水平式結構連續(xù)生產(chǎn)磁控濺射系統(tǒng)發(fā)展。目前行業(yè)上連續(xù)生產(chǎn)設備基本上都是采用真空機械手將基片從裝卸片預真空室傳送至工藝腔室，在工藝腔室內再配置一套運動機構實現(xiàn)基片的旋轉或掃描運動。真空機械手價格昂貴，基本依靠進口，還需要單獨配置一個傳送腔室裝載機械手，配套的真空管件閥門也...
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