技術(shù)編號：11132762
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種集成電路裝備制造領(lǐng)域，尤其涉及一種種重載基板臺(tái)的六自由度調(diào)整裝置。背景技術(shù)隨著科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步，微電子技術(shù)向大規(guī)模集成電路(LSI)和超大規(guī)模集成電路(VLSI)方向迅速發(fā)展，對與之相應(yīng)的工藝設(shè)備（如圖形發(fā)生器、分步重復(fù)照相機(jī)、光刻機(jī)、電子束和X射線曝光機(jī)及檢測設(shè)備等）提出了更高的精度要求。作為精密機(jī)械與精密儀器的關(guān)鍵技術(shù)之一——微位移技術(shù)，左右著整個(gè)設(shè)備的性能，直接影響到微電子技術(shù)的發(fā)展。在微電子技術(shù)中，TFT光刻機(jī)作為制造平板顯示器的關(guān)鍵設(shè)備，其要求精度高，集成技術(shù)難度大?；迮_(tái)...
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