技術(shù)編號：11147086
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種新的氣相沉積控制元件的模塊化安裝方法，尤其是一種一種新的氣相沉積控制元件的模塊化安裝方法，屬于半導(dǎo)體薄膜沉積技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)氣相沉積控制元件的模塊化安裝形式，是半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)備的重要組成部分。模塊組合安裝完成后，工藝氣體通過此裝置，分配不同量的工藝氣體或液體或固體進(jìn)入反應(yīng)腔室，參與氣相沉積，形成薄膜。半導(dǎo)體設(shè)備需要工藝氣體分配模塊輸送氣體，在組成工藝氣體模塊的過程中，需要按照原理圖進(jìn)行設(shè)計、組裝。但由于外購元件尺寸上有出入，機加件尺寸上也有出入，所以在組裝的過程中，會發(fā)現(xiàn)按照設(shè)計的...
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