技術(shù)編號(hào)：11147097
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及太陽(yáng)能電池鍍膜治具技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種太陽(yáng)能電池鍍膜石墨舟片和石墨舟。背景技術(shù)在光伏太陽(yáng)能行業(yè)，太陽(yáng)能電池的制造要經(jīng)過制絨，擴(kuò)散，刻蝕，鍍膜，絲網(wǎng)印刷和燒結(jié)六大工序。其中，鍍膜工序的目的是采用等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積的方法在硅片正面鍍氮化硅膜，減少太陽(yáng)光反射以及對(duì)硅片表面起鈍化作用。目前，光伏行業(yè)大多采用管式PECVD對(duì)硅片鍍膜，硅片通過手動(dòng)或者機(jī)械動(dòng)力插入石墨舟內(nèi)，然后將石墨舟放入爐管中鍍膜。石墨舟的單元舟片上設(shè)置有若干個(gè)固定卡槽，將硅片進(jìn)行固定。由于卡槽的槽內(nèi)尺寸較小,在插片過程中...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。