技術(shù)編號(hào)：11214241
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本申請(qǐng)的實(shí)施方式涉及液處理裝置。背景技術(shù)以往，作為對(duì)半導(dǎo)體晶圓、玻璃基板等基板進(jìn)行液處理的液處理裝置，公知有單張式的液處理裝置。單張式的液處理裝置具備：基板保持部，其保持例如基板的外周部而使基板旋轉(zhuǎn)；供給部，其向保持于基板保持部的基板的上表面供給處理液。在這樣的液處理裝置中，期望的是減少已供給到基板的上表面的處理液向下表面的蔓延。因此，近年來，提出了一種液處理裝置，在該液處理裝置中，使基板支承于沿著基板的周向延伸的傾斜面而使基板的下表面與傾斜面在基板的大致整周上接觸，從而抑制處理液從基板的上表面...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。