技術編號:11214360
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種壓力傳感器、高度計、電子設備以及移動體。背景技術一直以來,作為能夠檢測壓力的壓力傳感器,已知有專利文獻1所記載的結構。專利文獻1的壓力傳感器具有:SOI(SiliconOnInsulator,絕緣體上硅)基板,其具有凹部,且凹部的底部成為通過受壓而撓曲變形的隔膜;以及硅基板,其封堵凹部的開口,并且為了在該處形成壓力基準室而與SOI基板接合。此外,在隔膜上配置有壓電電阻元件,并且構成為,從該壓電電阻元件取出與隔膜的撓曲相對應的檢測信號,并且基于該檢測信號而對所受到的壓力進行檢測。在這...
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