技術(shù)編號(hào)：11577481
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明一種用于測(cè)量主軸徑向回轉(zhuǎn)誤差的標(biāo)準(zhǔn)器屬于精密儀器制造及測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)隨著半導(dǎo)體和超凈加工技術(shù)的不斷發(fā)展，高速主軸的技術(shù)需求日益增加。主軸轉(zhuǎn)速范圍從幾千轉(zhuǎn)每分鐘上升到幾萬(wàn)轉(zhuǎn)每分鐘，主軸軸系精度也不斷提高，其中，徑向回轉(zhuǎn)誤差從幾百微米提高到幾十微米甚至幾微米精度。因此，對(duì)高速主軸徑向回轉(zhuǎn)誤差的測(cè)量顯得更加重要。主軸回轉(zhuǎn)誤差也是反映機(jī)床動(dòng)態(tài)性能好壞的關(guān)鍵指標(biāo)之一，通過(guò)對(duì)回轉(zhuǎn)誤差的測(cè)試與分析，可以預(yù)測(cè)理想加工條件下機(jī)床所能達(dá)到的最小形狀誤差、表面質(zhì)量和粗糙度，也可以用于機(jī)床加工預(yù)測(cè)和補(bǔ)償控...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。