技術(shù)編號：11679293
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種處理裝置，具體涉及一種鋁箔膠帶熱處理裝置。背景技術(shù)一種結(jié)構(gòu)簡單、可抑制使伴隨著基板的熱處理而產(chǎn)生的生成氣體冷卻而產(chǎn)生的所謂升華物的發(fā)生的熱處理裝置。熱處理裝置包括具有用于向基板處理部供給熱風的熱風供給部件的空氣調(diào)整部、以及用于對基板進行熱處理的熱處理室。熱處理裝置配置有催化壁，載持有促進在熱處理室的最下游一側(cè)、當處理基板時所產(chǎn)生的生成氣體的氧化分解的催化劑。因此，熱處理裝置因冷卻生成氣體而產(chǎn)生的所謂的升華物的產(chǎn)生量極低。此外，由于在生成氣體氧化分解時會產(chǎn)生反應熱，所以熱處理裝置...
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